ICS77.150.60 CCSH62 中华人民共和国国家标准 GB/T45130—2025 氧化锌铝靶材 Zinc-aluminumoxidetarget 2025-01-24发布 2025-08-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国有色金属工业协会提出。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本文件起草单位:先导电子科技股份有限公司、深圳市中金岭南有色金属股份有限公司、株洲火炬 安泰新材料有限公司、芜湖映日科技股份有限公司、成都中建材光电材料有限公司、深圳市中金岭南有 色金属股份有限公司韶关冶炼厂、广东欧莱高新材料股份有限公司、河北恒博新材料科技股份有限公 司、福建阿石创新材料股份有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、上海大学、广东先导稀材股份有限 公司。 本文件主要起草人:余芳、童培云、朱赞芳、杨平、蒋少英、曾墩风、周毅、蔡正明、李庆丰、陈文麟、 葛春桥、李喜峰、朱刘、高敏沂、左鸿毅、刘慧明、王志强、李佳宣、李鹏、骆胜磊、陈钦忠、李强、张建华、 张科、曾平生、师世龙、王凯凯、朱永峰。 ⅠGB/T45130—2025 氧化锌铝靶材 1 范围 本文件规定了氧化锌铝靶材(以下简称“AZO靶材”)的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、 包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。 本文件适用于由ZnO和Al2O3粉末按照一定比例混合,以常压烧结工艺生产的氧化锌铝靶材,用 于薄膜太阳能电池镀膜和建筑节能玻璃镀膜。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB/T1551 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法 GB/T3850 致密烧结金属材料与硬质合金 密度测定方法 GB/T6569 精细陶瓷弯曲强度试验方法 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T13298 金属显微组织检验方法 SL499 钻孔应变法测量残余应力的标准测试方法 YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 表观密度 apparentdensity 每单位体积物质的质量。 3.2 相对密度 relativedensity 表观密度与理论密度的比值。 注:AZO靶材质量比m(ZnO)∶m(Al2O3)=98∶2时,AZO靶材理论密度以5.57g/cm3计算。 4 分类 AZO靶材按形状分为平面靶和管状靶;按ZnO和Al2O3的质量比规定为1个牌号:AZO98。 1GB/T45130—2025 5 技术要求 5.1 化学成分 5.1.1 主要成分 AZO靶材的质量比m(ZnO)∶m(Al2O3)=98∶2,Al2O3的含量允许差为±0.1%。 5.1.2 杂质成分 AZO靶材的杂质成分应符合表1的规定。 表1 AZO靶材杂质成分 杂质成分 FeCuPbCdMnCrNiNaSiCa总和a 杂质含量,不大于(×10-4) %20102010510102010020200 a杂质总和为表中所列杂质元素的总和。 5.1.3 其他 需方如对AZO靶材的化学成分有特殊要求时,由供需双方商定。 5.2 物理性能 5.2.1 AZO靶材的相对密度应不小于98%。 5.2.2 AZO靶材的电阻率应不大于5×10-3Ω·cm。 5.2.3 AZO靶材的抗弯曲强度应不小于150MPa。 5.2.4 AZO靶材的残余应力应不大于10MPa。 5.2.5 需方如对AZO靶材物理性能如有其他要求,由供需双方商定。 5.3 晶粒尺寸 AZO靶材的晶粒尺寸分布应均匀,平均晶粒尺寸应不大于20μm,最大晶粒尺寸应不大于50μm。 5.4 尺寸规格及其偏差 AZO靶材的尺寸规格及其偏差由供需双方商定。 5.5 外观质量 5.5.1 AZO靶材表面粗糙度(Ra)不大于1.0μm。 5.5.2 AZO靶材呈墨绿色或灰黑色,颜色应均匀。 5.5.3 AZO靶材表面应清洁光滑,无指痕,无崩角,无外来夹杂物、污染物。 5.5.4 AZO靶材气孔直径应不大于0.3mm,每平方厘米气孔个数应不多于5个。 5.6 内部质量 AZO靶材应无内部裂纹、气孔、夹杂等影响使用的质量缺陷。 2GB/T45130—2025 6 试验方法 6.1 化学成分 AZO靶材化学成分的分析方法由供需双方协商采用相应方法进行。 6.2 物理性能 6.2.1 相对密度 AZO靶材的表观密度的测定按GB/T3850的规定进行,再根据表观密度和理论密度计算得到相 对密度。 6.2.2 电阻率 AZO靶材的电阻率的测定应按GB/T1551中直流四探针法的规定进行。 6.2.3 抗弯曲强度 AZO靶材的抗弯曲强度的测试按GB/T6569的规定进行。 6.2.4 残余应力 AZO靶材的残余应力的测定按SL499的规定进行。 6.3 晶粒尺寸 AZO靶材的的平均晶粒尺寸的测定按GB/T13298的规定进行。 6.4 尺寸规格及其偏差 AZO靶材的尺寸规格及其偏差的测定应用相应精度的量器进行。 6.5 外观质量 AZO靶材的外观质量应用目视法或粗糙度仪及相应精度的量器检验。 6.6 内部质量 AZO靶材的内部质量的检验按YS/T837的规定进行。 7 检验规则 7.1 检查和验收 7.1.1 AZO靶材应由供方或第三方进行检验,产品质量应符合本文件和订货单的规定。 7.1.2 需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件或订货单的规定不符 时,应在收到产品之日起30d内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,仲裁取样在需方由供需 双方共同进行。 7.2 组批 AZO靶材应成批提交检验,每批应由同一生产批次、同一生产工艺、同一规格、同一批原料生产的 3GB/T45130—2025 产品组成。 7.3 检验项目 产品检验项目分为出厂检验项目和型式检验项目,应符合表2的规定。 表2 检验项目 检验项目 出厂检验项目 型式检验项目 化学成分 √ √ 物理性能相对密度 √ √ 电阻率 √ √ 抗弯曲强度 △ √ 残余应力 △ √ 晶粒尺寸 △ √ 尺寸规格及其偏差 √ √ 外观质量 √ √ 内部质量 √ √ 注:表中“√”表示“必验项目”;“△”表示“非必验项目”。 在以下条件下应进行型式检验: a) 新生产线的产品生产时; b) 正式生产后如结构、工艺有较大改变可能影响产品性能时; c) 正常连续生产6个月时; d) 产品长期停产后恢复生产时。 7.4 取样和制样 产品的取样和制样应符合表3的规定。 表3 取样和制样 检验项目 取样和制样规定技术要求的 章条编号检验方法的 章条编号 化学成分 供需双方商定 5.1 6.1 相对密度从产品中按片(件)随机抽取10%样品,但不少于1(件),沿AZO靶材的中 心线,用线切割机等距分取20mm×20mm的样品3~4块,用超声波清洗 器清洗干净后进行表观密度的测定5.2.1 6.2.1 电阻率从产品中按片(件)随机抽取10%的样品但不少1(件),用线切割机沿 AZO靶材的边切割长120mm的矩形长条10个,用超声波清洗器清洗干 净后进行电阻率的测定5.2.2 6.2.2 抗弯曲强度从产品中按片(件)随机抽取10%的样品,但不少于1片(件),用线切割机 沿AZO靶材的边切割下符合要求的样品,用超声波清洗器清洗干净后进 行抗弯曲强度的测定5.2.3 6.2.3 4GB/T45130—2025