(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210964585.3 (22)申请日 2022.08.11 (71)申请人 昂坤视觉 （北京） 科技有限公司 地址 102206 北京市昌平区昌平路97号 新 元科技园B座5 03室 (72)发明人 李瑞青　王林梓　路膨　马铁中　 (74)专利代理 机构 北京华沛德权律师事务所 11302 专利代理师 房德权 (51)Int.Cl. B07C 5/02(2006.01) B07C 5/34(2006.01) B07C 5/36(2006.01) B08B 1/00(2006.01) G01N 21/88(2006.01)G01N 21/95(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种芯片检测装置 (57)摘要 本发明公开了一种芯片检测装置， 包括第四 转运机构、 检测转盘和下料机构， 在检测过程中， 转载有芯片的料盘通过第三轨道输送至检测转 盘一侧， 第四转运机构上的芯片抓取组件抓取芯 片放置到检测转盘上， 芯片分别位于多个光学组 件下， 并接受光学组件的拍摄检测， 伴随检测转 盘的转动， 每个芯片依次被多个光学组件检测， 并通过下料机构将检测后的芯片移动到第四轨 道上方的料盘中， 完成小空间下的多组件检测， 且还可以根据轨道的输送节拍、 芯片的预检效 率， 合理布置光学组件的检测数量以及检测转盘 每次转动的角度， 实现更高的检测效率以及更匹 配的检测节拍， 避免检测过程中出现料盘的停滞 等待现象。 权利要求书1页 说明书18页 附图13页 CN 115254649 A 2022.11.01 CN 115254649 A 1.一种芯片检测装置， 其特 征在于， 其包括： 第四转运机构， 用于可移动的设在第二横向架体上， 所述第 四转运机构包括用于吸取 或放置芯片的芯片抓取组件； 检测转盘， 用于可转动的设置在第 三轨道一侧， 所述检测转盘一侧设有多个光学组件， 且在所述第四转运机构将芯片移动到所述检测 转盘上后， 当所述检测转盘停止转动时， 每 个所述光学组件下均有所述芯片， 当所述检测 转盘旋转时， 所述芯片依 次在多个光学组件 下移动； 下料机构， 包括可转动的转动臂和用于吸取或放置芯片的芯片抓取组件， 且所述转动 臂用于驱动所述芯片抓取组件从第三轨道上 方移动到第四轨道上 方。 2.如权利要求1所述芯片检测装置， 其特征在于： 所述光学组件包括第三检测 组件、 第 四检测组件和第 五检测组件， 所述检测 转盘上设有多个用于装载芯片的检测盘， 且当所述 检测转盘停止转动时， 所述第三检测组件、 所述第四检测组件和所述第 五检测组件下部分 别停留有 所述检测盘， 且所述第四转运机构和所述下料机构的移动路径分别停留有所述检 测盘。 3.如权利要求2所述芯片检测装置， 其特征在于： 多个所述检测盘绕所述检测转盘的转 动轴线以周向均匀分布在所述检测转盘上。 4.如权利要求2所述芯片检测装置， 其特征在于： 所述检测转盘上还设有吸附定位组 件， 所述吸 附定位组件包括真空发生器以及与所述检测盘数量相同的吸 附管， 所述真空发 生器设在所述吸 附管的一端， 并与所述吸 附管相连通， 所述吸 附管的另一端延伸至所述检 测盘上用于承载芯片的端面上。 5.如权利要求1所述芯片检测装置， 其特征在于： 所述第四转运机构与 所述第二横向架 体之间设有第四转运轨道， 所述第四转运机构包括用于驱动所述第四转运机构在所述第四 转运轨道上移动的位移组件。 6.如权利要求4所述芯片检测装置， 其特征在于： 所述检测转盘一侧设有第二背检机 构， 所述第二背检机构位于所述第四转 运机构的移动路径下， 并用于向上拍摄芯片。 7.如权利要求1所述芯片检测装置， 其特征在于： 所述转动臂与所述芯片抓取组件之 间， 以及所述第四转运机构与所述芯片抓取组件之间分别 设有纵向升降装置， 以驱动所述 芯片抓取组件升降。 8.如权利要求1所述芯片检测装置， 其特征在于： 位于所述第四转运机构上的芯片抓取 组件上还设有校正组件， 所述校正组件包括校正电机， 所述校正电机的输出轴与芯片抓取 组件连接， 并用于驱动所述芯片抓取组件旋转。 9.如权利要求1所述芯片检测装置， 其特征在于： 每个所述光学组件上均设有调节组 件， 所述调节组件包括第一调节部、 第二调节部和纵向升降装置， 所述 纵向升降装置用于驱 动所述光学组件朝向或者远离所述检测转盘移动， 所述第一调节部与所述第二调节部垂 直 布置， 并用于驱动所述 光学组件沿所述检测转盘径向移动。 10.如权利要求9所述芯片检测装置， 其特征在于： 所述调节组件还包括分别与所述第 一调节部与所述第二调节部相对应设置的光栅尺组件， 所述光栅尺组件包括扫码头和光栅 尺主体， 所述扫码头夹设在所述光栅尺主体上， 并与所述光学组件同步沿所述光栅尺的长 度延伸方向移动。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115254649 A 2一种芯片检测装 置 技术领域 [0001]本申请涉及芯片检测技 术领域， 特别涉及一种芯片检测装置 。 背景技术 [0002]芯片生产中， 通常需要人工对料盘内的芯片进行检测， 并且需要 目视判断产品是 否损坏， 受限于人工检测效率较低， 进而影响了产品的检测速率。 而现有的检测方式是通过 探针对芯片进行逐个检测， 再对不合格的芯片进行记录， 耗费时间较久， 效率不高， 且晶圆 片封装时会经 过人工及各类机 械设备的接触， 提高了晶圆片被污染的概 率， 较为不理想。 [0003]在芯片检测的过程中， 芯片的不 同面需要采用不 同的检测 设备进行检测， 受限于 不同设备的检测方式不同， 检测效率不同， 那么在具体的检测过程中， 芯片的输送处理工 序、 芯片的预检工序以及检测工序之间容易出现滞 留等待等现象， 影响芯片检测效率的同 时， 还容易导致检测数据需要再次进行处 理。 发明内容 [0004]针对现有技术中存在的缺陷， 本申请提供一种芯片检测装置， 以解决现有技术中 芯片检测效率低、 节拍不 合理的问题。 [0005]本发明的上述目的主 要是通过如下技 术方案予以实现的： [0006]一种芯片检测装置， 其包括： [0007]第四转运机构， 用于可移动的设在第二横向架体上， 所述第四转运机构包括用于 吸取或放置芯片的芯片抓取组件； [0008]检测转盘， 用于可转动的设置在第三轨道一侧， 所述检测转盘一侧 设有多个光学 组件， 且在所述第四转运机构将芯片移动到所述检测 转盘上后， 当所述检测 转盘停止转动 时， 每个所述光学 组件下均有 所述芯片， 当所述检测转盘旋转时， 所述芯片依次在多个光学 组件下移动； [0009]下料机构， 包括可转动的转动臂和用于吸取或放置芯片的芯片抓取组件， 且所述 转动臂用于驱动所述芯片抓取组件从第三轨道上 方移动到第四轨道上 方。 [0010]进一步地， 所述光学组件包括第三检测组件、 第四检测组件和第五检测组件， 所述 检测转盘上设有多个用于装载芯片的检测盘， 且当所述检测转盘停止转动时， 所述第三检 测组件、 所述第四检测组件和所述第 五检测组件下部分别停留有所述检测盘， 且所述第四 转运机构和所述下 料机构的移动路径分别停留有所述检测盘。 [0011]进一步地， 多个所述检测盘绕所述检测转盘的转动轴线以周向均匀分布在所述检 测转盘上。 [0012]进一步地， 所述检测转盘上还设有吸附定位组件， 所述吸附定位组件包括真空发 生器以及与所述检测盘数量相同的吸 附管， 所述真空发生器设在所述吸 附管的一端， 并与 所述吸附管相连通， 所述吸附管的另一端延伸至所述检测盘上用于承载芯片的端面上。 [0013]进一步地， 所述第四转运机构与所述第二横向架体之间设有第四转运轨道， 所述说　明　书 1/18 页 3 CN 115254649 A 3