(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211194506.1 (22)申请日 2022.09.28 (71)申请人 深圳泰德激光技术股份有限公司 地址 518000 广东省深圳市南 山区粤海街 道麻岭社区科研路9号比克科技大厦 401M-2 (72)发明人 陆明　吴霞芳　刘舟　高鹏　 黄小龙　吴华安　盛辉　周学慧　 张凯　 (74)专利代理 机构 深圳市恒程创新知识产权代 理有限公司 4 4542 专利代理师 刘冰 (51)Int.Cl. B23K 26/00(2014.01) B23K 26/064(2014.01)B23K 26/70(2014.01) (54)发明名称 激光加工方法、 装置、 设备及 介质 (57)摘要 本发明涉及材料加工技术领域， 公开了一种 激光加工方法、 装置、 设备及介质， 其方法包括： 获取激光光束的激光射入参数； 基于预设的计算 规则， 根据所述激光光束的激光射入参数进行相 差计算， 确定对应的球差相位图； 将所述球差相 位图加载至预设的空间光调制器SLM， 对激光光 束的相差进行相位补偿， 确定相差消除的激光光 束； 基于所述激光光束， 对待加工材料进行激光 加工。 本发 明通过预设的计算规则与计算算法对 激光光束进行控制， 简化了进行激光光束相差矫 正的加工程序， 实现了对球面像差进行动态校 准， 并同时提升了相差校准精度， 减少进行矫正 的周期， 提升进行矫正的灵活性， 降低像差校正 的难度。 权利要求书2页 说明书13页 附图6页 CN 115533298 A 2022.12.30 CN 115533298 A 1.一种激光加工方法， 其特 征在于， 所述激光加工方法包括： 获取激光 光束的激光 射入参数； 基于预设的计算规则， 根据所述激光光束的激光射入参数进行相差计算， 确定对应的 球差相位图； 将所述球差相位图加载至预设的空间光调制器SLM， 对激光光束的相差进行相位补偿， 确定相差消除的激光 光束； 基于所述激光 光束， 对待加工材 料进行激光加工 。 2.如权利要求1所述的激光加工方法， 其特征在于， 所述基于预设的计算规则， 根据所 述激光光束的激光 射入参数进行相差计算， 确定对应的球差相位图的步骤， 包括： 基于预设的编程算法， 将激光光束射入的入射角到预设射入角的激光射入范围等分成 N个部分， 其中， N 为正整数； 将N个部分的激光入射范围分别代入预设的相差计算公式， 确定N个部分激光射入范围 中每个部分对应的相位差； 基于所述相位差， 确定所述激光 光束射入的球差相位图。 3.如权利要求2所述的激光加工方法， 其特征在于， 所述基于所述相位差， 确定所述激 光光束射入的球差相位图的步骤， 包括： 将所述N个部分激光射入范围中每个部分对应的相位差分别进行归一化处理， 确定每 个部分的相位差对应的相差值； 将所述相差值进行 预设的位图转 化， 生成所述相差值对应的位图BMP球差相位图。 4.如权利要求1所述的激光加工方法， 其特征在于， 在所述将所述球差相位图加载至预 设的空间光调制器SLM， 对激光 光束的相差进行相位补偿的步骤之前， 所述方法还 包括： 基于预设的扩束镜BET， 对所述激光光束的光斑进行调整， 确定所述激光光束进行激光 作业的光斑大小； 基于预设的半波片HP， 对所述激光光束的偏振进行调整， 将所述激光光束的偏振态调 整为线偏振； 基于激光光束调整后的光斑大小和线偏振， 确定从反射镜发射的SLM 接收激光 光束。 5.如权利要求4所述的激光加工方法， 其特征在于， 所述将所述球差相位图加载至预设 的空间光调制器SLM， 对激光光束的相差进行相位补偿， 确定相差消除的激光光束的步骤， 包括： 基于预先计算的球差相位图， 确定所述SLM 接收激光 光束的待补偿相位； 基于所述空间光调制器SLM预设的数字视觉接口DVI， 获取所述待补偿相位对应的控制 信号； 基于所述空间光调制器SLM反射面板中预设的填充因子， 根据所述控制信号加载对应 的调制深度； 对所述SLM接收激光光束进行与所述调制深度对应的相位补偿， 确定相差消除的激光 光束。 6.如权利要求1所述的激光加工方法， 其特征在于， 在所述将所述球差相位图加载至预 设的空间光调制器SLM， 对激光光束的相差进 行相位补偿， 确定相差消除的激光光束的步骤 之后， 所述方法还 包括：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115533298 A 2将所述相差消除的激光 光束射入预设的4F透射系统； 通过所述4F透射系统对所述相差消除的激光光束进行光束聚焦和光束过滤， 获取进行 激光加工的激光 光束； 将所述进行激光加工的激光光束入射至预设的待加工材料， 实现对所述待加工材料的 激光加工 。 7.如权利要求6所述的激光加工方法， 其特征在于， 在所述通过所述4F透射系统对所述 相差消除的激光光束进行光束聚焦和光束过滤， 获取进行激光加工的激光光束的步骤之 后， 所述方法还 包括： 获取在所述 4F透射系统中预设物镜中的激光 光束对应的入射形态图； 基于所述入射形态图， 确定激光光束的激光参数， 并基于所述激光参数验证激光光束 进行相位补偿的效果。 8.一种相差消除装置， 其特 征在于， 所述相差消除装置包括： 参数获取模块， 用于获取激光 光束的激光 射入参数； 相位图确定模块， 用于基于预设的计算规则， 根据所述激光光束的激光射入参数进行 相差计算， 确定对应的球差相位图； 相位补偿模块， 用于将所述球差相位图加载至预设的空间光调制器SLM， 对激光光束的 相差进行相位补偿， 确定相差消除的激光 光束； 激光加工模块， 用于基于所述激光 光束， 对待加工材 料进行激光加工 。 9.一种设备， 其特征在于， 所述设备包括存储器、 处理器及存储在所述存储器上并可在 所述处理器上运行的相差消除程序， 所述相差消除程序被所述处理器执行时实现如权利要 求1至7中任一项所述的激光加工方法。 10.一种介质， 所述介质为计算机可读存储介质， 其特征在于， 所述计算机可读存储介 质上存储有相差消除程序， 所述相差消除程序被处理器执行时实现如权利要求 1至7中任一 项所述的激光加工方法的步骤。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115533298 A 3