YS ICS 77.150.99 H 68 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T11232016 铂蒸发料 Evaporatedplatinummaterial 2016-07-11发布 2017-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1123—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院 本标准主要起草人：张巧霞、张涛、王兴权、向磊、万小勇、贺昕、张玉利、王越、王永辉、贾存锋。 H YS/T1123—2016 铂蒸发料 1范围 本标准规定了铂蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单 (或合同内容。 本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T1419—2004海绵铂 GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T15077一2008贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 3要求 3.1产品分类 3.1.1产品按照化学成分分为IC-Pt99.95、IC-Pt99.99两个牌号。 3.1.2产品主要分为片状、柱状，如图1所示。产品形状、定义及供货状态应符合表1的要求，需方有 其他要求时由供需双方协商解决。 L A a）片状 b)柱状 说明： A——长度； L—长度； B-宽度; D直径。 C——厚度； 图1铂蒸发料示意图 表1 铂蒸发料分类 形状 定义 供货状态 片状 厚度为0.5mm~5mm，长度为5mm~20mm，宽度为5mm~20mm的片材 加工态 柱状 直径为2mm~8mm，长度为3mm~10mm的丝线材 1 YS/T1123—2016 3.2牌号表示方法和标记示例 3.2.1 片状标记示例 IC-Pt99.99-mm×mm×mm-YS/T1123—2016 厚 宽 长 示例：长为10mm、宽为10mm、厚为2mm、纯度为99.99%的片状铂蒸发料产品标记为： IC-Pt99.99-10X10×2mm-YS/T1123—2016 3.2.2 柱状标记示例 IC-Pt99.99-mm×mm-YS/T1123—2016 长度 直径 示例：直径为6mm、长为6mm、纯度为99.99%的柱状铂蒸发料产品标记为： IC-Pt99.99-$6X6mm-YS/T1123—2016 3.3化学成分 产品的化学成分要求见表2。 表2 铂蒸发料的化学成分 杂质含量（质量分数)/%，不大于 Pt（质量分数)/%， 牌号 不小于 Al 18 Cr n Ag Au Fe Ir Mg Mn IC-Pt 99. 95 99.95 0. 005 0.005 0. 01 0.005 0.005 0. 005 0.005 0. 02 0.005 0.005 IC-Pt 99. 99 99.99 0. 001 0.003 0.003 0.002 0.002 0., 001 0. 001 0.003 0.002 0.002 杂质含量（质量分数)/%，不大于 Pt(质量分数)/%， 不小于 Ni Pd Pb Rh Ru IS Sn Zn 杂质总量? IC-Pt 99. 95 $666 0.005 0. 01 0.005 0.02 0.02 0.005 0.005 0. 005 0. 05 IC-Pt 99. 99 66°66 0.001 0.003 0.002 0.003 0.003 0.003 0.002 0.002 0. 01 注：需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商执行。 a杂质总和为表中所列杂质实测值之和。 b铂蒸发料的铂含量为100%减去表中所列杂质实测值之和的余量。 3.4几何尺寸 产品的几何尺寸及允许偏差见表3。 2 YS/T1123—2016 表3几何尺寸及允许偏差 单位为毫米 片状 柱状 项目 B c A D L 10, 0 10. 0 2. 0 2. 0 8. 0 尺寸 15. 0 15. 0 2. 0 3. 0 6. 0 允许偏差 ±0.5 ±0.5 ±0.2 ±0.2 ±0.5 3.5外观质量 3.5.1 产品表面应光亮平整、洁净，边角完整、无飞边、毛刺、夹杂和裂纹等缺陷。 3.5.2产品表面应清洁、无油污和锈蚀；应无颗粒附加物和其他沾污。 3.5.3产品端面或表面允许有轻微的冲、剪、裁等痕迹。 4试验方法 4.1产品化学成分的分析方法按GB/T1419一2004中附录A和附录B的规定执行。 4.2产品几何尺寸测量按GB/T15077一2008的方法1直接测量法执行。 4.3外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。 5检验规则 5.1检查和验收 5.1.1产品由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单（或合同）的规定，并填写质 量证明书。 5.1.2需方收到产品，可按本标准的规定进行复验。如复验结果与订货单（或合同）的规定不符时，应 在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需 方共同进行。 5.2 组批 产品应成批提交检验。每批应由同一熔炼炉次、同一几何尺寸的产品组成。 5.3检验项目及取样 检验项目、取样位置及数量应符合表4的规定。 表4检验项目、取样位置及数量 检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号 检验的章条号 化学成分 成品 每批2粒 3. 3 4. 1 几何尺寸 成品随机取样 按GB/T2828.1取S-1，AQL=1.5抽取样品 3. 4 4. 2 外观质量 成品随机取样 按GB/T2828.1取S-1,AQL=1.5抽取样品 3. 5 4. 3 3