ICS 77.150. 40 YS H 62 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 1220—2018 铬靶材 Chromium target 2018-04-30 发布 2018-09-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T12202018 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准负责起草单位：株洲冶炼集团股份有限公司、中国有色金属工业协会。 本标准主要起草人：谭仪文、蒋少英、彭小苏、陈立三、杨鹏、谢群、张林。 YS/T1220—2018 铬靶材 1范围 本标准规定了铬靶材的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输与贮存、质量证明 书及订货单(或合同)内容等。 本标准适用于表面处理、光电子、功能薄膜等领域所需的金属铬靶材。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件，凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T1031产品几何技术规范（GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值 GB/T3211金属铬 GB/T4325.18钼化学分析方法第18部分：钒量的测定钼试剂分光光度法和电感耦合等离子 体原子发射光谱法 GB/T4702.1 金属铬 铬含量的测定硫酸亚铁铵滴定法 GB/T4702.2 金属铬 硅含量的测定高氯酸重量法 GB/T 4702.4 金属铬 铁含量的测定 乙二胺四乙酸二钠滴定法和火焰原子吸收光谱法 GB/T4702.5 金属铬 铝含量的测定乙二胺四乙酸二钠滴定法和火焰原子吸收光谱法 GB/T 4702.6 金属铬 铁、铝硅和铜含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法 GB/T4702.7 金属铬 氮含量的测定蒸馏分离-奈斯勒试剂分光光度法 GB/T 4702.14 金属铬 化学分析方法红外线吸收法测定碳量 GB/T 4702.16 金属铬 硫含量的测定红外线吸收法和燃烧中和滴定法 GB/T 4702.17 金属铬 氧、氮、氢含量的测定惰性气体熔融红外吸收法和热导法 GB/T5163 烧结金属材料（不包括硬质合金）可渗性烧结金属材料密度、含油率和开孔率的测 定 GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 SN/T2619 金属铬中铝、锑、砷、铋、铜、铁、铅、硅、锡杂质元素的测定电感耦合等离子体原子发 射光谱法 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3. 1 表观密度density 每单位体积物质的质量。 1 YS/T 1220—2018 3. 2 相对密度relativedensity 物质的实测密度与参照物的密度的比值。本标准中是物质表观密度与理论密度的比值。铬靶材理 论密度以7.19g/cm²计算。 4要求 4.1产品分类 产品按化学成分分为6种牌号：Cr99.0、Cr99.5、Cr99.8、Cr99.9、Cr99.95、Cr99.99。 4.2化学成分 4.2.1 产品的化学成分应符合表1的规定。 4.2.2 Cr99.99、Cr99.95、Cr99.9、Cr99.8牌号中铬量为差减法测定。Cr99.0、Cr99.5牌号中铬量直接 测定。 表1： 铬靶材化学成分 化学成分(质量分数)/% 牌号 杂质，不大于 Cr,不小于 Fe IS Al Cu Pb V C S N 0 总和 Cr99. 99 66°66 0. 001 0.002 0.002 0.002 0.002 0.001 0.005 0.005 0.005 0. 02 0. 01 Cr99. 95 99.95 0.015 0. 01 0. 01 0.005 0.005 0. 01 0. 01 0.005 0. 01 0.03 0. 05 Cr99.9 99. 9 0.05 0. 02 0.02 0. 01 0.005 0. 01 0. 02 0.005 0.01 0. 05 0. 1 99.8 0. 08 0. 05 0.01 0.005 0. 02 0.04 0.01 0.02 0. 1 0. 2 Cr99.8 0.06 Cr99.5 99.5 0.16 0. 20 0.12 0. 01 0.005 0. 05 0. 02 0. 01 0.05 0. 15 0. 5 Cr99.0 99.0 0. 30 0. 30 0.20 0. 01 0.005 0. 05 0. 05 0. 05 0.06 0.55 1. 0 杂质总和为除C、S、N、O元索外，其他包括但不限于表中所列杂质元索实测值总和的余量。 4.3 物理性能 4.3.1 相对密度：不同牌号的产品相对密度均应≥99%；密度均匀性偏差为士0.2%。 4.3.2 晶粒尺寸：平均晶粒尺寸应≤200um。 4.4物理规格 产品呈板状、圆柱状、管状或其他形状，规格尺寸及偏差由供需双方商定。 4.5外观质量 4.5.1产品为银白色，颜色应均匀。 4.5.2产品表面应平整、无裂纹、无明显崩边，气孔直径不大于0.8mm，且无其他外来夹杂物和污染物。 4.5.3产品表面粗糙度Ra值应≤1.6μm。 4.6内部缺陷 产品内部不应存在裂纹，不得有夹杂、气孔直径不大于0.8mm。 2 YS/T1220—2018 4.7其他 需方如对产品的化学成分、物理性能、物理规格、外观质量、内部缺陷等有特殊要求时，由供需双方商 定。 5试验方法 5.1化学成分仲裁分析方法 5.1.1铬量的测定按照GB/T4702.1的规定进行。 5.1.2铁量的测定按照GB/T4702.4的规定进行。 5.1.3硅量的测定按照GB/T4702.2的规定进行。 5.1.4铝量的测定按照GB/T4702.5的规定进行。 5.1.5 铜量的测定按照GB/T4702.6的规定进行 5. 1.6 铅量的测定按照SN/T2619的规定进行。 钒量的测定参照GB/T4325.18的规定进行。 5. 1.7 5.1.8 碳量的测定按照GB/T4702.14的规定进行 5. 1.9 硫量的测定按照GB/T4702.16的规定进行。 5.1.10 氮量的测定按照GB/T4702.7的规定进行。 5.1.11 氧量的测定按照GB/T4702.17的规定进行。 5. 2 物理性能检测方法 5.2.1产品相对密度的检测按GB/T5163的规定进行。 5.2.2产品晶粒尺寸的检测应按照GB/T6394的规定进行 5.3物理规格检测方法 产品物理规格用卡尺和千分尺进行检测， 5.4外观质量检测方法 5.4.1产品的表面粗糙度按GB/T1031的规定用表面粗糙度仪进行检测。 5.4.2产品的外观质量用目视法进行检测，如发现异常现象，用10倍放大镜进行鉴别。 5.5内部缺陷检测方法 产品内部缺陷应用超声波扫描显微镜进行检测。 6检验规则 6.1检查和验收 6.1.1产品应由质量检测机构进行检验，保证产品质量符合本标准或订货单（或合同)的规定，并填写质 量证明书（合格证）。 6.1.2需方可对收到的产品按本标准的规定进行检验。如检验结果与本标准或订货单（或合同)的规定 不符时，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样在需方由 供需双方共同进行。 YS/T1220—2018 6.2组批 产品应成批提交检验，每批应由相同批次原料、同一炉次的产品组成。批重不限。 6.3检验项目 6.3.1每批产品应进行化学成分的检验。 6.3.2物理性能、物理规格、外观质量、内部缺陷进行型式检验。在正常生产情况下，至少每年进行一次 型式检验。而有下列情况之一时，应随时进行型式检验：新产品最初定型时、异地生产时、生产配方、工 艺、关键原材料来源及产品施工配比有较大改变时、停产三个月恢复生产时。所有项目的检验结果达到 本标准的要求时，产品符合要求， 6.4仲裁取样和制样 6.4.1化学分析仲裁样的采取和制备 从产品中按片（件）随机抽取10%样品，但不少于1片（件），根据靶材形状用线切割机沿边均匀切割 不少于50g样品，用超声波清洗器清洗干净，分四份封装。 产品化学分析仲裁样的采取和制备方法也可以由供需双方商定。 6.4.2物理性能检验仲裁样的采取 从产品中按片（件）随机抽取10%样品，但不少于1片（件），根据靶材形状用线切割机分割成合适大 小，用超声波清洗器清洗干净后进行物理性能的测定。 6.4.3物理规格、外观质量、内部缺陷仲裁样的采取 产品逐一检验。 6.5检验结果的判定 6.5.1检验结果的数值修约与极限数值的表示和判定按GB/T8170中的规定进行。 6.5.2化学成分、物理性能的检验结果与本标准的规定不符时，按批判不合格。 6.5.3物理规格、外观质量、内部缺陷与本标准的规定不符时，按片（件)判不合格。 7包装、标志、运输与贮存、质量证明书 7.1包装 每片产品应真空封装，产品之间应用软物隔离开，并在采用相应的防震措施后用木箱封装。 7.2标志 每箱产品的包装上应标注注册商标（或企业标志）、产品名称，箱内有批号、牌号及产品合格标志。 7.3运输与贮存 运输及贮存过程中应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。 7.4其他 需方如对产品的标志、包装、运输与贮存有特殊要求时，由供需双方商定。 YS/T1220—2018 7.5 质量证明书（合格证） 每批铬靶材出厂时应附质量证明书(合格证)，其上注明： a) 供方名称和商标； b) 产品名称； c) 牌号； (P 批号； (2 净重和件数； f) 分析检验结果