(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122963911.2 (22)申请日 2021.11.26 (73)专利权人 深圳市大族数控科技股份有限公 司 地址 518000 广东省深圳市宝安区沙 井街 道新沙路安托山高科技工业园3#厂房 五层、 14#厂房一 二层、 17#厂房 (72)发明人 陈国栋　鄢铁生　吕洪杰　杨朝辉　 (74)专利代理 机构 深圳众鼎专利商标代理事务 所(普通合伙) 44325 专利代理师 陈美君 (51)Int.Cl. B23K 26/70(2014.01) G03F 7/20(2006.01) (54)实用新型名称 驱动装置及加工设备 (57)摘要 本实用新型涉及一种驱动装置及加工 设备， 该驱动装置包括驱动组件、 导轨组件、 转接板以 及浮力组件； 驱动组件和导轨组件均通过壁挂方 式设置在基座上， 转接板分别与驱动组件和导轨 组件相接， 转接板用于安装负载； 驱动组件用于 驱动转接板运动， 导轨组件用于支撑转接板， 并 用于对转接板的运动进行导向； 浮力组件与转接 板相接， 用于对转接板施加向上的力， 以抵消转 接板以及设置在转接板上的负载的重力， 降低转 接板以及转接板上的负载对所述导轨组件的压 力， 从而可以有效避免导轨组件受力形变， 提高 导轨组件的寿命和精度， 进而提高驱动装置的精 度和安全性能。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216858650 U 2022.07.01 CN 216858650 U 1.一种驱动装置， 其特 征在于， 包括驱动组件、 导轨组件、 转接 板以及浮力组件； 所述驱动组件和所述导轨组件均通过壁挂方式设置在基座上， 所述转接板分别与 所述 驱动组件和所述 导轨组件相接， 所述 转接板用于安装负载； 所述驱动组件用于驱动所述转接板运动， 所述导轨组件用于支撑所述转接板， 并用于 对所述转接板的运动进行导向； 所述浮力组件与所述转接板相接， 用于对所述转接板施加向上的力， 以抵消所述转接 板以及设置在所述转接板上的负载的重力， 降低所述转接板以及所述转接板上的负载对所 述导轨组件的压力。 2.根据权利要求1所述的驱动装置， 其特征在于， 所述浮力组件设置在所述转接板的下 方。 3.根据权利要求1所述的驱动装置， 其特征在于， 所述浮力组件包括第 一气浮块和第 二 气浮块， 所述转接板具有相互对称的第一安装位和第二安装位， 所述第一气浮块安装在所 述第一安装位， 所述第二气浮 块安装在所述第二 安装位。 4.根据权利要求1所述的驱动装置， 其特征在于， 所述导轨组件包括第 一导轨机构和第 二导轨机构； 所述第一导轨机构的导轨和所述第 二导轨机构的导轨沿竖直方向间隔设置， 所述第 一 导轨机构的导轨的长度方向和所述第二 导轨机构的导轨的长度方向均平行于水平方向； 所述转接板分别与所述第一 导轨机构的滑块以及所述第二 导轨机构的滑块相接 。 5.根据权利要求4所述的驱动装置， 其特征在于， 所述驱动组件包括直线电机， 所述直 线电机的定子 设置在所述基座的侧壁上， 并位于所述第一导轨机构的导轨和所述第二导轨 机构的导轨之间， 所述 直线电机的线圈设置在所述 转接板上。 6.根据权利要求5所述的驱动装置， 其特征在于， 所述转接板包括板体、 第一凸台以及 第二凸台； 所述第一凸台和所述第 二凸台沿着竖直方向间隔设置在所述板体上， 所述第 一凸台的 长度方向和所述第二凸台的长度方向均平行于所述第一 导轨机构的导轨的长度方向； 所述第一凸台与所述第 一导轨机构的滑块相接， 所述第 二凸台与所述第 二导轨机构的 滑块相接； 所述直线电机的线圈设置在所述板体上， 并位于所述第一凸台和第二凸台之间。 7.根据权利要求5所述的驱动装置， 其特征在于， 所述驱动装置还包括光栅尺， 所述光 栅尺的标尺用于设置在所述基座上， 所述 光栅尺的读数头设置在所述 转接板上。 8.根据权利要求7所述的驱动装置， 其特征在于， 所述光栅尺位于所述第 一导轨机构的 导轨背离所述第二 导轨机构的导轨的一侧； 所述第一 导轨机构的导轨位于所述第二 导轨机构的导轨的上 方。 9.根据权利要求1所述的驱动装置， 其特征在于， 所述转接板上设有多个减重孔， 多个 所述减重孔间隔设置在所述 转接板上。 10.一种加工设备， 其特征在于， 包括基座以及如权利要求1 ‑9任意一项所述的驱动装 置， 所述驱动装置安装在所述基座上。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216858650 U 2驱动装置及加工设 备 技术领域 [0001]本实用新型属于 激光加工技 术领域， 尤其涉及一种驱动装置及加工设备。 背景技术 [0002]激光直写式曝光机等激光加工设备通常都会设置相应的水平驱动装置和工作台， 工作台连接在水平驱动装置上， 通过水平驱动装置可以驱动工作台在水平运动， 进而带动 放置在工作台上的待加工产品在水平方向上运动。 [0003]水平驱动装置通常包括用于承载相应负 载的导轨 组件， 导轨组件通过壁挂方式水 平安装在相应的基座上。 在实际使用过程中， 负载的重量可能会较大， 这会对导轨组件造成 较大的压力， 使其弯曲形变， 不仅影响水平驱动装置的精度， 还可能会导致水平驱动装置卡 死进而引起安全事故。 实用新型内容 [0004]本实用新型所要解决的技术问题是： 针对现有壁挂式水平驱动装置中， 导轨组件 会因为负载压力等原因弯曲形变， 进而影响水平驱动装置的精度和安全性的问题， 提供一 种驱动装置及加工设备。 [0005]为解决上述技术问题， 本实用新型实施例提供一种驱动装置， 包括驱动组件、 导轨 组件、 转接板以及浮力组件； 所述驱动组件和所述导轨组件均通过壁挂方式设置在基座上， 所述转接板分别与所述驱动组件和所述导轨组件相 接， 所述转接板用于安装负载； 所述驱 动组件用于驱动所述转接板运动， 所述导轨组件用于支撑所述转接板， 并用于对所述转接 板的运动进 行导向； 所述浮力组件与所述转接板相接， 用于对 所述转接板施加向上的力， 以 抵消所述转接板以及设置在所述转接板上的负载的重力， 降低所述转接板以及所述转接板 上的负载对所述 导轨组件的压力。 [0006]可选的， 所述 浮力组件设置在所述 转接板的下方。 [0007]可选的， 所述浮力组件包括第一气浮块和第二气浮块， 所述转接板具有相互对称 的第一安装位和第二安装位， 所述第一气浮块安装在所述第一安装位， 所述第二气浮块安 装在所述第二 安装位。 [0008]可选是， 所述导轨组件包括第一导轨机构和第二导轨机构； 所述第一导轨机构的 导轨和所述第二导轨机构的导轨沿竖直方向间隔设置， 所述第一导轨机构的导轨的长度方 向和所述第二导轨机构的导轨的长度方向均 平行于水平方向； 所述转接板 分别与所述第一 导轨机构的滑块以及所述第二 导轨机构的滑块相接 。 [0009]可选的， 所述驱动组件包括直线电机， 所述直线电机 的定子设置在所述基座的侧 壁上， 并位于所述第一导轨机构的导轨和所述第二导轨机构的导轨之间， 所述直线电机的 线圈设置在所述 转接板上。 [0010]可选的， 所述转接板包括板体、 第一凸台以及第二凸台； 所述第一凸台和所述第二 凸台沿着竖直方向间隔设置在所述板体上， 所述第一凸台的长度方向和所述第二凸台的长说　明　书 1/4 页 3 CN 216858650 U 3