ICS31.260 CCSL90 中华人民共和国国家标准 GB/T44567—2024 光学晶体 紫外级氟化钙晶体 Opticscrystal—Ultravioletgradecalciumfluridecrystal 2024-09-29发布 2025-04-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国机械工业联合会提出。 本文件由全国光学和光子学标准化技术委员会(SAC/TC103)和全国人工晶体标准化技术委员会 (SAC/TC461)共同归口。 本文件起草单位:中国科学院上海硅酸盐研究所、上海德硅凯氟光电科技有限公司、北京玻璃研究 院有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、上海镭望光学科技有限公司、北京中材人工晶体研 究院有限公司、中国兵器工业标准化研究所、福建晶翔光电科技有限公司。 本文件主要起草人:苏良碧、张博、刘荣荣、吴庆辉、唐飞、张中晗、姜大朋、王静雅、寇华敏、钱小波、 贾健、刘珊、侯宝路、李运锋、曾爱军、陈建荣、孟凡萍、赖金峰。 ⅠGB/T44567—2024 光学晶体 紫外级氟化钙晶体 1 范围 本文件规定了紫外级氟化钙晶体的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件,描述了 相应的试验方法。 本文件适用于紫外级氟化钙晶体的生产与检验。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB/T7962.1 无色光学玻璃测试方法 第1部分:折射率和色散系数 GB/T7962.2 无色光学玻璃测试方法 第2部分:光学均匀性 斐索平面干涉法 GB/T7962.5 无色光学玻璃测试方法 第5部分:应力双折射 GB/T7962.16 无色光学玻璃测试方法 第16部分:线膨胀系数、转变温度和弛垂温度 GB/T7962.20 无色光学玻璃测试方法 第20部分:密度 GB/T16534 精细陶瓷室温硬度试验方法 GB/T22588 闪光法测量热扩散系数或导热系数 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 紫外级氟化钙晶体 ultravioletgradecalciumfluridecrystal 应用波段为190nm~400nm的氟化钙晶体。 3.2 光学均匀性 opticalhomogeneity 晶体内部各点在相同方向上折射率的一致性程度。 3.3 色散系数 dispersioncoefficient 介质的折射率随波长变化的导数。 3.4 应力双折射 stressbirefringence 因晶体内应力引起的双折射现象。 3.5 条纹 striae 氟化钙晶体内部,冰裂状的条状物缺陷。 1GB/T44567—2024 3.6 晶界 grainboundary 结构相同而取向不同晶粒之间相互接触的接触界面。 3.7 散射颗粒 scatterparticles 通过强光照射在晶体内部观测到的亮点。 3.8 内透过率 internaltransmittance 通过单位厚度(1cm)的晶体内部的光谱透射比。 注:不包含表面反射损失的内部透射比。 4 技术要求 4.1 外观和缺陷 4.1.1 外观质量 紫外级氟化钙晶体外观应为无色透明。 4.1.2 外形尺寸 紫外级氟化钙晶体外形尺寸及允许偏差应由供需双方协商确定。 4.1.3 散射颗粒 在暗室中,用功率为10mW~50mW,波长为532nm的激光器连续照射下检测,晶体内应无肉眼 可见散射颗粒。 4.1.4 晶界 紫外级氟化钙晶体应无多晶晶界。 4.1.5 条纹 在应力仪下观察,应无肉眼可见的条纹。 4.2 内透过率 紫外级氟化钙晶体内透过率应符合表1的规定。 表1 紫外级氟化钙晶体内透过率 波长λ nm190<λ≤200 200<λ≤300 300<λ≤400 内透过率 ≥95.0% ≥97.0% ≥99% 4.3 折射率和色散系数 紫外级氟化钙晶体折射率和色散系数与理论值的偏差应符合表2的规定。 2GB/T44567—2024 表2 紫外级氟化钙折射率和色散系数 数值 194.17nm的折射率n194.17248.27nm的折射率n248.27365.01nm的折射率n365.01色散系数νd 理论值 1.50061 1.46794 1.44490 95.25 允许偏差值 ≤20×10-6≤±5% 4.4 应力双折射 紫外级氟化钙晶体对632.8nm光源的应力双折射应符合表3的规定。 表3 紫外级氟化钙晶体应力双折射 直径ϕ mmϕ≤50 50<ϕ≤100 100<ϕ≤200 ϕ>200 应力双折射 nm/cm≤3 ≤5 ≤10 ≤30 4.5 光学均匀性 厚度不大于50mm的紫外级氟化钙晶体对632.8nm光源的光学均匀性应符合表4的规定。 表4 紫外级氟化钙晶体光学均匀性 直径ϕ mmϕ≤50 50<ϕ≤100 100<ϕ≤200 ϕ>200 光学均匀性 ≤2×10-6≤5×10-6≤10×10-6≤50×10-6 4.6 密度 紫外级氟化钙晶体的密度应为(3.18±0.02)g/cm3。 4.7 维氏硬度 紫外级氟化钙晶体的维氏硬度值应不小于1501.7MPa(158.3kgf/mm2)。 4.8 导热系数 在20℃~25℃范围内,紫外级氟化钙晶体的导热系数应为(9.7±0.05)W/(m·K)。 4.9 线膨胀系数 在0℃~25℃范围内,紫外级氟化钙晶体线膨胀系数应为(18.85±0.05)×10-6K-1。 5 试验方法 5.1 外观和缺陷 5.1.1 外观质量 紫外级氟化钙晶体外观质量的检测采用在日光灯下目视检查。 3GB/T44567—2024 5.1.2 外形尺寸 紫外级氟化钙晶体外形尺寸及允许偏差的检测用精度不低于0.02mm的量具进行。 5.1.3 散射颗粒 5.1.3.1 仪器 激光器,功率为10mW~50mW,波长为532nm。 5.1.3.2 试样 试样双面和观察面经过光学检测级抛光加工,其中双面是指相互平行的两个面,观察面是与试样双 面垂直的面。 5.1.3.3 试验步骤 主要步骤如下: a) 将试样放置在激光器照射下的光路中,黑色衬底上; b) 用激光器照射样品内部的散射颗粒情况,目视检测并记录。 5.1.4 晶界与条纹 5.1.4.1 仪器 采用偏光应力仪,重复测量精度:±1nm。 5.1.4.2 试样 试样双面抛光或者细磨,平行度不大于10'。 5.1.4.3 试验步骤 主要步骤如下: a) 未抛光的试样表面涂折射率匹配液,折射率匹配液与样品的折射率之差不大于0.1,如甘油; b) 将试样放在仪器的观测台上,打开电源旋转检偏镜,对试样的晶界与条纹进行检测。 5.2 内透过率 5.2.1 仪器 采用波长范围不小于190nm~400nm的深紫外双光束自动分光光度计,带宽不大于0.17nm,波 长精度为±0.1nm,光度计精度为±0.003Å。 5.2.2 试样 试样两块,通光口径ϕ25mm~ϕ50mm,厚度20mm~40mm,其中一块单面抛光、一块双面抛 光,试样表面粗糙度不大于1nm,表面疵病不大于B/3×0.16,双面抛光试样两面平行度不大于1'。 5.2.3 试验步骤 试验步骤如下: a) 0°入射,向分光光度计的样品仓内部通入氮气,在氮气环境中测量双抛试样的透射比Tλ; 4GB/T44567—2024