ICS31.030 CCSL90 中华人民共和国国家标准 GB/T43772—2024 电子气体 二氧化碳 Electronicgas—Carbondioxide 2024-03-15发布 2024-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:河南心连心深冷能源股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、浙江泓芯半 导体有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、浙江海畅气 体股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、金宏气体股份有限公司、 江西华特电子化学品有限公司、重庆瑞信气体有限公司、北京高麦克仪器科技有限公司、大连华邦化学 有限公司、湖南凯美特气体股份有限公司、三峡大学、湖北和远气体股份有限公司、重庆同辉气体有限公 司、兰州裕隆气体股份有限公司、深圳高发气体股份有限公司、上海启元气体发展有限公司、浙江省计量 与标准化学会、浙江省标准化研究院、浙江中硝康鹏化学有限公司、杭氧集团股份有限公司、液化空气 (中国)投资有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、惠州市华达通气体制造股份有限公司、上海华 爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限 公司、布鲁克(北京)科技有限公司、浙江省化工研究院有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、 大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、 大连中汇达科学仪器有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国 测试技术研究院化学研究所、四川高精检测服务有限公司、中国计量测试学会、北京睿信捷环保科技有 限公司、哈尔滨黎明气体有限公司、眉山麦克在线设备股份有限公司、空气化工产品(中国)投资有限公 司、西南化工研究设计院有限公司。 本文件主要起草人:崔增涛、郭琼、朱明、银延蛟、兰锋、吴慧明、胡迎、郑秋艳、苏子杰、蔡金、林定标、 陈施华、孙福楠、廖恒易、陈艳珊、金向华、孙猛、傅铸红、禹金龙、江月军、牛艳东、刘丽娜、侯鹏、钱吉、 刘清辉、郭静楠、袁有录、杜大艳、曹小林、方强、黄加斗、王小波、尹爱华、徐汝峰、俞俊、曹益宁、张孛媛、 王子源、金雪光、刘尚进、韩帅、殷昊、张薇薇、马彬淇、刘峰、石唯、方华、王见见、何波、唐中伟、王云龙、 黄辉、赵跃、尚柏羊、史婉君、常侠、边鲁宁、胡树国、张体强、高艳秋、李春华、崔贺民、宫兵、贾任远、 沈远杰、周鑫、敖科、杨扬仲夫、赵洁、邵成刚、张艺山、王晶、周鹏云、唐霞梅。 ⅠGB/T43772—2024 电子气体 二氧化碳 1 范围 本文件规定了二氧化碳的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息 的要求。 本文件适用于由高纯二氧化碳经纯化制备的电子用二氧化碳。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB190 危险货物包装标志 GB/T5099(所有部分) 钢质无缝气瓶 GB/T5275.7 气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第7部分:热式质量流量控制器 GB/T5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法 GB/T7144 气瓶颜色标志 GB/T8979 纯氮、高纯氮和超纯氮 GB/T8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法 GB/T11446.1 电子级水 GB/T14193 液化气体气瓶充装规定 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB15603 危险化学品仓库储存通则 GB/T16804 气瓶警示标签 GB/T25915.1 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级 GB/T28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T28727 气体分析 硫化物的测定 火焰光度气相色谱法 GB/T33145 大容积钢质无缝气瓶 GB/T34972 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 GB/T43306 气体分析 采样导则 TSGR0005 移动式压力容器安全技术监察规程 TSG23 气瓶安全技术规程 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 技术要求 二氧化碳的技术要求应符合表1的规定。离子及金属元素的要求宜符合表2、表3的规定,也可供 1GB/T43772—2024 需双方协商。 表1 技术要求 项目 指标 二氧化碳(CO2)纯度(摩尔分数)/10-2≥99.999 ≥99.9995 氢(H2)含量(摩尔分数)/10-6<1.0 <0.5 (氧+氩)(O2+Ar)含量(摩尔分数)/10-6<2.0 <1.0 氮(N2)含量(摩尔分数)/10-6<5.0 <3.0 一氧化碳(CO)含量(摩尔分数)/10-6<1.0 <0.5 甲烷(CH4)含量(摩尔分数)/10-6<1.0 <0.5 非甲烷总烃(以甲烷计)含量(摩尔分数)/10-6<4.0 <2.0 总硫(以硫计)含量(摩尔分数)/10-6<0.01 <0.01 一氧化氮(NO)含量(摩尔分数)/10-6<0.25 <0.25 二氧化氮(NO2)(摩尔分数)/10-6<0.25 <0.25 水分(H2O)含量(摩尔分数)/10-6<3.0 <0.5 杂质总含量(摩尔分数)/10-6≤10 ≤5.0 氨(NH3)含量(摩尔分数)/10-6供需协商 供需协商 表2 离子技术要求 项目名称 指标 铵根离子(NH4+)含量(质量分数)/10-9≤5 氟离子(F-)含量(质量分数)/10-9≤1 氯离子(Cl-)含量(质量分数)/10-9≤5 溴离子(Br-)含量(质量分数)/10-9≤1 亚硝酸根离子(NO2-)含量(质量分数)/10-9≤5 硝酸根离子(NO3-)含量(质量分数)/10-9≤5 硫酸根离子(SO4-)含量(质量分数)/10-9≤5 甲酸根离子(HCOO-)含量(质量分数)/10-9≤5 乙酸根离子(CH3COO-)含量(质量分数)/10-9≤5 表3 金属元素技术要求 项目名称 指标 铝(Al)含量(质量分数)/10-9≤1 钙(Ca)含量(质量分数)/10-9≤1 钴(Co)含量(质量分数)/10-9≤1 铬(Cr)含量(质量分数)/10-9≤1 2GB/T43772—2024 表3 金属元素技术要求(续) 项目名称 指标 铜(Cu)含量(质量分数)/10-9≤1 铁(Fe)含量(质量分数)/10-9≤1 锌(Zn)含量(质量分数)/10-9≤1 钼(Mo)含量(质量分数)/10-9≤1 钾(K)含量(质量分数)/10-9≤1 镁(Mg)含量(质量分数)/10-9≤1 钠(Na)含量(质量分数)/10-9≤1 镍(Ni)含量(质量分数)/10-9≤1 钛(Ti)含量(质量分数)/10-9≤1 钨(w)含量(质量分数)/10-9≤1 锰(Mn)含量(质量分数)/10-9≤1 5 采样 二氧化碳的采样应符合GB/T43306的规定。 6 试验方法 警示———本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况,使用者应采取适当的安全和健康防护措施。 6.1 二氧化碳纯度 6.1.1 杂质总含量 杂质总含量按公式(1)计算: x11=x1+x2+x3+x4+x5+x6+x7+x8+x9+x10……………(1) 式中: x1———氢含量(摩尔分数),10-6; x2———(氧+氩)含量(摩尔分数),10-6; x3———氮含量(摩尔分数),10-6; x4———一氧化碳含量(摩尔分数),10-6; x5———甲烷含量(摩尔分数),10-6; x6———非甲烷总烃含量(摩尔分数),10-6; x7———总硫含量(摩尔分数),10-6; x8———一氧化氮含量(摩尔分数),10-6; x9———二氧化氮含量(摩尔分数),10-6; x10———水分含量(摩尔分数),10-6; x11———杂质总含量(摩尔分数),10-6。 3GB/T43772—2024 6.1.2 二氧化碳纯度 二氧化碳纯度按公式(2)计算: x=100-x11×10-4…………………………(2) 式中: x———二氧化碳纯度(摩尔分数),10-2。 6.2 氢、氧+氩、氮、甲烷、一氧化碳含量的测定 6.2.1 测定方法 按GB/T28726规定的切割进样的方法测定二氧化碳中氢、氧+氩、氮、甲烷、一氧化碳含量。可采 用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法。 6.2.2 预分离柱 长约0.6m,内径约2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的改性碳分子筛,或其他等 效色谱柱。 6.2.3 色谱柱 长约2m,内径约2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子筛,或其他等效色 谱柱。 6.2.4 标准样品 组分含量的摩尔分数为(1~5)×10-6,平衡气为氦气。 6.3 非甲烷总烃含量的测定 6.3.1 测定方法 按GB/T8984规定方法测定的二氧化碳中总烃含量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结 果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法。 6.