ICS 77.150.99 YS H 63 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 1234—2018 铬钼合金(CrMo)靶材 Chrome-molybdenum alloy target 2018-04-30发布 2018-09-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1234—2018 前言 本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、合肥江丰电子材料有 限公司。 本标准主要起草人：姚力军、王学泽、袁海军、陈勇军、吴东青、黄东长、钱红兵、丁照崇、高岩、苏美凤。 YS/T1234—2018 铬钼合金（CrMo）靶材 1范围 本标准规定了工具薄膜用铬钼合金靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存和质量 证明书及订货单(或合同)内容。 本标准适用于工具薄膜制造用的各类铬钼合金靶材。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件 牛，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 3850 致密烧结 属材料与硬质合金 密度测定方法 GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法 金属板材超声板波探伤方法 GB/T8651 GB/T14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 YS/T837 溅射靶材 背板结合质量超声波检验方法 SN/T2619 金属铬中 铝、锑、砷、铋、铜、铁、铅、硅、锡杂质元素的测定 电感耦合等离子体原子发 射光谱法 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件 3. 1 靶材target 在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式 脱离阴极而在阳极表面沉积。 3. 2 靶坏targetblank 阴极上用作溅射材料的部分。 3. 3 背板backingplate 用来支撑或固定靶材的部分。靶坏与背板可以通过焊接（如钎焊、电子束焊、扩散焊等）、机械复合、 粘接等方式连接。 4要求 4.1产品分类 4.1.1产品形状通常为圆形，示意图如图1所示。 1 YS/T1234—2018 4.1.2 2产品按照结构形式分为单体和焊接两种，靶材背板可包括铝合金、铜合金等，示意图如图2所示。 靶材背板不参与溅射，背板成分、规格等根据客户基台或图纸确定。 3产品按照化学成分分为Cr90Mo10、Cr70Mo30两个牌号。 4.1.3 图1 铬钼合金靶材形状 靶坏 焊接层 背板 a）焊接型靶材 b)单体靶材 图2 铬钼合金靶材结构 4.2 2化学成分 产品的化学成分应符合表1规定。 化学成分 表 1 牌 Cr90Mo10 Cr70Mo30 Mo含量（质量分数）/% 9.0~11.0 27.0~33.0 ≥99.8 ≥99. 8 Cr+Mo含量（质量分数)/% Fe ≤0. 08 ≤0.08 Ni ≤0. 01 ≤0.01 Ca S000> 9000> Pb ≤0.005 S000> ≤0. 01 S ≤0.01 Al ≤0.08 ≤0.08 杂质元素含量 IS ≤0.1 ≤0.1 （质量分数)/% Sb 8000°0 8000°0> P 000> ≤0.005 no ≤0.005 ≤0.005 c ≤0. 04 ≤0. 04 N ≤0. 02 ≤0.02 0 ≤0.35 ≤0.35 Cr十Mo含量为100%减去表中杂质实测总和的余量(不含C、N、O)。 2 YS/T1234—2018 3平均晶粒度 4.3 产品晶粒尺寸为70μm～120μm，平均晶粒度为3.0级～4.5级，且晶粒分布均匀。需方如有特殊 要求时，由供需双方商定，并在订货单（或合同)中注明。 4.4致密度 产品的致密度应不小于98%。 4.5 5内部质量 产品内部夹杂和气孔等缺陷面积应不大于总溅射面积的0.02%。需方如有特殊要求时，由供需双 方商定。 4.6 6焊接质量 产品的焊接方式为钎焊（也有些为 一体型靶材，无需焊接）。焊接质量应符合表2的规定，需方如有 特殊要求时，由供需双方商定 表2焊接质量要求 焊接方式 焊接结合率 单个未焊合间隙面积/总面积 钎焊 ≥95% ≤2.5% 4.7 外形尺寸与允许偏差 产品尺寸一般由需方提供图纸，经双方确认后，方可生产。 4.8表面粗糙度 产品表面粗糙度应符合图纸要求，图纸无要求时R，值应不大于1.6m。需方如有特殊要求时，由 供需双方商定，并在订货单(或合同)中注明。 4.9 9外观质量 产品表面应清洁光滑，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺 陷。 5 5试验方法 5.1化学成分 5.1.1Mo含量应使用电感耦合等离子体光谱法进行测定，或按照供需双方约定的方法进行测定。 5.1.2C、N、O、S含量按照GB/T14265进行测定。 5.1.3镍、钙、磷含量由供需双方约定的方法进行测定，其他杂质元素含量按SN/T2619进行检测。 5.2平均晶粒度 平均晶粒度按照GB/T6394进行检验。 5.3致密度 致密度按GB/T3850进行评定和确认。 3 YS/T1234—2018 5.4内部质量 内部质量按GB/T8651进行检测。 5.5焊接质量 焊接质量按照YS/T837进行检测。 5.6外形尺寸与允许偏差 产品按照图纸要求，采用卡尺、平面度仪、塞规等进行检测，需方有特殊要求时，可采用三坐标测量仪 (CMM)进行检测。 5.7表面粗糙度 表面粗糙度通过粗糙度测量仪，按照加工图纸标识尺寸进行测量，或按照供需双方约定的方法测定。 5.8外观质量 产品外观质量目视检查，如发现异常现象，用放大镜或数码显微镜进行鉴别。 6检验规则 6.1检查和验收 6.1.1产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同)的规定，并填写质量证 明书。 6.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准（或订货合同)的规定不符 时，应在收到产品之日起1个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方 在需方共同进行。 6.2组批 产品应成批提交验收。每批应由同一投料批、同种纯度和规格的靶材组成。 6.3检验项目和取样规定 6.3.1 检验项目、取样位置及取样数量 检验项目、取样位置及取样数量应符合表3规定。 表3检验项目、取样位置及取样数量 取样数量 要求的章条号 试验方法章条号 检验项目 取样规定 靶坏边料 1个/批 4. 2 5. 1 化学成分 （取样位置参考图3) 靶坏边料 1个/批 4. 3 5. 2 平均晶粒度 （取样位置参考图3) 1个/批 4. 4 5.3 致密度 焊接前整体 1个/批 4. 5 焊接前整体 5. 4 内部质量 4 YS/T1234—2018 表3(续) 检验项目 取样规定 取样数量 要求的章条号 试验方法章条号 焊接质量 焊接后整体 逐件 4. 6 5. 5 外形尺寸 成品 逐件 4.7 5. 6 表面粗糙度 成品 逐件 4. 8 5. 7 外观质量 成品 逐件 4.9 5. 8 6.3.2取样位置 在生产过程中，为了不破坏靶的整体性，化学成分和平均晶粒度的检测在靶坏焊接前进行。圆形靶 坏在两端的边缘位置进行取样，取样位置如图3所示。 样品2 样品1 图3铬钼合金靶坏取样位置示意图 6.4检验结果判定 6.4.1化学成分检验结果不合格时，则判该批产品不合格。 6.4.2平均晶粒度、致密度、内部质量检验不合格时，允许从该批产品中另取双倍试样进行重复试验，若 重复试验结果全部合格，则判该批产品合格；若重复试验结果仍有试样不合格，则判该批产品不合格。 6.4.3焊接质量、外形尺寸、表面粗糙度、外观质量检验结果不合格时，判该件产品不合格。 7标志、包装、运输、贮存、质量证明书 7.1标志 7.1.12 在检验合格的产品上，将公司标志、成分及生产批号刻在产品指定位置。 7. 1. 2 在每个外包装上贴纸质标贴，内容包括： a) 公司标志； b) 产品名称； 材料及纯度； ) d) 客户名称； 订单编号； e) f) 生产批号； g) 出厂日期； h) 其他要求内容。 7.2包装 7.2.1 1产品的清洗、干燥及内包装应在千级洁净室内进行。靶材经过全面清洗，真空干燥后每片单独真 5