(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210535190.1 (22)申请日 2022.05.17 (71)申请人 西安北方华创微电子装备有限公司 地址 710000 陕西省西安市高新区锦业 一 路11号国家服 务外包示范基地D座 4层 申请人 北京北方华创微电子装备有限公司 (72)发明人 郭训容　郑思远　钟结实　 (74)专利代理 机构 北京润泽恒知识产权代理有 限公司 1 1319 专利代理师 苏培华 (51)Int.Cl. G06F 9/445(2018.01) (54)发明名称 一种半导体设备参数配 置方法和装置 (57)摘要 本发明实施例提供了一种半导体设备参数 配置方法和装置， 该方法包括： 根据半导体设备 的设备类型， 获取对应的输入文件标准模板， 输 入文件标准模板包括针对所述半导体设备的多 个参数； 每个参数的参数信息包括参数名称、 参 数范围、 参数值、 参数值类型； 根据输入文件 标准 模板， 生成针对半导体设备的输入文件； 检测输 入文件参数信息是否符合要求； 在检测结果为符 合要求的情况下， 根据输入文件生成配置文件。 实现自动生成配置文件， 节约手工配置成本， 同 时可以实现将多台设备同名配置文件进行一次 性比对， 自动检测配置参数是否正确， 保证配置 文件准确性； 通过自动检测对比， 保证生产线客 户端同类型机台匹配， 确保产品各批次之间的一 致性。 权利要求书2页 说明书16页 附图3页 CN 114860338 A 2022.08.05 CN 114860338 A 1.一种半导体设备参数配置方法， 其特 征在于， 所述方法包括： 根据所述半导体设备的设备类型， 获取对应的输入文件标准模板， 所述输入文件标准 模板包括针对所述半导体设备的多个参数； 每个参数的参数信息包括参数名称、 参数范围、 参数值、 参数值类型； 根据所述输入文件标准模板， 生成针对所述半导体设备的输入文件； 检测所述输入文件参数信息是否符合要求； 在检测结果 为符合要求的情况 下， 根据所述输入文件生成配置文件。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于， 还 包括： 若所述设备类型对应的输入文件标准模板不存在， 则创建新的输入文件标准模板， 并 检测所述 新的输入文件标准模板的正确性。 3.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 所述检测所述新的输入文件标准模板的正 确性， 包括： 获取预设输入文件模板中的模块名称集合对应的字符串数组S0， 以及所述新的输入文 件标准模板中的模块名称集 合对应的字符串数组S1； 将新的文件标准模板字符串数组S 1中的每一个字符， 与所述预设文件标准模板字符串 数组S0中的每一个字符串 进行对比； 若所述S1与S0相同字符串的个数大于或等于所述S0字符串的个数， 则确定所述新的输 入文件标准模板正确， 输入文件标准模板创建成功； 否则， 确定所述 新的输入文件标准模板创建失败。 4.根据权利要求3所述的方法， 其特征在于， 所述获取预设输入文件模板 中的模块名称 集合对应的字 符串数组S0， 以及所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合对应的字符 串数组S1， 包括： 读取所述预设输入文件模板的模块名称集合， 将所述预设输入文件模板的模块名称集 合中的每个模块名称， 转化为对应的字符串， 将所述预设输入文件模板的模块名称对应字 符串的集合， 作为模块字符串数组S0； 以及读取所述新的输入文件标准模板中的模块名称 集合， 将新的输入文件标准模板中的模块名称集合中的每个模块名称， 转化为对应的字符 串， 将所述新的输入文件标准模板中的模块名称对应字符串的集合， 作为模块字符串数组 S1。 5.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述检测所述输入文件参数信 息是否符合 要求， 包括： 提取所述输入文件标准模板的参数信息， 作为所述输入文件标准模板的特征向量， 以 及提取所述输入文件的参数信息， 作为所述输入文件的特 征向量； 计算所述文件标准模板的特 征向量与所述输入文件的特 征向量的余弦值； 根据余弦值的大小， 判断所述输入文件参数信息的检测结果是否符合要求。 6.根据权利要求5所述的方法， 其特征在于， 所述提取所述输入文件标准模板的参数信 息， 作为所述输入文件标准模板的特征向量， 以及提取所述输入文件的参数信息， 作为所述 输入文件的特 征向量， 包括： 提取所述输入文件标准模板的参数信 息， 将所述输入文件标准模板的参数信 息中的参 数名称、 参数范围、 参数值、 参数值类型分别转化为数字， 将所述输入文件标准模板的参数权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114860338 A 2信息中的参数名称、 参数范围、 参数值、 参数值类型对应的数字组成矩阵， 作为所述输入文 件标准模板的特征向量； 以及提取所述输入文件的参数信息， 将所述输入文件的参数信息 中的参数名称、 参数范围、 参数值、 参数值类型分别转化为数字， 将所述输入文件的参数信 息中的参数名称、 参数范围、 参数值、 参数值类型对应的数字组成矩阵， 作为所述输入文件 的特征向量。 7.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于， 还 包括： 若所述输入文件参数信息的检测结果不符合要求， 则提示所述输入文件参数不匹配， 并重新上传输入文件参数信息 。 8.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述在检测结果为符合要求的情况下， 根 据所述输入文件生成配置文件， 包括： 在检测结果为符合要求的情况下， 获取所述输入文件中的参数， 将所述参数存入对应 数据库的数据表中； 由所述数据库生成对应的配置文件， 以及将所述数据表中与所述配置 文件中的参数名称对应的参数， 导入所述配置文件。 9.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于， 还 包括： 获取与所述半导体设备相同类型的参照设备的参 考配置文件； 将所述参照设备的参考配置文件与 所述半导体设备的配置文件进行对比， 判断所述半 导体设备的配置文件与所述 参照设备的参 考配置文件是否匹配； 在所述半导体设备的配置文件， 与所述参照设备的参考配置文件不匹配的情况下， 提 示配置文件参数不匹配的出错信息， 并将错误的参数修改为所述参考配置文件中对应的参 数。 10.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于， 还 包括： 将不同设备类型的输入文件标准模板， 预先存放到 固定路径； 其中， 每个设备类型对应 一个输入文件标准模板， 每 个模板中包 含一个或多个输入文件； 根据填写的输入文件名称信息， 动态生成针对所述 一个或多个输入文件的文件名称； 所述根据半导体设备的设备类型， 获取对应的输入文件标准模板， 包括： 根据选择的设备类型信息， 从所述固定路径中获取对应文件名称的输入文件标准模 板。 11.一种半导体设备参数配置装置， 其特 征在于， 所述装置包括： 第一获取模块， 用于根据 所述半导体设备的设备类型， 获取对应的输入文件标准模板， 所述输入文件标准模板包括针对所述半导体设备 的多个参数； 每个参数包括参数名称、 参 数范围、 参数值、 参数值类型参数信息； 第一生成模块， 用于根据所述输入文件标准模板， 生成针对所述半导体设备的输入文 件； 第一检测模块， 用于检测所述输入文件参数信息是否符合要求； 第二生成模块， 用于在检测结果为符合要求的情况下， 根据所述输入文件生成配置文 件。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114860338 A 3