(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123088368.2 (22)申请日 2021.12.09 (73)专利权人 济南森峰激光科技股份有限公司 地址 250000 山东省济南市高新区飞跃大 道2016号创新工场F4- 6-601 (72)发明人 刘士鹏　李峰西　崔炳军　邢振宏　 李建美　 (74)专利代理 机构 山东舜源联合知识产权代理 有限公司 373 59 专利代理师 闫晓燕 (51)Int.Cl. B23K 26/00(2014.01) B23K 26/08(2014.01) B23K 26/142(2014.01) B23K 26/70(2014.01) (54)实用新型名称 一种基于扫描转镜的集成式激光微加工平 台 (57)摘要 本实用新型提供一种基于扫描转镜的集成 式激光微加工平台， 属于激光微加工技术领域， 其包括底座， 底座上设置有横梁， 横梁的一侧设 置有Z轴移动平台， Z轴移动平台上设置有扫描 转 镜设备； 在扫描转镜设备下方， 底座上设置有X ‑Y 轴移动平台， X ‑Y轴移动平台的上端设置有激光 加工平台和L形的机械夹具轨道， 机械夹具轨道 的上端面与激光加工平台的工作面平齐， 机械夹 具轨道上端设置有L形的定位压尺， 定位压尺能 够与激光加工平台上的加工靶材接触； 本实用新 型的有益效果在于， 其既能够通过定位压尺对加 工靶材进行压紧， 保证加工靶材与激光加工平台 紧密贴合； 又能够通过定位压尺上的刻度和扫描 转镜设备的扫描原点对加工靶材进行定位， 提高 加工精度。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216502945 U 2022.05.13 CN 216502945 U 1.一种基于扫描转镜的集成式激光微加工平台， 其特征在于， 包括底座， 所述底座上设 置有横梁， 所述横梁的一侧设置有可竖直移动的Z轴移动平台， 所述Z轴移动平台上设置有 扫描转镜 设备； 在所述扫描转镜 设备下方， 所述底 座上设置有 X‑Y轴移动平台， 所述X ‑Y轴移 动平台的上端设置有激光加工平台和L形 的机械夹具轨道， 所述机械夹具轨道的上端面与 激光加工平台的工作面平齐， 所述机械夹具轨道上端设置有L形的定位压尺， 所述定位压尺 能够与激光加工平台上的加工靶材接触， 并对激光加工平台上的加工靶材进行 竖直压紧。 2.根据权利要求1所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台， 其特征在于， 所述机 械夹具轨道的上端设置有L形的T 型槽， 所述T 型槽的长度与所述定位压尺的长度相适应； 所 述定位压尺上方横跨有抵压块， 且所述抵压块的一端通过销轴与机械夹具轨道可转动连 接， 所述抵压块的另一端通过T型螺栓和螺母与机械夹具轨道可拆卸 连接， 所述T型螺栓的 螺栓头位于所述T型槽内。 3.根据权利要求2所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台， 其特征在于， 所述螺 母为蝶形螺母。 4.根据权利要求2所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台， 其特征在于， 所述激 光加工平台上设置有吸尘装置和吹屑装置 。 5.根据权利要求4所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台， 其特征在于， 所述吸 尘装置上设置有喇叭型吸风口。 6.根据权利要求4所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台， 其特征在于， 所述吹 屑装置上设置有扁嘴型 出风口。 7.根据权利要求4所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台， 其特征在于， 所述激 光加工平台为矩形加工平台， 所述机械夹具轨道的两个边分别与所述激光加工平台上两个 相邻的侧面相对， 所述吸尘装置和吹屑装置分别位于所述激光加工平台的另外两个侧面的 上方。 8.根据权利要求1 ‑7任一所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台， 其特征在于， 所述激光加工平台为激光加工真空吸附平台。 9.根据权利要求8所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台， 其特征在于， 所述底 座和横梁均为大理石材质。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216502945 U 2一种基于扫描转镜的集成式激光微加工 平台 技术领域 [0001]本实用新型属于激光微加工技术领域， 具体涉及 一种基于扫描转镜的集成式激光 微加工平台。 背景技术 [0002]目前， 由于激光扫描转镜系统具有稳定 的扫描性能和非常高的扫描速度， 且在激 光扫描过程中， 其由电脑控制器来提供信号， 并通过驱动放大电路驱动光学扫描头进行移 动， 激光扫描转镜系统可以有效地提高激光加工的效率和质量。 扫描转镜系统已经广泛应 用于汽车、 冶金、 纺织、 化工及微电子等众多的领域， 大大提高了行业加工效率。 同时越来越 多的科研机构和相关的企业投入大量科研力量用于扫描系统的开 发和集成设备的制造。 但 是， 目前的扫描转镜系统中所采用的加工平台上并未设置有专门用来对加工靶材进行定位 的设备， 所以现有的激光加工平台并不能在放置加工靶材的同时对其进 行定位； 其次， 现有 的激光扫描转镜系统主要用于薄片材料 的激光微群孔加工， 由于所加工的材料较薄， 其很 难保证加工靶材能够紧密地贴合在加工平台上， 从而也 就很难保证加工效果。 发明内容 [0003]本实用新型解决的技术问题是提供一种既能够便于对加工靶材进行定位， 又能够 保证加工靶材与加工平台 紧密贴合的基于扫描转镜的集成式激光 微加工平台。 [0004]为了解决上述技术问题， 本实用新型采取的技术方案为： 一种基于扫描转镜 的集 成式激光微加工平台， 其包括底座， 所述底座上设置有横梁， 所述横梁的一侧设置有 可竖直 移动的Z轴移动平台， 所述Z轴移动平台上设置有扫描转镜 设备； 在所述扫描转镜 设备下方， 所述底座上设置有X ‑Y轴移动平台， 所述X ‑Y轴移动平台的上端设置有激光加 工平台和L形 的机械夹具轨道， 所述机械夹具轨道的上端面与激光加工平台的工作面平齐， 所述机械夹 具轨道上端设置有L形的定位压尺， 所述定位压尺能够与激光加工平台上的加工靶材接触， 并对激光加工平台上的加工靶材进行竖直压紧， 使加工靶材紧密地贴合在激光加工平台 上； 同时在对加工靶材进行放置时， 本激光微加工平台还可通过定位压尺上 的刻度和扫描 设备本身的扫描原点对加工靶材进行定位， 从而提高加工靶材的加工精度。 [0005]进一步地， 所述机械夹具轨道的上端设置有L形的T型槽， 所述T型槽的长度与所述 定位压尺的长度相适应； 所述定位压尺上方横跨有抵压块， 且所述抵压块的一端通过销轴 与机械夹具轨道可转动连接， 所述抵压块的另一端通过T型螺栓和螺母与机械夹具轨道可 拆卸连接， 所述T型螺栓的螺栓头位于所述T型槽内。 这样在激光加工平台上放置好加工靶 材后， 可通过旋紧T型螺栓和螺母来使抵压块向机械夹具轨道靠近， 同时在旋紧过程中， 抵 压块会对定位压尺 施加一定的压力， 从而将加工靶材紧密地压在激光加工平台上。 [0006]进一步地， 所述螺母为蝶形螺母， 从而方便 工人对螺母进行握持和旋拧。 [0007]进一步地， 所述激光加工平台上设置有吸尘装置和吹屑装置， 从而及时将加工过 程中产生的烟尘和碎屑吸走。说　明　书 1/4 页 3 CN 216502945 U 3