(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122949497.X (22)申请日 2021.11.29 (66)本国优先权数据 202122260869.8 2021.09.17 CN (73)专利权人 上海市激光 技术研究所 地址 200000 上海市徐汇区宜山路7 70号 (72)发明人 黄曦凌　王丽　刘昆　汪于涛　 骆工序　 (74)专利代理 机构 上海九泽 律师事务所 313 37 专利代理师 周云 (51)Int.Cl. B23K 26/082(2014.01) B23K 26/70(2014.01) G02B 26/10(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种直接式振镜校正系统 (57)摘要 本实用新型适用于激光加工技术振镜校正 领域， 提供了一种直接式振镜校正系统， 包括： 振 镜控制模块， 振镜扫描模块， CCD图像采集装置， CCD图像处理模块和校正处理模块。 本实用新型 通过激光在直接在CCD图像采集装置上成像， 消 除了激光在校正板上灼烧不均匀导致的误差。 无 需外部光源， 消除了外部光源不稳定导致的误 差。 本实用新型结构简单、 稳定且无运动部件， 消 除了单点采集的电机运动误差 。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 218016380 U 2022.12.13 CN 218016380 U 1.一种直接式振镜校正系统， 其特 征在于， 它包括： 振镜控制模块， 用于控制振镜摆动和激光器出光； 振镜扫描模块， 包括依次安装在激光器出射激光光路上的振镜和聚焦场镜， 用于接收 振镜控制系统发出的信号,在CCD图像采集装置上进 行矩阵标靶标记,所述振镜扫描模块与 振镜控制模块之间为电性连接； CCD图像采集装置， 包括CCD摄像头， 安装在聚焦场镜的正下方， 用于对从聚焦场镜出射 的激光光斑进行采集； CCD图像处理模块， 用于对采集到的激光光斑进行图像处理， 找出光斑的几何中心以及 矩阵靶标的中心点， 对采集到的光斑几何中心和理论坐标进行对比， 算出每个光斑的理论 坐标与实际坐标偏差值， 并输出振镜补偿文件， 所述CCD图像处理模块与CCD图像采集装置 之间为电性连接； 校正处理模块， 用于根据振镜补偿文件完成对振镜的校正， 所述校正处理模块分别与 CCD图像处 理模块及振镜控制模块电性连接 。 2.根据权利要求1所述的直接式振镜校正系统， 其特 征在于： 所述CCD图像处理模块包括定位模块、 偏差计算模块和振镜补偿模块， 所述偏差计算模 块分别与定位模块及振镜补偿模块电性连接， 其中： 定位模块， 用于对 采集到的激光 光斑进行定位； 偏差计算模块， 用于对定位结果和理论 坐标进行计算， 计算出理论与实际的位置偏差； 振镜补偿模块， 用于对位置偏差生成振镜校正文件。 3.根据权利要求1所述的直接式振镜校正系统， 其特 征在于： 所述摄像头CCD18上安装有高精度镜头组， 用于调 节到摄像头CCD的视野以及聚焦焦点 位置， 让激光打出的矩阵靶标清晰地会聚到摄 像头CCD上。 4.根据权利要求3所述的直接式振镜校正系统， 其特 征在于： 所述高精度镜 头组前安装有衰减镜 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218016380 U 2一种直接式振镜校正系统 技术领域 [0001]本实用新型涉及一种直接式振镜校正系统， 属于激光加工技术振镜校正技术领 域。 背景技术 [0002]在激光加工领域中大量使用振镜进行扫描加工， 在设备安装、 使用过程中， 因机械 结构误差、 装配误差、 光路调整误差等综合因素会导致扫描区域中的加工图形出现错位、 变 形等现象， 采用传统的人工测量方法耗时费力， 无法适应发展的需要。 [0003]公开号为CN  101513693A的实用新型专利申请公开了一种振镜系统及校正方法， 公开号为CN  102152007A的实用新型专利申请公开了一种精密的振镜校正系统及校正方 法， 两种方法均采用CCD图像采集装置对矩阵标靶进 行定位， 并用校正处理模块输出振镜用 的补偿文件。 这两种方法较传统人工测 量方法提高了精度与便捷性， 但是上述两种方法均 采用激光在校正板上切出标靶， 使用外部光源照射标靶后通过CCD单点采集标记点并计算 位置偏差。 标靶灼烧的不对称、 标靶移动、 外部光源的均匀性等均会引入误差， 进而对振镜 校正造成影响。 实用新型内容 [0004]为了克服现有振镜校正系统中校正板、 外部光源、 移动平台等组件导致的误差较 大的不足， 本实用新型 的目的在于提供一种直接式振镜校正系统， 能够实现对振镜进行高 精度的校正。 [0005]为了解决上述问题， 本实用新型采用的技 术方案如下： [0006]一种直接式振镜校正系统， 它包括： [0007]振镜控制模块， 用于控制振镜摆动和激光器出光； [0008]振镜扫描模块， 包括依次安装在激光器出射激光光路上的振镜和聚焦场镜， 所述 用于接收振镜控制系统发出的信号,在CCD图像采集装置上进 行矩阵标靶标记,所述振镜扫 描模块与振镜控制模块之间为电性连接； [0009]CCD图像采集装置， 包括CCD摄像头， 安装在聚焦场镜的正下方， 用于对从聚焦场镜 出射的激光 光斑进行采集； [0010]CCD图像处理模块， 用于对采集到的激光光斑进行图像处理， 找出光斑的几何中心 以及矩阵靶标 的中心点， 对采集到的光斑几何中心和理论坐标进行对比， 算出每个光斑的 理论坐标与 实际坐标偏差值， 并输出振镜补偿文件， 所述CCD图像处理模块与CCD图像采集 装置之间为电性连接； [0011]校正处理模块， 用于根据振镜补偿文件完成对振镜 的校正， 所述校正处理模块分 别与CCD图像处 理模块及振镜控制模块电性连接 。 [0012]进一步， 所述C CD图像处 理模块包括： [0013]定位模块， 用于对 采集到的激光 光斑进行定位；说　明　书 1/3 页 3 CN 218016380 U 3