(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202211089264.X (22)申请日 2022.09.07 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 115190247 A (43)申请公布日 2022.10.14 (73)专利权人 国仪量子 （合肥） 技 术有限公司 地址 230088 安徽省合肥市高新区创新大 道2800号创新产业园二期E2楼A区1-4 层 (72)发明人 雷静　刘永磊　 (74)专利代理 机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通 合伙) 11201 专利代理师 于腾昊 (51)Int.Cl. H04N 5/232(2006.01)H04N 5/14(2006.01) H01J 37/26(2006.01) H01J 37/28(2006.01) (56)对比文件 CN 103152520 A,2013.0 6.12 CN 103873773 A,2014.0 6.18 US 20182 99647 A1,2018.10.18 TW 201617676 A,2016.0 5.16 US 2019227298 A1,2019.07.25 审查员 姜孜锜 (54)发明名称 消像散方法、 消像散装置、 电子设备和存储 介质 (57)摘要 本申请公开了一种消像散方法、 消像散装 置、 电子设备和存储介质。 消像散方法包括获取 当前图像； 计算当前图像的离焦程度； 基于离焦 程度和电子显微镜的成像镜头的当前工作距离， 在成像镜头步进移动时计算确定成像镜头的准 焦距离； 在成像镜头处于准焦距离时， 获取准焦 图像； 计算准焦图像的清晰度； 根据准焦图像的 清晰度， 调整像散值以使像散值达到最小阈值。 如此， 通过获取当前图像计算离焦程度， 根据离 焦程度调节电子显微镜的成像镜头至准焦距离 以获得准焦图像， 然后基于准焦图像的清晰度来 调整像散值， 以实现对电子显微镜的图像的消像 散工作。 这样， 可以不局限当前图像的聚焦状态， 消像散方法的应用范围较广， 消像散的效率也较 高。 权利要求书2页 说明书11页 附图5页 CN 115190247 B 2022.12.13 CN 115190247 B 1.一种消像散方法， 用于电子 显微镜， 其特 征在于， 所述消像散方法包括： 获取当前图像； 计算所述当前图像的离焦程度； 基于所述离焦程度和所述电子显微镜的成像镜头的当前工作距离， 在所述成像镜头步 进移动时计算确定所述成像镜 头的准焦距离； 在所述成像镜 头处于所述 准焦距离时， 获取准焦图像； 计算所述 准焦图像的清晰度； 根据所述 准焦图像的清晰度， 调整像散值以使所述像散值达 到最小阈值； 所述计算所述当前图像的离焦程度， 包括： 获取所述电子 显微镜采集的常规样品图像； 将所述常规样品图像进行傅里叶变换后， 筛 选所述常规样品图像后形成拟合椭圆； 基于筛选后的所述常规样品图像的像素总点数、 所述拟合椭圆的长轴像素点数和所述 拟合椭圆的短轴像素点数确定所述当前图像的离焦程度； 所述根据所述 准焦图像的清晰度， 调整像散值以使所述像散值达 到最小阈值， 包括： 获取像散的初始步进值； 以所述准焦图像的所述清晰度作为判断基准， 采用迭代爬山法搜索所述像散的步进值 达到第二停止阈值时， 完成所述像散值的调整。 2.根据权利要求1所述的消像散方法， 其特征在于， 所述当前图像的离焦程度采用以下 条件式评价： ； 其中， Fwd为评价函数， n为筛选后的所述常规样品图像的像素总点数， a为所述拟合椭 圆的长轴像素点数， b为所述拟合椭圆的短轴像素点数， Fwd越小， 离焦程度越大。 3.根据权利要求1所述的消像散方法， 其特征在于， 所述基于所述离焦程度和所述电子 显微镜的成像镜头的当前工作距离， 在所述成像镜头步进移动时计算确定所述成像镜头的 准焦距离， 包括： 根据所述当前图像的放大倍数和所述当前工作距离， 计算成像景深； 根据所述成像景深计算所述成像镜 头移动的初始步进值； 以所述当前图像的所述离焦程度作为判断基准， 采用迭代爬山法搜索所述成像镜头移 动的步进值达 到第一停止阈值时， 将所述成像镜 头的上一次的工作距离作为 准焦距离 。 4.根据权利要求1所述的消像散方法， 其特征在于， 所述计算所述准焦图像的清晰度， 包括： 将所述准焦图像划分为 N*N个图像子块， N 为大于1的自然数； 计算每个图像子块的方差σi； 计算所有图像子块的方差σi的均值M和方差σ； 根据所有图像子块的方差σi的均值M和方差σ 确定所述 准焦图像的清晰度。 5.根据权利要求4所述的消像散方法， 其特征在于， 所述准焦图像的清晰度采用以下条 件式计算：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115190247 B 2； 其中， F为所述准焦图像的清晰度值， M为所有图像子块的方差的均值， σ 为所有图像子 块的方差σi的方差。 6.一种消像散装置， 其特 征在于， 所述消像散装置包括： 第一获取模块， 用于获取当前图像； 第一计算模块， 用于计算所述当前图像的离焦程度； 及用于获取电子显微镜采集的常 规样品图像； 及用于将所述常规样品图像进行傅里叶变换后， 筛选所述常规样品图像后形 成拟合椭圆； 以及用于基于筛选后的所述常规样品图像的像素总点数、 所述拟合椭圆的长 轴像素点数和所述拟合椭圆的短轴像素点数确定所述当前图像的离焦程度； 第二计算模块， 用于基于所述离焦程度和电子显微镜的成像镜头的当前工作距离， 在 所述成像镜 头步进移动时计算确定所述成像镜 头的准焦距离； 第二获取模块， 用于在所述成像镜 头处于所述 准焦距离时， 获取准焦图像； 第三计算模块， 用于计算所述 准焦图像的清晰度； 调整模块， 用于根据所述准焦图像的清晰度， 调整像散值以使所述像散值达到最小阈 值； 及用于获取像散的初始 步进值； 以及用于以所述准焦图像的所述清晰度作为判断基准， 采用迭代爬山法搜索所述像散的步进值达 到第二停止阈值时， 完成所述像散值的调整。 7.一种电子设备， 其特征在于， 包括存储器和处理器， 所述存储器用于存储计算机程 序， 所述处 理器用于执 行所述计算机程序以实现如权利要求1 ‑5任一项所述的消像散方法。 8.一种计算机可执行指令的非易失性计算机可读存储介质， 其特征在于， 当所述计算 机可执行指令被一个或多个处理器执行时， 使得所述处理器执行权利要求1 ‑5中任一项所 述的消像散方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115190247 B 3