(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210854131.0 (22)申请日 2022.07.13 (71)申请人 宁夏隆基乐叶科技有限公司 地址 750021 宁夏回族自治区银川市经济 技术开发区宏图南 街115号 (72)发明人 樊建江　赵赞良　王武林　史晨燕　 韩晓辉　聂大小　王安红　陈宇晖　 (74)专利代理 机构 北京知迪知识产权代理有限 公司 11628 专利代理师 张子宽 (51)Int.Cl. B23K 26/362(2014.01) B23K 26/70(2014.01) B23K 101/36(2006.01) (54)发明名称 一种工作台和激光打标设备 (57)摘要 本发明公开一种工作台和激光打标设备， 涉 及激光加工设备技术领域， 以解决激光打标设备 的台面上存在杂质时影 响加工质量的问题。 所述 工作台包括支架、 翻转机构和承载台， 翻转机构 设置于支架， 承载台包括用于承载工件的承载 面， 承载台设置于翻转机构上， 翻转机构用于可 控的驱动承 载台翻转， 使 得承载面在朝上姿态和 朝下姿态之间翻转切换， 所述激光打标设备包括 上述方案所述的工作台。 权利要求书1页 说明书6页 附图3页 CN 115178887 A 2022.10.14 CN 115178887 A 1.一种工作台， 其特 征在于， 包括： 支架； 翻转机构， 所述翻转机构设置 于所述支 架； 承载台， 包括用于承载工件的承载面， 所述承载台设置于所述翻转机构上， 所述翻转机 构用于可控的驱动所述承载台翻转， 使得所述承载面在朝上姿态和朝下姿态之间翻转切 换。 2.根据权利要求1所述的工作台， 其特征在于， 所述承载台为环形传送带， 所述翻转机 构包括与所述环形传送带传动连接的驱动组件， 所述驱动组件驱动所述环形传送带做环绕 运动。 3.根据权利要求2所述的工作台， 其特征在于， 所述驱动组件包括至少两个转动轴， 所 述转动轴位于所述环形传送带内侧且将所述环形传送带张紧， 所述转动轴转动时带动所述 环形传送带做 环绕运动。 4.根据权利要求1所述的工作台， 其特征在于， 所述承载台为板状结构， 所述翻转机构 包括驱动装置和转动杆， 所述驱动装置安装在所述支架上， 所述转动杆与所述驱动装置相 连， 所述承载台安装在所述转动杆上， 所述驱动装置驱动所述转动杆转动， 所述转动杆转动 时带动所述承载台翻转。 5.根据权利要求1 ‑4任一项所述的工作台， 其特征在于， 还包括吸附装置， 所述吸附装 置安装在所述支 架上且位于所述承载台下 方， 用于吸紧所述承载台上的工件。 6.根据权利要求5所述的工作台， 其特征在于， 所述承载台的承载面上设置有多个与 所 述吸附装置相对应的通气孔。 7.根据权利要求6所述的工作台， 其特征在于， 所述承载面为田字结构， 多个所述通气 孔均匀分布在所述田字结构上。 8.根据权利要求1 ‑4任一项所述的工作台， 其特征在于， 还包括旋转装置， 所述承载台 安装在所述旋转装置上， 所述旋转装置驱动所述承载台转动至不同工位。 9.根据权利要求8所述的工作台， 其特征在于， 所述承载台设置多个， 多个所述承载台 均与所述旋转装置相连， 且多个所述承载台沿所述旋转装置的旋转方向均匀分布。 10.一种激光打标设备， 其特 征在于， 包括如权利要求1 ‑9任一项所述的工作台。 11.根据权利要求10所述的激光打标设备， 其特征在于， 还包括上料输送装置、 下料输 送装置和工件转运装置， 所述工件转运装置用于将所述上料输送装置上的工件转运至工作 台上， 且用于将工作台上的工件转 运至所述下 料输送装置上。 12.根据权利要求11所述的激光打标设备， 其特征在于， 所述工件转运装置包括互成角 度的第一转臂和第二转臂， 所述第一转臂上设置有第一取料组件， 所述第二转臂上设置有 第二取料组件； 所述第一取料组件位于所述上料输送装置上时， 所述第二取料组件位于所 述工作台上； 所述第一取料组件位于所述工作台上时， 所述第二取料组件位于所述下料输 送装置上。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115178887 A 2一种工作台和激光打标设 备 技术领域 [0001]本发明涉及激光加工设备技 术领域， 尤其涉及一种工作台和激光打标设备。 背景技术 [0002]在晶体硅太阳能电池的制造工艺中， SE(选择性发射极)激光掺杂工艺是一种制备 高质量太阳能电池的关键性工艺。 通常利用激光打标设备实施S E激光掺杂工艺， 掺杂时， 先 将带有PSG(磷硅玻璃层)的硅片放置于激光打标设备的工作台上， 然后通过拍照设备获取 硅片的表面图像， 并根据表面图像确定掺杂区域， 最后利用激光脉冲熔融掺杂区域的硅片 表层， 使P SG层中的磷原子推进至 硅片中并快速取代 原有的硅原子实现扩散掺杂。 [0003]采用上述激光打标设备实施SE激光掺杂工艺时， 可以在硅片上形成高质量的掺杂 层； 但是， 激光脉冲掺杂硅片表层的过程中， 硅片表层 会在激光脉冲的作用下产生碎片等杂 质， 杂质留在工作台上后， 下一块硅片掺杂时会放置于工作台的杂质上， 导致硅片部 分位置 抬升， 在拍照获取硅片的表面图像时， 硅片上抬升部 分的图形会发生变形， 导致掺杂区域的 确定出现偏差， 同时激光掺杂时， 掺杂位置也会出现偏差， 从而导致激光掺杂形成的掺杂 层 质量较差， 进 而导致形成的太阳能电池质量较差 。 发明内容 [0004]本发明的目的在于提供一种工作台和激光打标设备， 以去除工作台上的杂质。 [0005]为了实现上述目的， 第一方面， 本发明提供一种工作台， 包括： [0006]支架； [0007]翻转机构， 翻转机构设置 于支架； [0008]承载台， 包括用于承载工件的承载面， 承载台设置于翻转机构上， 翻转机构用于可 控的驱动承载台翻转， 使得承载面在朝上姿态和朝下姿态之间翻转切换。 [0009]采用上述技术方案的情况下， 工作台包括支架、 翻转机构和承载台， 翻转机构设置 于支架， 承载台设置于翻转机构， 翻转机构用于驱动承载台翻转， 使得承载面在朝上姿态和 朝下姿态之间翻转切换； 采用这种结构， 在硅片放置于承载台之前， 可以先利用翻转机构控 制承载台翻转， 使承载面由朝上姿态 转换为朝下姿态， 此时， 承载面上的杂质在惯性和重力 的作用下会倾倒出去， 使得杂质脱离承载台； 在下一块硅片放置于承载台上之前， 可以利用 翻转机构控制承载台翻转， 使承载下一块硅片的承载面由朝上姿态转换为朝下姿态， 此时， 下一块硅片可以平整地放置在 承载面上， 在拍照获取硅片的表面图像和激光掺杂时承载面 形变较小， 减小了偏差， 提高激光掺杂的精度， 使得激光掺杂形成的掺杂层质量较好， 从而 提高形成的太阳能电池的质量。 另外， 承载台上的杂质去除后， 可以使 下一块硅片能够更加 稳定地放置于承载面上。 [0010]在一些可能的实现方式中， 承载台为环形传送带， 翻转机构包括与环形传送带传 动连接的驱动组件， 驱动组件驱动环形传送带做环绕运动。 如此设置， 优化承载台的结构， 驱动组件可以驱动环形传送带运动实现翻转。说　明　书 1/6 页 3 CN 115178887 A 3