ICS 77.150.50 YS H 64 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 1236—2018 超高纯钛锭 Ultra high-purity titanium ingots 2018-04-30发布 2018-09-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1236—2018 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：宁波创润新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限 公司。 本标准主要起草人：吴景晖、姚力军、李东侠、王学泽、宋彦明、杜全国、邓睿、苏默瀚、覃城、张卫嘉、赵 玉林、熊晓东。 YS/T1236—2018 超高纯钛锭 1 范围 本标准规定了超高纯钛锭的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货 单(或合同)等内容。 本标准适用于钛纯度不低于99.995%的超高纯钛锭，主要用于集成电路溅射靶材制造、航空航天、 海洋船舶、生物医疗等领域。 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T4698.7海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氧量、氮量的测定 GB/T4698.14海绵钛、钛及钛合金化学分析方法碳量的测定 GB/T4698.15海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氢量的测定 GB/T8180 钛及钛合金加工产品的包装、标志、运输和贮存 YS/T891 高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法 3要求 3.1 化学成分 产品的成分应符合表1的规定。 表1 超高纯钛锭的化学成分 Ti-4N5 Ti-5N Ti-5N5 产品牌号 $66°66 666°66 666'66 Ti含量”，质量分数/%，不小于 Ag 0. 5 0. 2 0. 1 Al 3. 0 1. 0 1. 0 B 0. 1 0. 1 0. 03 Ca 1. 0 1. 0 0. 5 0. 1 0. 1 杂质含量，质量分数， 1. 0 （X10-4%），不大于 Cr 3. 0 1. 0 1. 0 Cu 2. 0 1. 0 1. 0 Fe 7. 0 5. 0 3. 0 K 0. 1 0. 1 0. 03 Li 0. 1 0. 1 0. 02 1 YS/T1236—2018 表1(续) 产品牌号 Ti-4N5 Ti-5N Ti-5N5 Mg 1. 0 0. 1 0. 05 Mn 1. 0 0. 3 0. 3 Mo 1. 0 1. 0 1. 0 Na 0. 2 0. 1 0. 03 IN 3. 0 2. 0 1. 0 Pb 2. 0 2. 0 1. 0 IS 2. 0 2. 0 2. 0 Sn 1. 0 1. 0 1. 0 Th 0. 001 0. 001 0. 001 杂质含量，质量分数， n 0. 001 0. 001 0. 001 （×10-4%），不大于 V 2. 0 1. 0 1. 0 W 1. 0 0. 5 0. 1 Zn 1. 0 0. 5 0. 1 Zr 3. 0 1. 0 0. 8 c 30 30 H 10 10 10 N 30 30 30 0 300 200 200 S 10 10 10 杂质总和°，质量分数（×10-4%），不大于 50 10 5 钛含量为100%减去表中所列杂质元索(不含C、H、N、O、S)的余量。 b 杂质总和为表中所列杂质元素(不含C、H、N、O、S)总和。 3. 2 外形尺寸 3.2.1产品直径允许偏差士5%。如果用户有特殊要求，由双方协商确定，并在合同中注明。 3.2.2产品长度及其允许偏差由供需双方协商确定，并在合同中注明。 3.2.3产品切斜不大于30mm。如果用户有特殊要求，由双方协商确定，并在合同中注明。 3.3 外观质量 产品外观呈银白色金属光泽，无氧化色斑，表面平整，无气孔。如果用户有特殊要求，由双方协商确 定，并在合同中注明。 试验方法 4. 1 化学成分的分析方法 金属杂质元素含量按照YS/T891的规定进行测定。气体元素C、N、O、H含量按照GB/T 2 YS/T1236—2018 4698.14、GB/T4698.7、GB/T4698.15的规定进行测定，元素S的含量按照YS/T891的规定进行测 定。未规定方法的元素，由供需双方协商确定，并在合同中注明。 4.2外形尺寸 外形尺寸用相应精度的量具测量。 4.3外观质量 外观质量采用目视检查，如发现异常现象，在10倍放大镜条件下进行目视检查。 5检验规则 检查和验收 5.1 5.1.1产品应由供方进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货单）的规定，并填写质量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准（或订货单）的规定进行检验。如检验结果与本标准（或订货单）的 规定不符时，应在收到产品之日起1个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应在 需方场所由供需双方共同进行。 5.2组批 产品应成批提交验收。每批应由同一投料批、同一牌号和规格的产品组成 5.3检验项目及取样 产品的检验项目及取样应符合表2的规定。 表2检验项目及取样规定 检验项目 取样规定 要求的章条号 试验方法章条号 分别于铸锭头部与尾部5mm内 化学成分 3. 1 4. 1 的任意部位取1个样品 外形尺寸 逐锭 3. 2 4. 2 外观质量 逐锭 3. 3 4. 3 5.4检验结果判定 5.4.1化学成分不合格时，判该批产品不合格。 5.4.2外形尺寸不合格时，判该锭不合格。 5.4.3外观质量不合格时，判该锭不合格。 6标志、包装、运输、贮存及质量证明书 6.1标志 6.1.1 每个钛锭检验合格产品上进行如下标记： a) 供方名称； 产品牌号； 3 YS/T1236—2018 c) 批号； d) 净重； e) 检验印记； f) 包装日期。 6. 1.2 产品外包装上应注明“禁止翻滚”“小心轻放”等字样或标志。 6.2包装 产品的包装应符合GB/T8180的规定。如果用户有特殊要求，由双方协商确定，并在合同中注明。 6. 3 运输与贮存 运输及贮存过程中，应注意防震、防潮、防压及防二次污染。 6.4质量证明书 每批产品应附有质量证明书，其上注明： a) 供方名称； b) 产品牌号； ( 规格； d) 数量； 净重； e) f) 批号； g) 检测报告和技术监督部门印记； h) 检验日期（或包装日期）； i) 本标准号。 订货单（或合同）内容 7 订购本标准所列产品的订货单（或合同）内应包括下列内容： a）产品牌号； b）规格； 数量； d）本准编号； e) 其他。 4