(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211294165.5 (22)申请日 2022.10.21 (71)申请人 苏州科韵激光科技有限公司 地址 215100 江苏省苏州市吴中经济开发 区郭巷街道淞苇路6 68号 (72)发明人 陈盟　陈博锐　兰珺琳　罗帅　 王刚　 (74)专利代理 机构 北京市万慧达律师事务所 11111 专利代理师 刘文君 (51)Int.Cl. B23K 26/70(2014.01) (54)发明名称 一种激光外光路光束监控系统及方法 (57)摘要 本申请公开了一种激光外光路光束监控系 统及方法， 涉及激光加工的技术领域。 包括激光 发射部， 激光发射部用于发射第一光束， 第一分 光部， 第一分光部设置在第一光束的光路上， 用 于将第一光束分为第二光束和第三光束； 第二分 光部， 第二分光部设置在第二光束的光路上， 用 于将第二光束分为第四光束和第五光束； 激光衰 减部， 激光衰减部设置在第四光束的光路上， 用 于将第四光束的能量衰减至预设范围内； 监控 部， 用于采集经过激光衰减部衰减后的第四光束 的光束参数， 并监控光束参数的状态。 本申请能 够对激光光束能量和通过精确软件算法计算能 量的实时监控， 并通过与设备作业软件通讯， 及 时反馈至主机， 从而根据异常做出相应的警报。 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 CN 115476062 A 2022.12.16 CN 115476062 A 1.一种激光外光路光束监控系统， 包括激光发射部(1)， 所述激光发射部(1)用于发射 第一光束(101)， 其特 征在于， 还 包括： 第一分光部(2)， 所述第一分光部(2)设置在 所述第一光束(101)的光路上， 用于将所述 第一光束(101)分为第二 光束(201)和第三 光束(202)； 第二分光部(3)， 所述第二分光部(3)设置在 所述第二光束(201)的光路上， 用于将所述 第二光束(201)分为第四光束(3 01)和第五光束(3 02)； 激光衰减部(4)， 所述激光衰减部(4)设置在 所述第四光束(301)的光路上， 用于将所述 第四光束(3 01)的能量衰减至预设范围内； 监控部(5)， 用于采集经过所述激光衰减部(4)衰减后的第四光束(301)的光束参数， 并 监控所述 光束参数的状态。 2.根据权利要求1所述的激光外光路光束监控系统， 其特 征在于， 所述系统还 包括： 功率检测部(8)， 所述功率检测部(8)设置在 所述第五光束(302)的光路上， 所述功率检 测部(8)包括 光电功率探 头， 所述光电功率探 头用于检测第五光束(3 02)的功率 参数。 3.根据权利要求2所述的激光外光路光束监控系统， 其特 征在于， 所述系统还 包括： 衰减镜片， 所述衰减镜片 设置在所述第五光束(302)进入所述功率检测部(8)之前的光 路上。 4.根据权利要求2所述的激光外光路光束监控系统， 其特征在于， 所述监控部(5)包括 CMOS装置， 所述CMOS装置设置在经过激光衰减部(4)输出的所述第四光束(301)的光路上， 用于捕捉并采集第四光束(3 01)的所述 光束参数。 5.根据权利要求2所述的激光外光路光束监控系统， 其特征在于， 所述第三光束(202) 用于激光加工， 在所述第三 光束(202)的光路上还设置有第一反射镜(6)和第二反射镜(7)。 6.根据权利要求1所述的激光外光路光束监控系统， 其特征在于， 所述激光衰减部(4) 包括分光式衰减 装置或者吸 收式衰减 装置； 优选的， 所述分光式衰减 装置至少包括楔形分光镜、 分光 棱镜、 分光透反镜中的一个； 所述吸收式衰减 装置包括反射式滤波器或者吸 收式滤波器。 7.根据权利要求1所述的激光外光路光束监控系统， 其特 征在于， 所述系统还 包括： 消光部(9)， 所述消光部(9)设置在所述第五光束(302)的光路上， 所述消光部(9)包括 激光消光 座， 所述激光消光 座用于对所述第五光束(3 02)进行消光。 8.一种基于权利要求1～7中任一项所述的激光外光路光束监控方法， 其特征在于， 所 述方法包括： 激光发射部(1)发射第一光束(101)进入第一分光部(2)分为第二光束(201)和第三光 束(202)； 所述第二光束(201)进入所述第二分光部(3)， 并分为第四光束(301)和第五光束 (302)； 激光衰减部(4)对所述第四光束(301)进行衰减， 使得所述第四光束(301)的能量衰减 至预设范围内； 通过监控部(5)采集经过所述激光衰减部(4)衰减后的第四光束(301)的光束参数， 通 过功率检测部(8)检测所述第五光束(3 02)的功率 参数； 结合所述第四光束(301)的光束参数和所述第五光束(302)的功率参数确认激光光束权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115476062 A 2的状态。 9.根据权利要求8所述的激光外光路光束监控方法， 其特征在于， 结合所述第四光束 (301)的光束参数和所述第五光束(3 02)的功率 参数确认所述 光束参数的状态， 具体包括： 将所述第四光束(301)的光束参数与第一预设范围进行对比， 若所述第四光束(301)的 光束参数超过 所述第一预设范围， 则所述第四光束(3 01)异常； 将所述第五光束(302)的功率参数与第二预设范围进行对比， 若所述第五光束(302)的 功率参数超过 所述第二预设范围， 则所述第五光束(3 02)异常； 当所述第四光束(3 01)异常或者所述第五光束(3 02)异常时， 则激光 光束异常。 10.根据权利要求9所述的激光外光路光束监控方法， 其特征在于， 当所述激光光束异 常时， 进行反馈并且预警。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115476062 A 3