(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123360492.X (22)申请日 2021.12.27 (73)专利权人 上海振卡新材料科技有限公司 地址 201900 上海市宝山区地杰路58号1幢 1层B区349室 (72)发明人 孙洪梅　陈方波　 (51)Int.Cl. B23Q 3/06(2006.01) (54)实用新型名称 一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装 (57)摘要 本实用新型公开了一种贵金属溅射靶材加 工用夹紧工装， 包括安装台， 所述安装台上端的 左侧活动安装有第一固定座， 所述第一固定座上 端的后侧固定设置有凹槽， 所述凹槽的内部活动 安装有丝杠， 所述丝杠的外端螺纹安装有丝母， 所述丝母的上端固定安装有第一夹具， 所述第一 固定座上端的前侧固定安装有第二夹具， 所述第 二夹具的后端固定安装有第一弹簧， 所述第一夹 具与第二夹具通过第一弹簧活动连接。 该贵金属 溅射靶材加工用夹紧工装， 通过安装电动推杆及 丝杠丝母， 既可以对不同长度的靶 材进行夹紧固 定， 也可以对不同宽度的靶材进行夹紧固定， 并 且通过安装微调机构， 可以对第二固定座与第一 固定座之间的间距进行微调， 以让夹具与靶材之 间更加紧密。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 216882774 U 2022.07.05 CN 216882774 U 1.一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装， 包括安装台(1)， 其特征在于： 所述安装台(1) 上端的左侧活动安装有第一固定座(2)， 所述第一固定座(2)上端的后侧 固定设置有凹槽 (3)， 所述凹槽(3)的内部活动安装有丝杠(4)， 所述丝杠(4)的外端螺纹安装有丝母(5)， 所 述丝母(5)的上端固定安装有第一夹具(6)， 所述第一固定座(2)上端的前侧固定安装有第 二夹具(7)， 所述第二夹具(7)的后端固定安装有第一弹簧(8)， 所述第一夹具(6)与第二夹 具(7)通过第一弹簧(8)活动连接， 所述安装台(1)上端的右侧活动安装有第二固定座(9)， 所述第一固定座(2)右端的前后两侧固定安装有滑杆(10)， 所述滑杆(10)的左端固定安装 有安装板(11)， 所述安装板(11)的左端 固定安装有电动推杆(12)， 所述电动推杆(12)的右 端与第一固定座(2)固定连接， 所述第二固定座(9)的右端固定安装有微调机构(13)。 2.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹 紧工装， 其特征在于： 所述微调 机构(13)的右端固定安装有支撑柱(14)， 所述支撑柱(14)左端的前后两侧固定安装有伸缩 杆(15)。 3.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹 紧工装， 其特征在于： 所述第 二 固定座(9)的右端固定安装有支撑 板(16)， 所述支撑 板(16)的上端活动安装有凸轮(17)。 4.根据权利要求3所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹 紧工装， 其特征在于： 所述凸轮 (17)的下端固定安装有手柄(18)， 所述手柄(18)贯穿支撑板(16)并延伸至支撑板(16)的下 端。 5.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹 紧工装， 其特征在于： 所述第 一 固定座(2)的前端固定安装有第一连接柱(19)， 所述第二固定座(9)的前端固定安装有第二 连接柱(20)。 6.根据权利要求5所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹 紧工装， 其特征在于： 所述第 一 连接柱(19)的前端固定安装有第二 弹簧(21)， 所述第一连接柱(19)与第二连接柱(20)通过 第二弹簧(21)活动连接 。 7.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹 紧工装， 其特征在于： 所述滑杆 (10)贯穿第一固定座(2)并延伸至第一固定座(2)的左侧， 所述滑杆(10)的右端延伸至第二 固定座(9)的内部 。 8.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹 紧工装， 其特征在于： 所述第 一 固定座(2)与第二固定座(9)为同种结构， 所述丝杠(4)的后端固定安装有转动柄(2 2)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216882774 U 2一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装 技术领域 [0001]本实用新型涉及贵金属靶材技术领域， 具体为一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工 装。 背景技术 [0002]采用精炼、 熔化锻造、 压延加工或粉未冶金工艺制造的半导体器件、 记录媒体显示 器件等的配线和薄膜的贵金属及其 合金的溅射靶材。 [0003]一般的贵金属溅射靶材在加工时由于质量太大， 通常直接放在操作台上， 这样会 使靶材因为震动而发生偏移， 在加工途中会由于偏移而产生崩角， 损坏靶材。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装， 以解决上述背 景技术中提出一般的贵金属溅射靶材在加工时由于质量太大， 通常直接放在操作台上， 这 样会使靶材因为震动而发生偏移， 在加工途中会由于偏移而产生崩角， 损坏靶材的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种贵金属溅射靶材加工用夹 紧工装， 包括安装台， 所述安装台上端的左侧活动安装有第一固定座， 所述第一固定座上端 的后侧固定设置有凹槽， 所述凹槽的内部活动安装有丝杠， 所述丝杠的外端螺纹安装有丝 母， 所述丝母的上端固定安装有第一夹具， 所述第一固定座上端的前侧固定安装有第二夹 具， 所述第二夹具 的后端固定安装有第一弹簧， 所述第一夹具与第二夹具通过第一弹簧活 动连接， 所述安装台上端的右侧活动安装有第二固定座， 所述第一固定座右端的前后两侧 固定安装有滑杆， 所述滑杆的左端固定安装有安装板， 所述安装板的左端固定安装有电动 推杆， 所述电动推杆 的右端与第一固定座固定连接， 所述第二固定座的右端固定安装有微 调机构。 [0006]优选的， 所述微调机构的右端固定安装有支撑柱， 所述支撑柱左端的前后两侧固 定安装有伸缩杆， 通过安装电动推杆， 可以使电动推杆推动第一固定座沿着滑杆左右移动， 由此调整两个固定座之间的间距， 以对不同长度的靶材进行夹紧 固定。 [0007]优选的， 所述第二固定座的右端固定安装有支撑板， 所述支撑板的上端活动安装 有凸轮， 通过安装丝杠和丝母， 转动转动柄， 带动丝杠在凹槽内部转动， 由于丝母与丝杠螺 纹连接， 因而丝杠的转动会带动丝母沿着丝杠前后移动， 由此带动第一夹具沿着丝杠前后 移动， 最终调整第一夹具与第二夹具之间的间距， 以对不同宽度的靶材进行夹紧 固定。 [0008]优选的， 所述凸轮的下端固定安装有手柄， 所述手柄贯穿支撑板并延伸至支撑板 的下端， 由于第二夹具为固定安装， 因此其位置相对于第一固定座和 第二固定座是不变的， 第一夹具前后移动， 并且两者之 间通过第一 弹簧连接， 因而不容易使夹具产生偏移， 使装置 更加稳定 。 [0009]优选的， 所述第一固定座的前端固定安装有第一连接柱， 所述第二固定座的前端 固定安装有第二连接柱， 通过安装微调机构， 可以对第二固定座与第一固定座之间的间距说　明　书 1/4 页 3 CN 216882774 U 3