(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221690314.5 (22)申请日 2022.07.04 (73)专利权人 鲁欧智造 （山 东） 高端装备科技有 限公司 地址 261021 山 东省潍坊市潍城区经济开 发区工业 一街东首195号 (72)发明人 赵海涛　罗亚非　 (74)专利代理 机构 山东华君知识产权代理有限 公司 373 00 专利代理师 李艳 (51)Int.Cl. G01N 3/60(2006.01) G01N 3/02(2006.01) G01N 3/04(2006.01) G01M 11/00(2006.01)G01R 31/00(2006.01) G01R 1/02(2006.01) G01R 1/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种光电子 器件测试设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种光电子器件测试设 备， 属于光电子器件测试技术领域， 包括测试箱 体， 测试箱体内部有上下设置的高温区和低温 区， 高温区与低温区之间设有隔板， 隔板上开设 有多个呈圆周分布的贯穿孔； 低温区内设有多个 呈圆周分布的托板， 托板上方有与其相对设置的 盖板， 托板与盖板之间通过支撑杆进行固定连 接， 支撑杆沿竖直方向穿设在贯穿孔内； 托板和 盖板的外部均设有台阶部， 台阶部上套设有密封 圈； 托板底部均与升降杆固定连接， 升降杆呈圆 周分布在固定杆的周围。 本实用新型提供的测试 设备， 可以实现高温区与低温区之间的有效密 封， 降低待测样品在转换过程中热能和冷能的损 耗， 可以用于同步测试多组样品， 提高测试的效 率。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217084557 U 2022.07.29 CN 217084557 U 1.一种光电子器件测试设备， 包括测试箱体 （1） ， 测试箱体 （1） 内部有上下设置的高温 区 （2） 和低温区 （3） ， 高温区 （2） 与低温区 （3） 之间设有隔板 （4） ， 其特征在于： 所述隔板 （4） 上 开设有多个呈圆周分布的贯 穿孔 （9） ， 贯 穿孔 （9） 由两个呈 上下对称设置的圆台孔组成； 所述低温区 （3） 内设有多个呈圆周分布的托板 （5） ， 托板 （5） 上方有与其相对设置的盖 板 （7） ， 托板 （5） 与盖板 （7） 之间通过支撑杆 （8） 进行固定连接， 支撑杆 （8） 沿竖直方向穿设在 贯穿孔 （9） 内； 所述托板 （5） 和盖板 （7） 的外部均设有台阶部， 托板 （5） 的台阶部上套设有下 密封圈 （10） ， 盖 板 （7） 的台阶部上套设有上密封圈 （1 1） ； 所述托板 （5） 底部均与升降杆 （12） 固定连接， 升降杆 （12） 呈圆周分布在固定杆 （13） 的 周围， 升降杆 （12） 和固定杆 （13） 之间有平行设置的上连杆 （14） 和下连杆 （15） ， 上连杆 （14） 和下连杆 （15） 之间设有升降气缸 （16） 。 2.如权利要求1所述的一种光电子器件测试设备， 其特征在于： 两个圆台孔的小径端相 连接， 两个圆台孔的大径端分布在隔板 （4） 的表面以及底面上。 3.如权利要求1所述的一种光电子器件测试设备， 其特征在于： 所述支撑杆 （8） 的数量 为多个， 分布在托板 （5） 和盖 板 （7） 的边 缘位置。 4.如权利 要求1所述的一种光电子器件测试设备， 其特征在于： 所述托板 （5） 与盖板 （7） 之间设有用于放置待测试的光电子器件 （6） 的空间。 5.如权利要求1所述的一种光电子器件测试设备， 其特征在于： 所述上密封圈 （11） 和下 密封圈 （10） 呈对称设置； 所述上密封圈 （11） 和下密封圈 （10） 均为三角型密封圈， 截面呈现 三角形状。 6.如权利要求1所述的一种光电子器件测试设备， 其特征在于： 所述固定杆 （13） 沿竖直 方向固接于低温区 （3） 内， 固定杆 （13） 底端与低温区 （3） 底部的壁板固定连接， 固定杆 （13） 顶端与隔板 （4） 固定连接 。 7.如权利要求1所述的一种光电子器件测试设备， 其特征在于： 所述上连杆 （14） 一端与 升降杆 （12） 铰接， 上连杆 （14） 另一端与固定杆 （13） 铰接； 所述下连杆 （15） 一端与升降杆 （12） 铰接， 下 连杆 （15） 另一端与固定杆 （13） 铰接 。 8.如权利要求1所述的一种光电子器件测试设备， 其特征在于： 所述升降气缸 （16） 的尾 部与固定杆 （13） 铰接连接， 升降气缸 （16） 的头 部与下连杆 （15） 的一端部上 方铰接连接 。 9.如权利要求1所述的一种光电子器件测试设备， 其特征在于： 所述托板 （5） 与升降杆 （12） 同轴设置 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217084557 U 2一种光电子器件测试设 备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及一种光电子器件测试设备， 属于光电子器件测试技 术领域。 背景技术 [0002]光电子器件是光电子技术的关键和核心部件， 是现代光电技术与微电子技术的前 沿研究领域， 是信息技 术的重要组成部分。 光电子器件是根据光电效应制作的器件。 [0003]光电子器件在制作过程中需要进行机械完整性试验， 试验项 目包括机械冲击、 变 频振动、 热冲击、 插拔耐久性、 存储试验、 温度循环、 恒定湿热以及高温寿命等， 其中的温度 循环试验是为了确定光电子器件承受极高温度和极低温度的能力， 以及极高温度和极低温 度交替变化对光电子器件的影响。 [0004]温度循环试验需要用到冷热冲击测试设备对待测样品进行冷热交替测试， 现有的 冷热冲击测试设备由制冷系统、 加热系统、 控制系统、 空气循环系统、 温度传感器等组成。 工 作时通过控制吊篮的升降， 达到待测样品在高温区与低温区之间的快速转换， 从而实现冷 热循环交替。 [0005]通过吊篮将待测样品在高温区与低温 区之间转换， 难以保证高温 区与低温 区之间 的密封， 高温区的热能易进入低温区， 低 温区的冷能易进入高温区， 热能和冷能会有损耗， 使得加热系统、 制冷系统的功 率较大， 导致整体设备的耗能较大； 另外通过吊篮将待测样品 在高温区与低温区之间转换， 每次只能测试一组样品， 测试的效率偏低。 [0006]综上可知， 现有技 术在实际使用上显然存在不便与缺陷， 所以有必要加以改进。 实用新型内容 [0007]本实用新型针对背景技术中的不足， 提供一种光电子器件测试设备， 可以实现高 温区与低 温区之间的有效密封， 降低待测样品在转换过程中热能和冷能的损耗， 可以用于 同步测试多组样品， 提高测试的效率。 [0008]为解决以上技 术问题， 本实用新型采用以下技 术方案： [0009]一种光电子器件测试设备， 包括测试箱体， 测试箱体内部有上下设置 的高温区和 低温区， 高温区与低温区之 间设有隔板， 所述隔板上开设有多个呈圆周分布的贯穿孔， 贯穿 孔由两个呈 上下对称设置的圆台孔组成； [0010]所述低温区内设有多个呈圆周分布的托板， 托板上方有与其相对设置 的盖板， 托 板与盖板之间通过支撑杆进行固定连接， 支撑杆沿竖直方向穿设在贯穿孔内； 所述托板和 盖板的外部均设有台阶部， 托板的台阶部上套设有下密封圈， 盖板的台阶部上套设有上密 封圈； [0011]所述托板底部均与升降杆固定连接， 升降杆呈圆周分布在固定杆的周围， 升降杆 和固定杆之间有平行设置的上 连杆和下连杆， 上连杆和下连杆之间设有升降气缸。 [0012]一种优化方案， 两个圆台孔的小径端相连接， 两个圆台孔的大径端分布在隔板的 表面以及底面上。说　明　书 1/3 页 3 CN 217084557 U 3