ICS31.030 CCSL90 中华人民共和国国家标准 GB/T43773—2024 电子气体 羰基硫 Electronicgas—Carbonylsulfide 2024-03-15发布 2024-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:福建久策气体股份有限公司、河南心连心深冷能源股份有限公司、天津绿菱气体 有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、福建德尔科技股 份有限公司、广东华特气体股份有限公司、金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、昊华 气体有限公司西南分公司、北京高麦克仪器科技有限公司、太和气体(荆州)有限公司、三峡大学、湖北和 远气体股份有限公司、兰州裕隆气体股份有限公司、杭氧集团股份有限公司、衢州杭氧特种气体有限公 司、液化空气(中国)投资有限公司、浙江省计量与标准化学会、浙江省标准化研究院、浙江中硝康鹏化学 有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、 联雄投资(上海)有限公司、中国计量科学研究院、上海凡伟仪器设备有限公司、浙江省化工研究院有限 公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、 中昊光明化工研究设计院有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、哈尔滨黎明气体有 限公司、中国测试技术研究院化学研究所、空气化工产品(中国)投资有限公司、中国计量测试学会、北京 睿信捷环保科技有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上 海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、眉山麦克在线设备股份有限公司、西南化工研究设计 院有限公司。 本文件主要起草人:曹素英、毛玉凤、汤萍、吴禹强、郑梦杰、郑秋艳、倪珊珊、蔡金、黄斌斌、傅铸红、 陈艳珊、金向华、孙猛、廖恒易、李磊、孙福楠、郭琼、胡迎、牛艳东、刘丽娜、阳辉、汪正宏、袁有录、杜大艳、 曹小林、方强、尹爱华、王小波、何晖、李春胜、齐婕、朱安民、张孛媛、朱明、王子源、金雪光、马彬淇、方华、 孙震、赵爽、黄辉、王德发、尹冬梅、何波、唐中伟、史婉君、宫兵、杨金山、鲍光强、王见见、魏王慧、郝萍、 常侠、边鲁宁、邵成刚、周鑫、王晶、杨扬仲夫、赵洁、杨利、王立、梁永强、高静、张艺山、赖晓峰、周鹏云、 唐霞梅。 ⅠGB/T43773—2024 电子气体 羰基硫 1 范围 本文件规定了羰基硫的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的 要求。 本文件适用于一氧化碳与硫为原料合成制备的电子用羰基硫。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB190 危险货物包装标志 GB/T5099(所有部分) 钢质无缝气瓶 GB/T5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法 GB/T7144 气瓶颜色标志 GB/T14193 液化气体气瓶充装规定 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB15603 危险化学品仓库储存通则 GB/T16804 气瓶警示标签 GB/T28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T33145 大容积钢制无缝气瓶 GB/T43306 气体分析 采样导则 TSGR0005 移动式压力容器安全技术监察规程 TSG23 气瓶安全技术规程 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 技术要求 羰基硫的技术要求应符合表1的规定。 表1 技术要求 项目 指标 羰基硫(COS)纯度(摩尔分数)/10-2≥99.995 氢(H2)含量(摩尔分数)/10-6<1 1GB/T43773—2024 表1 技术要求(续) 项目 指标 (氧+氩)(O2+Ar)含量(摩尔分数)/10-6<5 氮(N2)含量(摩尔分数)/10-6<20 一氧化碳(CO)含量(摩尔分数)/10-6<3 二氧化碳(CO2)含量(摩尔分数)/10-6<10 甲烷(CH4)含量(摩尔分数)/10-6<1 硫化氢(H2S)含量(摩尔分数)/10-6<5 二氧化硫(SO2)含量(摩尔分数)/10-6<5 二硫化碳(CS2)含量(摩尔分数)/10-6<5 水分(H2O)含量(摩尔分数)/10-6<5 杂质总含量(摩尔分数)/10-6≤50 5 采样 羰基硫的采样应符合GB/T43306的规定。 6 试验方法 警示———本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况,使用者应采取适当的安全和健康防护措施。 6.1 羰基硫纯度 6.1.1 杂质总含量 杂质总含量按公式(1)计算: x11=x1+x2+x3+x4+x5+x6+x7+x8+x9+x10…………………(1) 式中: x1———氢含量(摩尔分数),10-6; x2———(氧+氩)含量(摩尔分数),10-6; x3———氮含量(摩尔分数),10-6; x4———一氧化碳含量(摩尔分数),10-6; x5———二氧化碳含量(摩尔分数),10-6; x6———甲烷含量(摩尔分数),10-6; x7———硫化氢含量(摩尔分数),10-6; x8———二氧化硫含量(摩尔分数),10-6; x9———二硫化碳含量(摩尔分数),10-6; x10———水分含量(摩尔分数),10-6; x11———杂质总含量(摩尔分数),10-6。 6.1.2 羰基硫纯度 羰基硫纯度按公式(2)计算: 2GB/T43773—2024 x=100-x11×10-4…………………………(2) 式中: x———羰基硫纯度(摩尔分数),10-2。 6.2 氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定 6.2.1 测定方法 按GB/T28726规定的切割进样的方法测定羰基硫中氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含 量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法。 6.2.2 预分离柱 长约0.6m,内径约2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的改性碳分子筛,或其他等 效色谱柱。 6.2.3 色谱柱 色谱柱Ⅰ:长约2m,内径约2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子筛,或 其他等效色谱柱。该柱用于测定氢、氧+氩、氮、一氧化碳、甲烷含量。 色谱柱Ⅱ:长约4m,内径约2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的高分子聚合物 (二乙烯基苯),或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳含量。 6.2.4 标准样品 标准样品中组分含量与被测组分含量相近,平衡气为氦气。 6.3 硫化氢、二氧化硫、二硫化碳含量的测定 6.3.1 测定方法 按GB/T28726规定的方法测定羰基硫中硫化氢、二氧化硫、二硫化碳含量。可采用其他等效的方 法测定。当对测定结果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法。 6.3.2 色谱柱 色谱柱Ⅰ:长约1.2m,内径约1mm的内涂层不锈钢管,内装粒径为0.15mm~0.18mm的高分子 聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化硫、二硫化碳 含量。 色谱柱Ⅱ:长约2m,内径约1mm的内涂层不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的高分子 聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色谱柱。该柱用于测定硫化氢含量。 6.3.3 标准样品 标准样品中组分含量与被测组分含量相近,平衡气为氦气。 6.3.4 气路流程 参考的气路流程示意图见附录A。 6.4 水分含量的测定 按GB/T5832.3的规定执行。 3GB/T43773—2024 可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时,以GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法。 6.5 尾气处理 测定时,应有羰基硫尾气处理措施,以防止羰基硫对环境的污染。 7 检验规则 羰基硫产品应逐一检验并验收。当检验结果均符合表1的技术要求时,判该产品合格。当检验结 果有任何一项指标不符合表1的技术要求时,则判该产品不合格。 8 标志、包装、运输、贮存及安全信息 8.1 标志 8.1.1 羰基硫出厂时应有产品质量合格证,其内容至少应包括: ———产品名称、生产厂名称; ———生产日期或批号,以及保质期; ———充装质量(kg); ———本文件编号及羰基硫的纯度。 8.1.2 包装容器上应涂刷“电子气体 羰基硫”字样。 8.1.3 羰基硫的包装标志应符合GB190的相关规定,颜色标志应符合GB/T7144的规定,包装标签应 符合GB15258、GB/T16804规定的要求。 8.2 包装、运输及贮存 8.2.1 包装羰基硫的气瓶应符合GB/T5099(所有部分)或者GB/T33145的规定。 8.2.2 羰基硫的充装及贮运应符合GB/T14193、TSGR0005、TSG23的规定。充装及贮运的安全管 理要求见《危险化学品安全管理条例》《特种设备安全监察条例》。 8.2.3 羰基硫的最大充装量按公式(3)计算: m=Fr×V …………………………(3) 式中: m———气瓶内羰基硫的质量,单位为千克(kg); Fr———羰基硫的充装系