ICS31.030 CCSL90 中华人民共和国国家标准 GB/T43771—2024 电子气体 一氧化碳 Electronicgas—Carbonmonoxide 2024-03-15发布 2024-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:河南心连心深冷能源股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、天津绿菱气体 有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、福建德尔科技股 份有限公司、广东华特气体股份有限公司、金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、北京 高麦克仪器科技有限公司、岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司、三峡大学、湖北和远气体股份有限 公司、兰州裕隆气体股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、上海申南特种气体有限公司、上海凡 伟仪器设备有限公司、液化空气(中国)投资有限公司、浙江省标准化研究院、浙江省计量与标准化学会、 浙江中硝康鹏化学有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、杭氧集团股份有限公司、浙江省化工研 究院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、杭州新世纪混合气体有限公 司、联雄投资(上海)有限公司、中国计量科学研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连光明化学 工业气体质量监测中心有限公司、上海市计量测试技术研究院、沈阳中复科金压力容器有限公司、眉山 麦克在线设备股份有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、中国计量测试学会、空气化工产品(中国) 投资有限公司、哈尔滨黎明气体有限公司、中国测试技术研究院化学研究所、浙江西亚特电子材料有限 公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、 西南化工研究设计院有限公司。 本文件主要起草人:闫红伟、曹素英、汤萍、郭俊磊、孟祥军、张长金、蔡金、李嘉磊、傅铸红、叶相平、 金向华、孙猛、廖恒易、陈艳珊、孙福楠、牛艳东、刘丽娜、宋安澜、郭静楠、袁有录、杜大艳、曹小林、方强、 尹爱华、王小波、郭琼、胡迎、陈洁、吴靓、何波、唐中伟、房嵩、熊斌、张孛媛、朱明、王子源、金雪光、马彬淇、 王新杰、周锋、史婉君、方华、王见见、杨东燃、吴国忠、王鑫、黄辉、王德发、尹冬梅、常侠、边鲁宁、常燕、 姜阳、宫兵、张艺山、赵洁、杨扬仲夫、王晶、邵成刚、周鑫、杨利、王立、梁永强、梁成科、高静、赖晓峰、 周鹏云、唐霞梅。 ⅠGB/T43771—2024 电子气体 一氧化碳 1 范围 本文件规定了一氧化碳的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。 本文件适用于工业级一氧化碳经纯化制备的电子用一氧化碳。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB190 危险货物包装标志 GB/T5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法 GB/T7144 气瓶颜色标志 GB/T8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法 GB/T11640 铝合金无缝气瓶 GB/T14194 压缩气体气瓶充装规定 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB15603 危险化学品仓库储存通则 GB/T16804 气瓶警示标签 GB/T28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T28727 气体分析 硫化物的测定 火焰光度气相色谱法 GB/T34972 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 GB/T43306 气体分析 采样导则 TSGR0005 移动式压力容器安全技术监察规程 TSG23 气瓶安全技术规程 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 技术要求 一氧化碳的技术要求应符合表1的规定。 1GB/T43771—2024 表1 技术要求 项目 指标 一氧化碳(CO)纯度(摩尔分数)/10-2≥99.999 氢(H2)含量(摩尔分数)/10-6≤0.5 (氧+氩)(O2+Ar)含量(摩尔分数)/10-6≤2.0 氮(N2)含量(摩尔分数)/10-6≤3.0 二氧化碳(CO2)含量(摩尔分数)/10-6≤2.0 总烃(以甲烷计)含量(摩尔分数)/10-6≤1.0 总硫(以硫计)含量(摩尔分数)/10-6≤0.5 水分(H2O)含量(摩尔分数)/10-6≤1.0 铁(Fe)含量/(μg/g) <0.001 镍(Ni)含量/(μg/g) <0.001 5 采样 一氧化碳的采样应符合GB/T43306的规定。 6 试验方法 警示———本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况,使用者应采取适当的安全和健康防护 措施。 6.1 一氧化碳纯度 一氧化碳纯度按公式(1)计算: x=100-(x1+x2+x3+x4+x5+x6+x7)×10-4………………(1) 式中: x———一氧化碳纯度(摩尔分数),10-2; x1———氢含量(摩尔分数),10-6; x2———(氧+氩)含量(摩尔分数),10-6; x3———氮含量(摩尔分数),10-6; x4———二氧化碳含量(摩尔分数),10-6; x5———总烃含量(摩尔分数),10-6; x6———总硫含量(摩尔分数),10-6; x7———水分含量(摩尔分数),10-6。 6.2 氢、氧+氩、氮、二氧化碳含量的测定 6.2.1 测定方法 按GB/T28726规定的方法测定一氧化碳中氢、氧+氩、氮、二氧化碳含量。可采用其他等效的方 法测定。当对测定结果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法。 2GB/T43771—2024 6.2.2 预分离柱 长约3m、内径3mm的不锈钢管,内装粒径为0.15mm~0.18mm的5A分子筛,或其他等效色 谱柱。 6.2.3 色谱柱 色谱柱Ⅰ:长约3m、内径3mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子筛,或其 他等效色谱柱。该柱用于测定氢、氧+氩、氮含量。 色谱柱Ⅱ:长约6m、内径3mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的高分子聚合物(二 乙烯苯与N-2-烯基-2-吡咯的共聚物),或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳含量。 6.2.4 标准样品 标准样品中各组分含量的摩尔分数为(1~5)×10-6,平衡气为氦气。 6.3 总烃含量的测定 6.3.1 测定方法 按GB/T8984规定的方法测定一氧化碳中总烃含量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结 果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法。 6.3.2 预分离柱 长约2m、内径3mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯 和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色谱柱。 6.3.3 色谱柱 长约3m、内径3mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的硅烷化玻璃微球载体,或其 他等效色谱柱。 6.3.4 标准样品 甲烷含量的摩尔分数为(1~5)×10-6,平衡气为氮气。 6.3.5 气路流程 参考的气路流程示意图及典型色谱图见附录A。 6.4 总硫含量的测定 6.4.1 测定方法 按GB/T28727规定的方法测定一氧化碳中总硫含量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结 果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法。 6.4.2 预分离柱 长约4m、内径3mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯 和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色谱柱。 3GB/T43771—2024 6.4.3 色谱柱 长约3m、内径3mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的硅烷化玻璃微球载体,或其 他等效色谱柱。 6.4.4 标准样品 羰基硫含量的摩尔分数为(1~5)×10-6,平衡气为氮气。 6.4.5 气路流程 参考的气路流程示意图见附录A。 6.5 水分含量的测定 按GB/T5832.3的规定执行。 可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时,以GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法。 6.6 铁、镍含量的测定 按照GB/T34972的规定执行。 6.7 尾气处理 测定时,应有一氧化碳尾气处理措施,以防止一氧化碳对环境的污染和人员的伤害。 7 检验规则 7.1 组批 同一生产线连续稳定生产的瓶装一氧化碳产品为一批。 7.2 抽样、判定和复验 7.2.1 应逐一检验氢含量、(氧+氩)含量、氮含量、二氧化碳含量、总烃含量、总硫含量及水分含量,当 检验结果不符合表1技术要求时,则判该产品不合格。 7.2.2 应按表2规定的抽样数量随机抽样检验铁含量及镍含量。当检验结果符合表1的技术要求 时,则判该批产品合格。当检验结果不符合表1技术要求时,则应自同批产品中重新加倍随机抽样检 验,若检验结果符合表1技术要求时,则判除不合格的那瓶产品外,该批产品合格;若检验结果仍不符合 表1技术要求时,则判该批产品不合格。 表2 抽样表 每批气瓶数 最少抽样气瓶数 1~10 1 11~20 2 >20 5 4GB/T43771—2024