(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122874340.5 (22)申请日 2021.11.23 (73)专利权人 苏州英尔捷半导体有限公司 地址 215101 江苏省苏州市工业园区唯亭 双马街2号星华产业园19-2号厂房 (72)发明人 胡建军　 (51)Int.Cl. B23K 26/352(2014.01) B23K 26/70(2014.01) (54)实用新型名称 一种晶圆表面处 理设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆表 面处理设备， 包括加工箱， 所述加工箱内腔固定安装有收集 箱， 所述加工箱两侧固定安装有夹持机构， 所述 收集箱上端固定安装有水箱， 所述水箱下端设有 出水管， 所述出水管另一端连接有喷头， 所述加 工箱上端固定安装有烘干风机， 所述烘干风机一 端固定连接有排气管， 所述排气管另一端固定连 接有排气嘴； 所述夹持机构包括有安装板， 所述 安装板一侧固定安装有伺服电缸， 所述伺服电缸 输出端固定连接有连接板， 所述连接板另一侧固 定安装有伺服电机， 所述伺服电机输出端通过联 轴器连接有连接杆， 所述连接杆另一端固定连接 有夹具， 本实用新型具有烘干效果， 且在加工时 可将晶圆变换角度进行清理。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216802105 U 2022.06.24 CN 216802105 U 1.一种晶圆表面处理设备， 包括加工箱(1)， 其特征在于： 所述加工箱(1)内腔固定安装 有收集箱(2)， 所述加 工箱(1)两侧固定安装有夹持机构(3)， 所述收集箱(2)上端固定安装 有水箱(4)， 所述水箱(4)下端设有出水管(5)， 所述出水管(5)贯穿所述加工箱(1)， 所述出 水管(5)另一端连接有喷头(6)， 所述加工箱(1)上端固定安装有烘干风机(7)， 所述烘干风 机(7)一端固定连接有排气管(8)， 所述排气管(8)贯穿所述加工箱(1)， 所述排气管(8)另一 端固定连接有排气嘴(9)； 所述夹持机构(3)包括有安装板(301)， 所述安装板(301)固定安装在 所述收集箱(2)上 端， 所述安装板(301)一侧固定安装有伺服电缸(302)， 所述伺服电缸(302)输出端固定连接 有连接板(303)， 所述连接板(303)另一侧固定安装有伺服电机(304)， 所述伺服电机(304) 输出端通过 联轴器连接有连接杆(3 05)， 所述连接杆(3 05)另一端固定连接有夹具(3 06)。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆表面处理设备， 其特征在于： 所述收集箱(2)一侧设 有排水管(10)， 所述排水管(10)贯穿所述加工箱(1)， 所述排水管(10)上固定安装有第一电 控阀(11)。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆表面处理设备， 其特征在于： 所述加工箱(1)两侧开 设有通风孔(12)， 所述 通风孔(12)处固定安装有第一过 滤网(13)。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆表面处理设备， 其特征在于： 所述水箱(4)上端设有 进水管(14)， 所述进水 管(14)上端螺纹连接有挡盖(15)。 5.根据权利要求4所述的一种晶圆表面处理设备， 其特征在于： 所述进水管(14)内安装 有第二过 滤网(16)。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆表面处理设备， 其特征在于： 所述出水管(5)上固定 安装有第二电控阀(17)。 7.根据权利要求1所述的一种晶圆表面处理设备， 其特征在于： 所述夹具(306)为弧形 夹具， 所述夹具(3 06)内开设有凹槽(3 07)， 所述凹槽(3 07)内设有橡胶 层(308)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216802105 U 2一种晶圆表面处理设 备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆加工技 术领域， 具体为 一种晶圆表面处 理设备。 背景技术 [0002]晶圆生产过程中需要对其表面进行处理， 如清洗、 电镀或者蚀刻。 常用的一种表面 清洗方法是将晶圆固定于清洗槽内， 清洗液喷向晶圆。 清洗液的喷洒装置不断运动以全面 清洗晶圆。 电镀或者蚀刻也是同样方法。 这种装置虽然能够对晶圆表面进 行一定的处理， 但 晶圆无法旋转， 无法保证表面均匀处理。 这种表面装置很难实现水平清洗、 电镀或蚀刻， 即 晶圆水平地设置在清洗液、 电镀液或蚀刻液上方， 清洗液、 电镀液或蚀刻液自下而 上流动至 与晶圆接触以清洗晶圆表面。 [0003]参照现有公开号为CN108807217A的中国专利公开了一种晶圆表面处理装置及方 法， 所述晶圆表面处理装置包括工作台、 脉冲激光器和水箱， 所述工作台用于承载晶圆， 所 述晶圆具有表层结构， 所述脉冲激光器产生激光束， 所述水箱设有开口， 所述水箱中的液体 从所述开口中喷出， 所述激光束经 过所述开口与所述液体一 起投射到所述表层结构上。 [0004]上述的这种晶圆表面处理装置及方法， 通过脉冲激光器产生激光束， 激光束用来 剥离晶圆上的表层结构， 由水箱从其开口中 喷出液体， 通过液体冲刷带走附产 物； 在本发明 中， 由使激光束经过该开口与该开口中喷出 的液体一起投射到晶圆的表层结构上， 可实现 在剥离表层结构的同时并冲刷带走附产物， 经过晶圆表面处理可以形成可重复利用的晶 圆， 降低了生产成本。 但是上述的这种晶圆表面处理装置及方法依旧存在着一些缺点， 如： 不具有烘干效果， 且不能将晶圆变换角度进行清理。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的在于提供一种晶圆表面处理设备， 具有烘干效果， 且在加工时 可将晶圆变换角度进行清理， 以解决上述背景技 术中提出的问题。 [0006]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技 术方案： [0007]一种晶圆表面处理设备， 包括加工箱， 所述加工箱内腔固定安装有收集箱， 所述加 工箱两侧固定安装有夹持机构， 所述收集箱上端固定安装有水箱， 所述水箱下端设有出水 管， 所述出水管贯穿所述加工箱， 所述出水管另一端 连接有喷头， 所述加工箱上端固定安装 有烘干风机， 所述烘干风机一端固定连接有排气管， 所述排气管贯穿所述加工箱， 所述排气 管另一端固定连接有排气嘴； [0008]所述夹持机构包括有安装板， 所述安装板固定安装在所述收集箱上端， 所述安装 板一侧固定安装有伺服电缸， 所述伺服电缸输出端固定连接有连接板， 所述连接板另一侧 固定安装有伺服电机， 所述伺服电机输出端通过联轴器连接有连接杆， 所述连接杆另一端 固定连接有夹具。 [0009]优选的， 所述收集箱一侧设有排水管， 所述排水管贯穿所述加工箱， 所述排水管上 固定安装有第一电控阀。说　明　书 1/3 页 3 CN 216802105 U 3