(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210856203.5 (22)申请日 2022.07.21 (71)申请人 桂林电子科技大 学 地址 541004 广西壮 族自治区桂林市金鸡 路1号 (72)发明人 李春泉　张彪　阎德劲　黄红艳　 王汞　汤鸿宇　成鹏琳　梁锟　 林宏锋　尚玉玲　 (51)Int.Cl. H05K 7/20(2006.01) (54)发明名称 一种热源面温度均匀的特斯拉阀式微通道 散热器 (57)摘要 本发明涉及一种热源面温度均匀的特斯拉 阀式微通道 散热器， 主要由基板(1)和盖板(2)组 成， 基板内部设有入口主槽(3)、 出口主槽(4)、 矩 形流道(5)和特斯 拉阀式流道(6)； 入口主槽和出 口主槽均采用长方体结构， 两槽的深度、 长度和 宽度均相同； 矩形流道和特斯拉阀式流道的深度 和宽度也相同。 靠近微通道散热器入口处的特斯 拉阀式流道能够增加该流道内流体的流阻， 而远 离入口处的特斯拉阀式流道能够增加该通道内 流体的流速， 从而有效解决了由于距离微流道入 口处距离的长短不同而导致的流量分流不均问 题， 在保证微通道散热性能的基础上， 进一步提 高了热源面温度分布的均匀性， 保证了电子产品 的性能。 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 CN 115397195 A 2022.11.25 CN 115397195 A 1.一种热源面温度均匀的特斯拉阀式微通道散热器， 主要由基板(1)和盖板(2)组成， 基板内设有流道结构， 流道结构包括入口主槽(3)、 出口主槽(4)、 矩形流道(5)和特斯拉阀 式流道(6)， 该出入口槽均采用长方体结构； 盖板上加载有 热源(9)， 热源产生的热量分布在 盖板上， 通过基板内流道结构中的冷却液循环流动而降温， 其特征在于： 散热器的流道结构 由横截面为矩形和特斯拉阀结构的流道组成， 矩形流道和特斯拉阀式流道的宽度和深度相 同。 2.根据权利要求1所述的特斯拉阀式微通道散热器， 其特征在于靠近入口处(7)的微通 道中的特斯拉阀结构与靠 近出口处的微 通道中的特斯拉阀结构方向相反。 3.根据权利要求1所述的特斯拉阀式微通道散热器， 其特征在于靠近入口处(8)的微通 道中的特斯拉阀结构数量少于 靠近出口处的微 通道中的特斯拉阀结构数量。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115397195 A 2一种热源面温度均匀的特斯拉 阀式微通道散热器 技术领域 [0001]本发明属于微通道散热技术领域， 具体涉及一种热源面温度均匀的特斯拉阀式微 通道散热器， 可用于提高微电子产品中微 通道散热器热源表面温度的均匀性。 背景技术 [0002]21世纪以来， 随着高新技术领域的高速发展， 电子器件和设备的集成化、 小型化和 发热功率逐年提高， 一方面运行性能不断提升， 另一方面消 耗的功率和单位面积产生的热 量也在不断增加。 在电子产品中嵌入微通道， 可以构成微通道散热器， 这种散热器具有很好 的散热能力， 但是存在温度分布不均匀的问题， 尤其是出入口呈对角分布的平行微通道散 热器， 如图1， 其流道结构由两个主槽和一排平行直通道构成， 冷却液从入口主槽分配给各 个通道的冷却液流量不相等， 造成通道内的流速不相等， 从而使微通道散热器热源面温度 分布不均匀， 这将直接影响电子产品的性能、 工作的稳定性和使用寿命， 尤其是在高功 率电 子产品中这个问题更突出， 亟需解决。 发明内容 [0003]本发明的目的是针对现有出入口呈对角分布的平行微通道散热器存在散热不均 匀的缺陷， 提供一种新型的微通道散热结构， 改善流量分配不均的问题， 提高热源面温度分 布的均匀性， 进 而保证电子产品的性能、 工作稳定性和使用寿命。 [0004]为达到上述目的， 本发明所设计的热源面温度均匀的特斯拉阀式微通道散热器， 主要由基板和盖板组成， 基板内设有流道结构， 流道结构包括入口主槽， 出口主槽和平行通 道， 该出口主槽和入口主槽均采用长方体结构； 盖板上设有进 水口和出水口， 同时加载有 热 源， 热源产生的热量分布在盖板上， 通过基板内流道结构中的冷却液循环流动而降温。 其特 征在于： 入口主槽的深度、 长度与出口主槽的深度、 长度相等， 且截面为矩形状； 平行通道是 由平行排列的数个横截面为矩形的通道和数个横截面为特斯拉阀结构的通道组成； 横截面 为特斯拉阀结构的平行通道， 靠近入口处与靠近出 口处的特斯拉阀结构方向相反； 靠近入 口处的通道中特斯拉阀结构数量要远少于 靠近出口处的通道中的特斯拉阀结构的数量。 [0005]所述盖板固定在基板上， 使流道结构在基板和盖 板之间形成密闭的通道。 [0006]所述的平行通道的两端分别与 入口槽和出口槽相连接， 且平行通道内的冷却液流 动方向与入口主槽和出口主槽的长度方向垂直。 [0007]本发明与传统的出入口呈对角 分布的平行微通道散热器相比， 具有以下特征特 点： 对于传统的出入口呈对角分布的平行微通道散热器， 由于冷却液在垂直流入入口槽时， 流体与入口槽表面发生碰撞， 迫使流体流入靠近入口处的平行流道， 而远离入口处靠近出 口处的平行流道中流体流量较小， 导致整个散热器的热源面温度分布不均匀， 容易在热源 表面出现多个热点的情况。 本发明对传统横截面为矩形 的平行流道进行了改进， 在靠近散 热器冷却液入口处的平行流道中设置反向的特斯拉阀结构， 靠近出口处的平行流道中设置 正向的特斯拉阀结构， 并且靠近出口处流道中特斯拉阀结构的数量多于靠近入口处流道中说　明　书 1/2 页 3 CN 115397195 A 3