ICS77.150 H63 中华人民共和国国家标准 GB/T14592—2014 代替GB/T14592—1993 钼 圆 片 Molybdenumdiscs 2014-07-24发布 2015-02-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布前 言 本标准是按照GB/T1.1—2009给出的规则起草的。 本标准代替GB/T14592—1993《钼圆片》。 本标准与GB/T14592—1993相比,主要有如下变动: ———修改了规范性引用文件; ———增加了电火花线切割和研磨车边类产品的标记和直径允许偏差; ———修改了钼圆片产品密度要求; ———修改了检验规则里的相关条款; ———增加了产品质量证明书和合同(或订货单)内容要求。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本标准起草单位:西安瑞福莱钨钼有限公司、宜兴市科兴合金材料有限公司、金堆城钼业股份有限 公司。 本标准主要起草人员:淡新国、侯军涛、俞叶、赵娟、石大伟、金波。 ⅠGB/T14592—2014 钼 圆 片 1 范围 本标准规定了钼圆片产品的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同 (或订货单)内容。 本标准适用于功率半导体器件及电真空器件等用钼圆片。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T3850 致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T4325(所有部分) 钼化学分析方法 YS/T660—2007 钼及钼合金加工产品牌号和化学成分 3 要求 3.1 产品分类 3.1.1 产品的牌号和状态见表1。 表1 牌号 供货状态 制造方法举例规格/mm 直径 厚度 Mo1、Mo2毛坯(M),退火态 冲裁-切割 ≥4.0 ≥0.6 喷砂车边(P),退火态 喷砂-车边 ≥4.0 ≥0.6 粗磨车边(C),退火态 粗磨-车边 ≥10.0 ≥0.6 精磨车边(J),退火态 精磨-车边 ≥10.0 ≥0.6 精轧电火花切割(D),退火态 精轧-线切割 ≥4.0 ≥0.1 Mo1 研磨车边(Y),退火态 研磨-车边 ≥15.0 ≥0.9 3.1.2 产品型号表示方法。 产品型号按产品牌号、供货状态和尺寸规格的顺序表示并标记,标记示例如下: 示例1: 公称直径为20mm,厚度为2mm的Mo1牌号的毛坯钼圆片产品表示为: Mo1M20×2.0。 示例2: 公称直径为45mm,厚度为3mm的Mo2牌号的喷砂车边钼圆片表示为: Mo2P45×3.0。 1GB/T14592—2014 示例3: 公称直径为80mm,厚度为4mm的Mo1牌号的粗磨车边钼圆片表示为: Mo1C80×4.0。 示例4: 公称直径为55mm,厚度为2.5mm的Mo1牌号的精磨钼圆片表示为: Mo1J55×2.5。 示例5: 公称直径为55mm,厚度为2.5mm的Mo1牌号的电火花切割钼圆片表示为: Mo1D55×2.5。 示例6: 公称直径为30mm,厚度为4mm的Mo1牌号的研磨车边钼圆片产品表示为: Mo1Y30×4.0。 3.2 化学成分 产品的化学成分应符合YS/T660—2007中Mo1,Mo2牌号的要求。 3.3 密度 钼圆片的密度不小于10.0g/cm3。 3.4 尺寸及其允许偏差 3.4.1 产品直径及其允许偏差见表2,厚度及其允许偏差见表3。 表2 单位为毫米 直径范围直径允许偏差 毛坯 车边 电火花线切割 4~10 >10~20 >20~30 >30~50 >50~80 >80±0.10 ±0.10 ±0.12 ±0.14 ±0.16 ±0.16— -0.10 -0.10 -0.10 -0.10 -0.10±0.10 ±0.10 ±0.10 ±0.10 ±0.10 ±0.10 注:其他直径产品公差由供需双方协商确定。 表3 单位为毫米 厚度范围厚度允许偏差 毛坯,喷砂 粗磨 精磨 研磨 0.10~0.60 >0.60~2.00 >2.00~3.00 >3.00~4.00 >4.00~6.00— ±0.12 ±0.15 ±0.17 ±0.20— ±0.10 ±0.10 ±0.12 ±0.14±0.04 ±0.08 ±0.08 ±0.10 ±0.10+0.1 +0.1 +0.1 +0.1 +0.1 注:其他厚度产品公差由供需双方协商确定。 2GB/T14592—2014 3.4.2 毛坯产品平面度不大于0.100mm;粗磨产品平面度不大于0.025mm;精磨产品平面度不大于 0.015mm;研磨产品平面度不大于0.010mm。 3.4.3 粗磨产品表面平行度不大于0.030mm;精磨产品表面平行度不大于0.020mm;研磨产品的表面 平行度不大于0.010mm。 3.5 外观质量 3.5.1 产品表面不允许有鼓泡、夹杂、裂纹及超出厚度允许偏差的斑点、凹坑、划伤。 3.5.2 产品边缘应整齐,不允许有分层、崩边现象,允许有局部的轻微的不超过允许偏差的冲痕和小 毛刺。 3.5.3 喷砂产品表面砂痕均匀,无目视可见的斑点、氧化点和残存砂痕。 3.5.4 磨光产品表面粗糙度及表面缺陷应符合表4规定。 表4 品种表面粗糙度Ra/μm周边粗糙度Ra/μm 表面缺陷 不大于 尺寸/mm 间距/mm 数量/个 粗磨 6.3 6.3 精磨 1.6 6.3 研磨 0.63 6.3≤ ϕ0.4×0.1≥0.30 ≤5 3.6 腐蚀性能 产品经过腐蚀检测后,表面无亮点凹坑缺陷产生,边缘无分层现象产生。 4 试验方法 4.1 化学成分分析方法 产品的化学成分分析按照GB/T4325的规定进行。 4.2 密度检测方法 产品的密度测定按照GB/T3850的规定进行。 4.3 尺寸及其允许偏差测量方法 4.3.1 产品的直径和厚度测量采用相应精度的量具测量。 4.3.2 产品的平面度检测应将钼圆片放在平台上,采用相应精度的量具进行。 4.3.3 产品的平行度用精度0.010mm的千分尺测量,在相互垂直的方向测量4点,任意两点的差值不 得超过平行度要求。 4.4 外观质量检测方法 产品的外观质量用目视法进行检测;粗糙度采用对比块检测。 3GB/T14592—2014 4.5 腐蚀性能检测方法 磨光产品腐蚀检测方法如下: a) 腐蚀溶液:30%H2O2∶10%NaOH溶液=90∶10(体积比); b)腐蚀温度:室温(23℃±2℃); c)时间:1min~3min; d)待反应生成深棕色泡沫后,立即用清水冲洗,吹干。 5 检验规则 5.1 检查和验收 5.1.1 产品应由供方进行检查,保证产品质量符合本标准和合同(或订货单)的要求,并附质量证明书。 5.1.2 需方可对收到的产品进行检验。如检验结果与本标准或定货合同的规定不符时,应在收到产品 之日起三个月内向供方提出,由供需双方协商解决。 5.2 组批 产品应成批提交验收。每批由同一牌号、同一供货状态和同一型号的产品组成,批量不限。 5.3 检验项目及取样 每批产品的检验项目及取样见表5所示。 表5 检验项目 取样规定 要求章节号 试验方法章节号 化学成分 每批任取1件,取样重量不小于50g,供 方可以在烧结坯料取样3.2 4.1 密度 每批抽取5件取样 3.3 4.2 尺寸及其允许偏差 抽样检测,抽样方法按照GB/T2828.1一 般检查水平Ⅱ进行,或按照客户要求进行 检测3.4 4.3 外观质量 逐片检验 3.5 4.4 腐蚀性能 每批随机抽样3件 3.6 4.5 5.4 检验结果的判定 5.4.1 产品的化学成分和密度检验不合格时,则取双倍试样对不合格项目进行复验。如仍有一个结果 不合格时,则整批不合格。 5.4.2 产品的尺寸及其允许偏差按正常检查一次抽样方案AQL=2.5判定。不合格时按加严检查一 次抽样方案AQL=2.5复验。若仍不合格时,则整批不合格。 5.4.3 产品的外观质量检验不合格时,判该件产品不合格。 5.4.4 腐蚀性能检测后有不合格样品时,则取双倍试样进行复验。如仍有不合格样品时,则判该批不 合格。 4GB/T14592—2014 6 标志、包装,运输、贮存和质量证明书 6.1 标志 6.1.1 检验合格的产品应附有标签或标牌,其上注明: a) 牌号; b)批号; c)净重; d)供方技术监督部门的检印。 6.1.2 产品包装箱上应标明:供方名称、产品名称、状态、批号、重量及“轻放”、“防潮”等字样或标志。 6.2 包装、运输和贮存 6.2.1 产品应装入垫有防潮纸的木箱、纸箱或铁桶内,用纸屑或泡沫塑料将产品隔开,并将箱体塞紧。 6.2.2 产品在运输途中应防水防潮,并避免剧烈震动。 6.2.3 产品应贮存在干燥的、不含腐蚀性气氛的场所。 6.3 质量证明书 每批产品应附有质量证明书。其上注明: a) 供方名称、地址; b)产品名称; c)产品牌号、型号和状态; d)产品批号; e)净重和件数; f)各项分析检验结果及技术监督部门检印; g)本标准编号; h)检验日期(或包装日期)。 7 合同(或订货单)内容 本标准所列材料的合同(或订货单)应包括下列内容: a) 产品名称; b)牌号、型号和状态; c)产品净重或件数; d)本标准编号; e)其他。 5GB/T14592—2014