(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210277142.7 (22)申请日 2022.03.21 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 230000 安徽省合肥市经济技 术开发 区空港工业园兴业大道38 8号 (72)发明人 徐莹　郑悦文　 (74)专利代理 机构 北京同达信恒知识产权代理 有限公司 1 1291 专利代理师 王娜 (51)Int.Cl. G06F 21/62(2013.01) G06F 16/23(2019.01) G06Q 50/04(2012.01) (54)发明名称 晶圆加工生产数据管 理方法及 装置、 电子设 备 (57)摘要 本公开公开了一种晶圆加工生产数据管理 方法及装置、 电子设备， 该方法包括： 获取晶圆加 工生产过程中的生产数据， 构建数据库； 响应于 检索所述数据库的检索指令， 确定所述生产数据 中超过固定时间内未被更新的闲置数据； 确定与 所述闲置 数据相关联的关联数据， 将所述闲置数 据以及所述 关联数据发送给指定账号； 根据所述 指定账号的指示， 管理所述闲置数据以及所述关 联数据。 以此解决 目前对于系统中的闲置数据量 超过系统的最大容量时， 管 理员会整理出所述闲 置数据交由用户管理， 操作方法具有被动性， 在 管理过程中， 大批量的删除操作也可能会造成系 统的不稳定， 易造成误删的问题。 权利要求书2页 说明书11页 附图3页 CN 114626096 A 2022.06.14 CN 114626096 A 1.一种晶圆加工生产数据管理方法， 其特 征在于， 所述方法包括： 获取晶圆加工生产过程中的生产数据， 构建数据库； 响应于检索所述数据库的检索指令， 确定所述生产 数据中超过固定时间内未被更新的 闲置数据； 确定与所述闲置数据相关联的关联数据， 将所述闲置数据以及所述关联数据发送给指 定账号； 根据所述指定账号的指示， 管理所述闲置数据以及所述关联 数据； 其中， 关联数据为产生所述闲置数据的生产路径上的除所述闲置数据以外的其他数 据。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 获取晶圆加工生产过程中的生产数据， 构 建数据库， 包括： 以预设数据汇总周期定期汇总晶圆加工生产过程中的生产 数据， 记录每个晶圆最后一 次执行加工生产动作的生产数据； 根据每个晶圆最后一次执 行加工生产动作的生产数据， 构建所述数据库。 3.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 汇总晶圆加工生产过程中的生产数据， 记 录每个晶圆最后一次执 行加工生产动作的生产数据， 包括： 获取当前 数据汇总周期内晶圆加工生产过程中的当前生产数据； 对当前生产数据进行汇总， 保留每个晶圆最后一次执行加工生产动作的第一生产数 据， 并构建第一临时数据库； 将第一临时数据库与 所述数据库内的历史生产数据进行汇总计算， 确定每个晶圆在加 工生产过程中最后一次执 行加工生产动作的生产数据。 4.根据权利要求3所述的方法， 其特征在于， 所述构建数据库包括： 当所述第一临时数 据库中存在和所述历史生产数据相同的第一关键字， 则将更新时间最晚的所述第一关键字 对应晶圆的当前生产数据替换 所述数据库中的历史生产数据； 当所述第一临时数据库中存在所述历史生产 数据中未出现的第 二关键字， 则将所述第 二关键字对应晶圆的当前生产数据新增至所述数据库中。 5.根据权利要求4所述的方法， 其特征在于， 所述第一关键字包括晶圆标识号， 所述第 二关键字包括晶圆标识号。 6.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述生产数据包括晶圆产品名称信息、 晶 圆批次信息、 晶圆所在生产路径信息、 晶圆执行动作信息、 晶圆执行动作时间信息中的任意 一种或上述任意的组合。 7.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述关联数据包括晶圆生产路径、 晶圆生 产路径的建立时间、 晶圆生产路径的申请单号中的任意 一种或上述任意的组合。 8.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 根据所述指定账号的指示， 管理所述闲置 数据以及所述关联 数据， 包括： 将所述指定账号的指示、 所述闲置数据和所述关联 数据发送至二级指定账号； 根据所述指定二级账号发送的管理指令， 管理所述数据库中闲置数据以及所述关联数 据。 9.根据权利要求8所述的方法， 其特征在于， 根据所述指定账号的指示， 管理所述闲置权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114626096 A 2数据以及所述关联 数据， 包括： 收到所述指定账号的确认删除指令时， 将所述删除指令、 所述闲置数据和所述关联数 据发送至二级指定账号； 根据所述二级指定账号发送的确 认删除的指令， 将所述数据库中闲置数据以及所述关 联数据删除。 10.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于， 还 包括： 根据预设的管理时间 间隔， 确定 到达所述管理时间 间隔， 触发产生闲置数据检索指令 。 11.一种晶圆加工生产数据管理装置， 其特 征在于， 该装置包括： 构建模块， 用于获取晶圆加工生产过程中的生产数据， 构建数据库； 检索模块， 用于响应于检索所述数据库的检索指令， 确定所述生产数据中超过固定时 间内未被更新的闲置数据； 确定模块， 用于确定与所述闲置数据相关联的关联数据， 将所述闲置数据以及所述关 联数据发送给指定账号； 管理模块， 用于根据所述指定账号的指示， 管理所述闲置数据以及所述关联 数据； 其中， 关联数据为产生所述闲置数据的生产路径上的除所述闲置数据以外的其他数 据。 12.一种电子设备， 其特征在于， 包括至少一个处理器； 以及与所述至少一个处理器通 信连接的存储器； 其中， 所述存储器存储有 可被所述至少一个处理器执行的指 令， 所述指 令 被所述至少一个处理器执行， 以使 所述至少一个处理器能够执行如权利要求 1‑10中任一项 所述的方法。 13.一种计算机存储介质， 其特征在于， 所述计算机存储介质存储有计算机程序， 所述 计算机程序用于使计算机执 行如权利要求1 ‑10中任一项所述的方法。 14.一种计算机程序产品， 其特征在于， 包括计算机程序指令， 其特征在于， 所述计算机 程序指令被处 理器执行时实现权利要求1 ‑10任一项所述的方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114626096 A 3