(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211162865.9 (22)申请日 2022.09.23 (71)申请人 苏州海杰兴科技股份有限公司 地址 215000 江苏省苏州市高新区泰山路 688号 (72)发明人 不公告发明人 　 (74)专利代理 机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通 合伙) 11463 专利代理师 荣颖佳 (51)Int.Cl. B23K 26/70(2014.01) B23K 26/38(2014.01) B23K 26/073(2006.01) (54)发明名称 光束组合装置、 系统和激光加工装置、 控制 方法 (57)摘要 本申请提供一种光束组合装置、 系统和激光 加工装置、 控制方法， 涉及激光加工技术领域， 包 括： 激光光源,激光光源的出光光路上设置有偏 振分光器、 合束器和聚焦模组,偏振分光器将激 光光源出射的光束分束为偏振方向不同的第一 光束和第二光束； 第一光束的光路上设置有整形 模组， 整形模组将第一光束整形为条状光束出 射； 第二光束的光路上设置有多焦点模组， 多焦 点模组将第二光束分束以形成多个点状光束与 条状光束平行出射； 合束器将条状光束和多个点 状光束合束连接后以形成连续的组合光束， 聚焦 模组将组合光束聚焦后以在接收面上形成预设 的组合光斑。 应用于激光开槽时， 组合光斑利于 槽型底部的平坦度， 实现材料的高效去除， 提高 了开槽的效率和效果。 权利要求书2页 说明书7页 附图1页 CN 115351445 A 2022.11.18 CN 115351445 A 1.一种光束组合装置， 其特征在于， 包括： 激光光源,所述激光光源的出光光路上设置 有偏振分光器、 合束器和聚焦模组,所述偏振分光器将所述激光光源出射的光束分束为偏 振方向不同的第一 光束和第二 光束； 所述第一光束的光路上设置有整形模组， 所述整形模组将所述第 一光束整形为条状光 束出射； 所述第二光束的光路上设置有多焦点模组， 所述多焦点模组将所述第二光束分束 以形成多个点状光束与所述条状光束平行出射； 所述合束器将所述条状光束和多个所述点 状光束合束连接后以形成连续的组合光束， 所述聚焦模组将所述组合光束聚焦后以在接收 面上形成预设的组合 光斑。 2.根据权利要求1所述的光束组合装置， 其特征在于， 所述整形模组将所述第 一光束整 形为光强均匀的平 顶光束出射。 3.根据权利要求2所述的光束组合装置， 其特征在于， 所述整形模组包括依次设置的凹 型柱面镜和凸型柱面镜， 所述凹型柱面镜和所述凸型柱 面镜的焦距比为 1:2， 所述凹型柱 面 镜和所述凸型柱面镜之间的间隔为15m m～35mm。 4.根据权利要求1～3任意一项所述的光束组合装置， 其特征在于， 所述整形模组和所 述合束器之间还设置有光阑模组， 所述 光阑模组将所述条状光束 进行空间滤波。 5.根据权利要求1所述的光束组合装置， 其特征在于， 所述多焦点模组包括依次设置的 衍射分光镜片和偏振分光镜， 所述第二光束经所述衍射分光镜片被分束成一维的N束点光 束， 再经所述偏振分光镜后， N束所述点光束被分为2N束所述点光束， 且2N束所述点光束呈 两列对称排布， 以形成多个所述 点状光束。 6.根据权利要求5所述的光束组合装置， 其特征在于， 所述衍射分光镜片和所述偏振分 光镜之间设置有半波片， 所述半波片用于调节两列所述 点光束的功率。 7.根据权利要求5所述的光束组合装置， 其特征在于， 所述多焦点模组 的出光侧还设置 有扩束模组， 通过 所述扩束模组将多个所述 点状光束的出光 直径实现扩束。 8.根据权利要求1所述的光束组合装置， 其特征在于， 所述激光光源的波长范围在 355nm～1064nm之间,脉宽范围在5fs～250ns之间， 所述激光光源的出光直径在1mm～3mm之 间。 9.一种光束组合系统， 其特征在于， 包括控制器和如权利要求1～8任意一项所述光束 组合装置， 所述控制器分别和所述 光束组合系统的激光 光源、 聚焦模组电连接 。 10.一种激光加工装置， 其特征在于， 包括如权利要求9所述的光束组合系统， 以及加工 平台与所述加工平台连接的驱动件， 所述加工平台用于承载待加工件， 通过所述光束组合 系统出射的组合 光束在所述待加工件的待加工表面形成预设切割槽 。 11.一种激光加工控制方法， 用于控制如权利要求10所述的激光加工装置， 其特征在 于， 包括： 控制激光光源出射高斯激光束； 其中， 高斯激光束朝向偏振分光器出射， 所述偏振分光 器将所述光束分束为偏振方向不同的第一光束和 第二光束， 所述第一光束 经整形模组整 形 为条状光束出射， 所述第二光束经多焦点模组形成多个点状光束与所述条状光束平行出 射， 所述条状光束和多个所述点状光束经合束器合束连接后以形成连续的组合光束射向聚 焦模组； 所述聚焦模组将所述组合光束聚焦后 射向加工平台上的待加工件， 并使所述 聚焦模组权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115351445 A 2沿垂直于所述待加工件的待加工表面的方向移动； 通过驱动件使所述加工平台沿预设方向移动， 以在所述待加工件的待加工表面形成预 设切割槽 。 12.根据权利要求11所述的激光加工控制方法， 其特征在于， 所述控制激光光源出射高 斯激光束包括: 控制所述激光光源的波长范围在355nm～1064nm之间,脉宽范围在5fs～250ns之间， 所 述激光光源的出光 直径在1m m～3mm之间。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115351445 A 3