(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123043673.X (22)申请日 2021.11.30 (73)专利权人 深圳市陆芯 半导体有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙华区观湖街 道观城社区横坑河东村440号A4栋荣 倡工业园401 (72)发明人 崔富广　邹雪明　杜飞　魏长斌　 (74)专利代理 机构 深圳市诺正鑫泽知识产权代 理有限公司 4 4689 专利代理师 林国友 (51)Int.Cl. B23K 37/04(2006.01) B23K 26/70(2014.01) B23K 26/38(2014.01) (54)实用新型名称 一种芯片切割用定位装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种芯片切割用 定位装 置， 包括安装台， 所述安装台的顶面开设有安装 槽， 所述安装台的内部固定连接有固定板， 所述 固定板的两侧侧壁分别焊接有轴板， 所述轴板的 内部分别与固定轴的一端转动连接， 所述固定轴 的另一端分别固定连接于夹板的两侧侧壁上， 所 述夹板的底部侧壁固定连接有滑杆， 所述夹板的 顶端侧壁开 设有限位槽和卡槽， 所述固定板的内 部开设有第一滑槽， 所述滑杆的端部延伸至第一 滑槽的内部， 所述第一滑槽的内部滑动连接有三 角滑块， 所述三角滑块的一端固定安装于伺服电 缸的输出轴上， 所述伺服电缸安装于安装台的侧 壁上， 通过在安装台的内壁安装能够对芯片进行 定位的夹板， 从而能够使芯片在安装后能够被定 位固定。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 216503192 U 2022.05.13 CN 216503192 U 1.一种芯片切割用定位装置， 包括安装台(1)， 其特征在于： 所述安装台(1)的顶面开设 有安装槽(2)， 所述安装台(1)的内部固定连接有固定板(13)， 所述固定板(13)的两侧侧壁 分别焊接有轴板(14)， 所述轴板(14)的内部分别与固定轴(12)的一端转动连接， 所述固定 轴(12)的另一端分别固定连接于夹板(4)的两侧侧壁上， 所述夹板(4)的底部侧壁固定连接 有滑杆(17)， 所述夹板(4)的顶端侧壁开设有限位槽(15)和卡槽(16)， 所述固定板(13)的内 部开设有第一滑槽(10)， 所述滑杆(17)的端部延伸至第一滑槽(10)的内部， 所述第一滑槽 (10)的内部滑动连接有三角滑块(11)， 所述三角滑块(11)的一端固定安装于伺服电缸(8) 的输出轴上， 所述伺服电缸(8)安装于安装台(1)的侧壁上。 2.根据权利要求1所述的一种芯片切割用定位装置， 其特征在于： 所述固定板(13)的底 端开设有第二滑槽(19)， 所述滑杆(17)的侧壁与第二滑槽(19)滑动连接 。 3.根据权利要求1所述的一种芯片切割用定位装置， 其特征在于： 所述夹板(4)的底端 两侧分别与第一 弹簧(18)的一端固定连接， 所述第一 弹簧(18)的另一端分别固定连接于固 定板(13)的底面两侧上。 4.根据权利要求1所述的一种芯片切割用定位装置， 其特征在于： 所述安装台(1)的内 部分别滑动连接有插板(3)， 所述插板(3)靠近安装槽(2)的一端插接于卡槽(16)中， 所述插 板(3)靠近安装台(1)外侧的一端均固定连接有限位板(9)， 所述限位板(9)的侧壁固定连接 有捏块(5)。 5.根据权利要求4所述的一种芯片切割用定位装置， 其特征在于： 所述安装台(1)的内 部固定连接有 固定杆(20)， 所述固定杆(20)的侧壁套接第二弹簧(21)， 所述固定杆(20)的 侧壁分别滑动连接有限位 块(22)， 所述限位 块(22)的侧壁与插板(3)的侧壁固定连接 。 6.根据权利要求1所述的一种芯片切割用定位装置， 其特征在于： 所述安装台(1)的两 侧侧壁分别固定连接有螺纹筒(6)， 所述螺纹筒(6)的内部 螺纹连接有螺杆(7)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216503192 U 2一种芯片切割用定位装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及芯片切割技 术领域， 具体为 一种芯片切割用定位装置 。 背景技术 [0002]芯片， 是指内含集成电路的硅片， 其制造流程， 晶圆切割， 通过使用晶圆切片机将 硅晶棒切割出所需厚度的晶圆， 晶圆涂膜。 在晶圆表面涂上光阻薄膜， 该薄膜能提升晶圆的 抗氧化以及耐温能力， 晶圆光刻显影、 蚀刻。 使用紫外光通过光罩和凸透镜后照射到晶圆涂 膜上， 使其软化， 然后使用溶剂将其溶解冲走， 使薄膜下的硅暴露出来， 离子注入。 使用刻蚀 机在裸露出的硅上刻蚀出N阱和P阱， 并注入离子， 形成PN结(逻辑闸门)； 然后通过化学和物 理气象沉淀做出 上层金属连接电路， 然后在晶圆测试和封装处 理。 [0003]然而， 在对晶圆进行切割时， 往往使将待切割处理的晶圆放置在激光切割机 的工 作台上， 将晶圆根据需要切割成圆形或者方形， 以便于实际使用， 然后在对晶圆进行切割 使， 不能够很好对晶圆进 行定位处理， 导致晶圆放置在切割区域的位置发生偏移， 进而导致 切割出来的 晶圆不符合 生产标准 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种芯片切割用定位装置， 通过在 安装台的内壁安装 能够对芯片进行定位的夹板， 从而能够使芯片在安装后能够被定位固定， 保证了晶圆的位 置能够被固定， 进 而提高切割的精准度， 以解决上述背景技 术中提出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种芯片切割用定位装置， 包括 安装台， 所述安装台的顶面开设有安装槽， 所述安装台的内部固定连接有固定板， 所述固定 板的两侧侧 壁分别焊接有轴板， 所述轴板的内部分别与固定轴的一端转动连接， 所述固定 轴的另一端分别固定连接于夹板的两侧侧 壁上， 所述夹板的底部侧 壁固定连接有滑杆， 所 述夹板的顶端侧 壁开设有限位槽和 卡槽， 所述固定板的内部开设有第一滑槽， 所述滑杆 的 端部延伸至第一滑槽的内部， 所述第一滑槽的内部滑动连接有三角滑块， 所述三角滑块的 一端固定安装于伺服电缸的输出轴上， 所述伺服电缸安装于安装台的侧壁上。 [0006]优选的， 所述固定板 的底端开设有第二滑槽， 所述滑杆的侧壁与第二滑槽滑动连 接。 [0007]优选的， 所述夹板 的底端两侧 分别与第一弹簧的一端固定连接， 所述第一弹簧的 另一端分别固定连接 于固定板的底面两侧上。 [0008]优选的， 所述安装台的内部分别滑动连接有插板， 所述插板靠近安装槽的一端插 接于卡槽中， 所述插板靠近安装台外侧的一端均固定连接有限位板， 所述限位板的侧 壁固 定连接有 捏块。 [0009]优选的， 所述安装台的内部固定连接有固定杆， 所述固定杆的侧壁套接第二弹簧， 所述固定杆的侧壁分别滑动连接有限位 块， 所述限位 块的侧壁与插板的侧壁固定连接 。 [0010]优选的， 所述安装台的两侧侧壁分别固定连接有螺纹筒， 所述螺纹筒的内部螺纹说　明　书 1/3 页 3 CN 216503192 U 3