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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222301188.6 (22)申请日 2022.08.31 (73)专利权人 山东深东华计量检测技 术有限公 司 地址 266000 山东省青岛市城阳区艳阳路 107号 (72)发明人 牛晓敏  (74)专利代理 机构 徐州君撷知识产权代理有限 公司 32673 专利代理师 孙子文 (51)Int.Cl. H05K 5/02(2006.01) H05K 7/14(2006.01) (54)实用新型名称 一种可移动式垂直 位移装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种可移动式垂直位移 装置, 涉及到半导体技术领域, 包括壳体和位移 本体, 所述壳体的两侧外壁均开设有安装口, 所 述安装口的内部固定连接有安装柱, 两个所述安 装柱上滑动连接有同一个齿板, 所述壳体的内部 滑动连接有移动板, 所述移动板的顶部固定连接 有连接板, 所述移动板的两侧均固定连接有安装 架, 所述安装架上转动套接有齿轮, 所述壳体的 两侧壁均插接有永电磁铁, 所述壳体的两侧壁均 固定连接有电流控制器, 所述移动板的内部插接 有磁铁。 本实用新型结构合理, 通过永电磁铁的 设置, 实现对其进行水平移动, 从而使其可满足 不同场合和状态的使用需求, 简化其整体的调节 移动步骤, 使其整体的使用更加便捷。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 218103829 U 2022.12.20 CN 218103829 U 1.一种可移动式垂直位移装置, 包括壳体(1)和位移本体(7), 其特征在于: 所述壳体 (1)的两侧外壁均开设有安装口(2), 所述安装口(2)的内部固定连接有安装柱(3), 两个所 述安装柱(3)上滑动连接有同一个齿板(4), 所述壳体(1)的内部滑动连接有移动板(5), 所 述移动板(5)的顶部固定连接有 连接板(6), 所述连接板(6)的顶部和位移本体(7)的底部相 抵触, 所述移动板(5)的两侧均固定连接有安装架(8), 所述安装架(8)上转动套接有齿轮 (9), 所述壳体(1)的两侧壁均插接有永电磁铁(10), 所述壳体(1)的两侧壁均固定连接有电 流控制器(11), 所述移动板(5)的内部插接有磁铁(12), 所述移动板(5)的内部设置有 固定 组件(13), 所述固定组件(13)用于限定磁铁(12)的位置 。 2.根据权利要求1所述的一种可移动式垂直位移装置, 其特征在于: 所述固定组件(13) 包括开设在移动板(5)顶部的两个放置槽, 所述放置槽的内部滑动连接有两个固定板 (131), 所述固定板(131)的侧壁和放置槽的两侧均固定连接有若干个硅胶垫(132), 两个所 述硅胶垫(132)相对一侧固定连接有同一个压缩弹簧(13 3)。 3.根据权利要求2所述的一种可移动式垂直位移装置, 其特征在于: 所述磁铁(12)滑动 连接在两个固定 板(131)位置之间。 4.根据权利要求1所述的一种可移动式垂直位移装置, 其特征在于: 所述磁铁(12)的顶 部固定连接有控制握把(14), 所述控制握把(14)的顶部贯 穿移动板(5)的顶部 。 5.根据权利要求1所述的一种可移动式垂直位移装置, 其特征在于: 所述壳体(1)的内 部开设有导向槽(16), 所述导向槽(16)的内部滑动 连接有导向块(17), 所述导向块(17)的 顶部和移动板(5)的底部相抵触。 6.根据权利要求1所述的一种可移动式垂直位移装置, 其特征在于: 所述壳体(1)的两 侧外壁均固定连接有L形板(18), 所述L形板(18)的顶部两侧均螺纹连接有螺栓, 所述壳体 (1)的底部固定连接有防滑垫(19)。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 218103829 U 2一种可移动式垂直位移装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体技 术领域, 特别涉及一种可移动式垂直 位移装置 。 背景技术 [0002]半导体产业属于国民经济 的基础性支撑产业, 无论是从科技还是经济 的角度看, 半导体的重要性都是非常巨大且难以替代的。 根据Semi数据披露, 半导体主要由四个组成 部分组成: 集成电路(约占81%), 光电器件(约占10%), 分立器件(约占6%), 传感器(约占 3%), 因此通常将半导体和集成电路等 价。 [0003]半导体元器件在使用前需进行不同环境的和条件下的测试, 而在真空环境中对其 进行各项性能测试是航空航 天领域所做的一项基本的实验测试。 在陆地上模拟太空真空状 态, 其要求之高可想而知, 仅真空度一项就需1x10 ‑7pa, 因此对 试验舱室的密封性和容积均 有严格要求。 而在其中的运动控制 部分由于空间的限制, 在设计时往往会遇到选型困难或 参数不达标现象。 这 就需要一种全新的设计方法解决该问题。 [0004]例如公开号为CN214795082U的中国专利公开了一种基于真空内部移动升降的补 偿位移装置, 真空装置包括外壳, 外壳设有真空腔, 基于 真空内部移动升降的补偿位移装置 包括: 托板, 设于真空腔内; 导杆, 导杆的一端穿设外壳进入真空腔, 并与托板固定连接; 波 纹管, 波纹管的变形方向为上下方向; 连接板, 连接板的一端与导杆远离托板的一端固定连 接, 另一端与波纹管的顶部连接; 驱动机构, 用于驱动连接板上下移动, 以驱动导杆上下移 动, 带动托板在真空腔内上下移动。 通过托板、 导杆、 波纹管、 连接板和驱动机构之间的配 合, 将真空环境中需要实现的升降运动引申到大气环境中, 有效的解决了真空腔体中四维 平台Z轴的速度和位移受限制的问题, 结构 简单, 成本较低。 [0005]上述位移装置虽然具有解决真空腔体中四维平台Z轴的速度和位移的效果, 但是, 在其进行使用期间, 只能在安装位置进 行垂直方向的使用, 而在部 分场合的实际使用期间, 常人工手动对其位置进行拆卸, 从而将其移动至新的位置进行使用, 整体拆卸调节安装步 骤, 较为繁琐, 且需要投入一定的时间和精力, 不利于其整体的调节处理, 因此, 本申请提供 了一种可移动式垂直 位移装置来满足需求。 实用新型内容 [0006]本申请的目的在于提供一种可移动式垂直位移装置, 通过永电磁铁 的设置, 实现 对其进行水平移动, 从而使其可满足不同场合和状态的使用需求, 简化其整体的调节移动 步骤, 使其整体的使用更加便捷。 [0007]为实现上述目的, 本申请提供如下技术方案: 一种可移动式垂直位移装置, 包括壳 体和位移本体, 所述壳体的两侧外壁均开设有安装口, 所述安装口的内部固定连接有安装 柱, 两个所述安装柱上滑动连接有同一个齿板, 所述壳体的内部滑动连接有移动板, 所述移 动板的顶部固定连接有连接板, 所述连接板的顶部和 位移本体的底部相 抵触, 所述移动板 的两侧均固定连接有安装架, 所述安装架上转动套接有齿轮, 所述壳体的两侧 壁均插接有说 明 书 1/4 页 3 CN 218103829 U 3

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