(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212323 5997.3 (22)申请日 2021.12.21 (73)专利权人 江苏万喜 至工业设计有限公司 地址 226600 江苏省南 通市海安高新区(原 海安镇)镇南路428号江苏万喜至工业 设计有限公司 (72)发明人 万伏初　 (74)专利代理 机构 苏州市港澄专利代理事务所 (普通合伙) 32304 专利代理师 浦蓉 (51)Int.Cl. B08B 3/06(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 25/00(2006.01)F26B 25/16(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体清洗用辅助设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种半导体清洗用辅助 设备， 包括外罩， 所述外罩内安装成对网筒， 且两 个网筒沿上下方向依次分布， 所述外罩内安装转 动调节机构， 且转动调节机构用于调整成对网筒 上下位置， 所述网筒内安装有隔网， 且隔网沿网 筒筒腔长度方向呈横向阵列状分布， 所述外罩内 安装有伸缩调节机构。 本实用新型通过在外罩内 设置成对网筒， 通过伸缩调节机构同时调整两个 网筒内隔网伸缩， 以使相邻隔网之间硅片处于运 动状态， 保证清洗的洁净度； 通过转动调节机构 调整成对网筒上下位置， 以对清洗用网筒和晾干 用网筒进行往复置换， 可利用自动夹持机构自动 将晾干用网筒内硅片之间取出， 这样操作效率 高， 且拿取便捷， 省时省力。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 216757430 U 2022.06.17 CN 216757430 U 1.一种半导体清洗用辅助设备， 其特征在于： 包括外罩 （1） ， 所述外罩 （1） 内安装成对网 筒 （5） ， 且两个网筒 （5） 沿上下方向依次分布， 所述外罩 （1） 内安装转动调节机构， 且转动调 节机构用于调整成对网筒 （5） 上下位置， 所述网筒 （5） 内安装有隔网 （12） ， 且隔网 （12） 沿网 筒 （5） 筒腔长度方向呈横向阵列状分布， 所述外罩 （1） 内安装有伸缩调节机构， 且伸缩调节 机构用于同时控制两个网筒 （5） 内隔网 （12） 伸缩移动， 所述外罩 （1） 底 罩口内固定安装底网 （2） ， 且外罩 （1） 顶 罩口口壁铰接有罩盖 （14） ， 所述罩盖 （14） 内安装有自动夹持机构， 且自动 夹持机构用于对相应网筒 （5） 内晶片夹取。 2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用辅助设备， 其特征在于： 所述转动调节机构 包括转轴 （3） 、 套板 （4） 和电机 （7） ， 所述外罩 （1） 两侧内罩壁转动安装有同一转轴 （3） ， 且转 轴 （3） 上固定套设有套板 （4） ， 所述转轴 （3） 通过电机 （7） 驱动， 所述套板 （4） 上下侧分别固定 安装网筒 （5） 。 3.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用辅助设备， 其特征在于： 所述伸缩调节机构 包括第一电动缸 （8） 、 伸缩架 （9） 和安装座 （10） ， 所述外罩 （1） 内设伸缩架 （9） ， 且伸缩架 （9） 通过第一电动缸 （8） 驱动， 所述伸缩架 （9） 为U字形， 所述伸缩架 （9） 两侧端分别延伸至两个 网筒 （5） 内， 且两个延伸端上分别固定安装有安装座 （10） ， 所述安装座 （10） 上固定安装有第 一贯穿轴 （11） ， 且第一贯穿轴 （11） 贯穿相应隔网 （12） ， 所述隔网 （12） 上远离第一贯穿轴 （11） 的一端贯 穿有第二 贯穿轴 （13） ， 且第二 贯穿轴 （13） 固定 于网筒 （5） 内壁上。 4.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用辅助设备， 其特征在于： 所述自动夹持机构 包括第二电动缸 （15） 、 升降座 （16） 、 挤压块 （17） 、 安装板 （18） 、 铰接轴 （19） 、 第一夹片 （20） 和 第二夹片 （21） ， 所述罩盖 （14） 上安装成对第二电动 缸 （15） ， 且两个第二电动 缸 （15） 自由端 固定安装同一升降座 （16） ， 所述升降座 （16） 上固定安装有挤压块 （17） ， 且挤压块 （17） 沿升 降座 （16） 长度方向呈纵向阵列状分布， 所述罩盖 （14） 内固定安装有安装板 （18） ， 且安装板 （18） 上固定有铰接轴 （19） ， 所述铰接轴 （19） 和挤压块 （17） 对应的纵向阵列状分布， 所述铰 接轴 （19） 上转动安装有第一夹片 （20） 和第二夹片 （21） ， 且位于同一铰接轴 （19） 上第一夹片 （20） 夹头端和第二夹片 （21） 夹头端平行设置， 所述挤压块 （17） 上设导槽， 且导槽由外端至 里端呈逐步收缩状 设置， 同一所述铰接轴 （19） 上第一夹片 （20） 按压端和第二夹片 （21） 按压 端置于相应导槽 槽腔内。 5.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用辅助设备， 其特征在于： 所述外罩 （1） 外固 定安装有密封罩 （6） ， 且电机 （7） 和第一电动缸 （8） 均置 于密封罩 （6） 内。 6.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用辅助设备， 其特征在于： 所述外罩 （1） 内固 定安装有加热 管 （30） ， 且加热 管 （30） 正对上侧网筒 （5） 。 7.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用辅助设备， 其特征在于： 所述外罩 （1） 两侧 分别套有伸缩套座 （23） ， 所述外罩 （1） 两侧分别设有滑槽， 所述伸缩套座 （23） 延伸至相应滑 槽内， 且可沿相应滑槽内槽壁滑动。 8.根据权利要求7所述的一种半导体清洗用辅助设备， 其特征在于： 所述伸缩套座 （23） 上转动安装有插轴 （25） ， 且插轴 （25） 上固定套设轴套 （26） ， 所述伸缩套座 （23） 上螺纹安装 有拧紧销 （24） ， 且插轴 （25） 上设有和 拧紧销 （24） 适配的螺纹槽， 所述轴套 （26） 内插有伸缩 轴 （27） ， 且伸缩轴 （27） 通过固定销 （28） 固定于轴套 （26） 上， 所述伸缩轴 （27） 远离轴套 （26） 一端安装万向轮 （2 9） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216757430 U 2一种半导体清洗用辅助设 备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体技 术领域， 具体为 一种半导体清洗用辅助设备。 背景技术 [0002]目前用于集成电路制造的硅抛光片大都采用拉晶、 切片、 倒角、 腐蚀、 抛光、 清洗等 工艺流程， 抛光后的硅片表面附着大量颗粒， 清洗为整个工艺的最后一步， 因而清洗效果的 好坏将直接反应到客户那， 硅片清洗一般直接放置于清洗槽内清洗， 清洗效果不佳， 需要 人 为拿放硅片， 这样操作效率低， 且拿取不便捷， 费事费力， 鉴于此， 我们提出一种半导体清洗 用辅助设备。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于提供一种半导体清洗用辅助设备， 以解决上述背景技术中 提出的问题。 [0004]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种半导体清洗用辅助设备， 包 括外罩， 所述外罩内安装成对网筒， 且两个网筒沿上下方向依次分布， 所述外罩内安装转动 调节机构， 且转动调节机构用于调整成对网筒上下位置， 所述网筒内安装有隔网， 且隔网沿 网筒筒腔长度方向呈横向阵列状分布， 所述外罩内安装有伸缩调节机构， 且伸缩调节机构 用于同时控制 两个网筒内隔网伸缩移动， 所述外罩底罩口内固定安装底网， 且外罩顶罩口 口壁铰接有罩盖， 所述罩盖内安装有自动夹持机构， 且自动夹持机构用于对相 应网筒内晶 片夹取。 [0005]优选的， 所述外罩外固定安装有密封罩， 且电机和第一电动缸均置 于密封罩内。 [0006]优选的， 所述伸缩调节机构包括第一电动缸、 伸缩架和安装座， 所述外罩内设伸缩 架， 且伸缩架通过第一电动缸驱动， 所述伸缩架为U字形， 所述伸缩架两侧端分别延伸至两 个网筒内， 且两个延伸端 上分别固定安装有安装座， 所述安装座上固定安装有第一贯穿轴， 且第一贯穿轴贯穿相应隔网， 所述隔网上远离第一贯穿轴的一端贯穿有第二贯穿轴， 且第 二贯穿轴固定 于网筒内壁上。 [0007]优选的， 所述自动夹持机构包括第二电动缸、 升降座、 挤压块、 安装板、 铰接轴、 第 一夹片和第二夹片， 所述罩盖上安装成对第二电动缸， 且两个第二电动缸自由端固定安装 同一升降座， 所述升降座上固定安装有挤压块， 且挤压块沿升降座长度方向呈纵向阵列状 分布， 所述罩盖内固定安装有安装板， 且安装板上固定有铰接轴， 所述铰接轴和挤压块对应 的纵向阵列状分布， 所述铰接轴 上转动安装有第一夹片和第二夹片， 且位于同一铰接轴 上 第一夹片夹头端和第二夹片夹头端平行设置， 所述挤压块上设导槽， 且导槽由外端至里端 呈逐步收缩状设置， 同一所述铰接轴上第一夹片按压端和 第二夹片按压端置于相应导槽槽 腔内。 [0008]优选的， 所述外罩外固定安装有密封罩， 且电机和第一电动缸均置 于密封罩内。 [0009]优选的， 所述外罩内 固定安装有加热 管， 且加热 管正对上侧网筒。说　明　书 1/4 页 3 CN 216757430 U 3