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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211001382.0 (22)申请日 2022.08.19 (71)申请人 深圳市海清数字技 术有限公司 地址 518106 广东省深圳市光明区公明街 道上村社区明环东路松白工业园B区 厂房A2栋107 (72)发明人 周波 苗瑞 段炼 邹小刚  莫少锋  (74)专利代理 机构 北京同立钧成知识产权代理 有限公司 1 1205 专利代理师 李兴福 刘芳 (51)Int.Cl. H04N 5/232(2006.01) H04N 5/225(2006.01) (54)发明名称 表面灰尘检测设备的对焦方法、 装置、 设备 及存储介质 (57)摘要 本申请属于设备调试领域, 具体涉及一种表 面灰尘检测设备的对焦方法、 装置、 设备及存储 介质。 本申请的表面灰尘检测设备的对焦方法包 括: 确定待检测物体表面到显微镜的物镜表面的 第一距离; 控制摄像机对多个按照预设规则排列 的闪烁部件进行图像采集, 得到预设数量的图 像, 预设数量的图像包含任一闪烁部件单独闪烁 时的图像; 根据预设数量的图像中每个图像的像 素值, 在多个闪烁部件中确定目标闪烁部件; 确 定目标闪烁部件的水平面与物镜表面的第二距 离; 根据第一距离和第二距离, 控制调焦电机对 物镜进行对焦, 以通过对焦后的显微镜检测待检 测物体表 面的灰尘。 从而实现提高对表面灰尘进 行检测的效率和精确度的目的。 权利要求书2页 说明书9页 附图4页 CN 115499582 A 2022.12.20 CN 115499582 A 1.一种表面灰尘检测设备的对焦方法, 其特征在于, 应用于所述表面灰尘检测设备中 的摄像机, 所述表面灰尘检测设备还包括底 座、 支架、 显微镜和调焦电机, 其中, 所述支架设 置在所述底座上, 所述摄像机和所述显微镜设置在所述支架上, 所述调焦电机与所述显微 镜连接, 用于对所述显微镜进行对焦, 所述对焦方法包括: 确定待检测物体表面到所述显微镜的物镜表面的第一距离; 控制所述摄像机对多个按照预设规则排列的闪烁部件进行图像采集, 得到预设数量的 图像, 所述预设数量的图像包 含任一所述闪烁部件单独闪烁时的图像; 根据所述预设数量的图像中每个图像的像素值, 在多个闪烁部件中确定目标闪烁部 件; 确定所述目标闪烁部件的水平面与所述物镜表面的第二距离; 根据所述第一距离和所述第二距离, 控制所述调焦电机对所述物镜进行对焦, 以通过 对焦后的显微镜检测所述待检测物体表面的灰尘。 2.根据权利要求1所述的对焦方法, 其特征在于, 所述控制所述摄像机对多个按照预设 规则排列的闪烁部件进行图像采集, 得到预设数量的图像, 包括: 按照目标时间间隔和预设顺序, 控制多个所述闪烁部件进行闪烁, 并控制所述摄像机 进行图像采集, 得到所述预设数量的图像。 3.根据权利要求2所述的对焦方法, 其特征在于, 所述按照目标时间间隔和预设顺序, 控制多个所述闪烁部件进行闪烁之前, 还 包括: 确定对多个所述闪烁部件进行图像采集的采集速率; 根据所述采集速率, 确定每 个图像的采集时间; 将所述采集时间确定为所述目标时间 间隔。 4.根据权利要求1至3任一项所述的对焦方法, 其特征在于, 所述根据所述预设数量的 图像中每 个图像的像素值, 在多个闪烁部件中确定目标闪烁部件, 包括: 针对所述预设数量的图像中的每一图像, 对所述图像进行二值化处理, 得到所述图像 的像素值; 确定所述预设数量的图像中对应 像素值最小的图像为目标图像; 在多个闪烁部件中, 确定得到所述目标图像时 闪烁的闪烁部件为所述目标闪烁部件。 5.根据权利要求1至3任一项所述的对焦方法, 其特征在于, 所述根据所述第一距离和 所述第二距离, 控制所述调焦电机对所述物镜进行对焦, 包括: 根据所述第一距离和所述第二距离, 确定所述物镜的焦距的调整距离和调整方向; 基于所述调整距离和所述调整方向, 对所述物镜进行对焦。 6.根据权利要求5所述的对焦方法, 其特征在于, 所述根据 所述第一距离和所述第 二距 离, 确定所述物镜的焦距的调整距离和调整方向, 包括: 基于所述第一距离和所述第二距离的差值, 确定所述调整距离; 基于所述差值的正负, 确定所述调整方向。 7.根据权利要求1至3任一项所述的对焦方法, 其特征在于, 所述表面灰尘检测设备还 包括激光源和格栅单元, 所述确定待检测物体表面到所述显微镜的物镜表面的第一距离, 包括: 控制所述激光源向所述待检测物体表面发射第一激光束;权 利 要 求 书 1/2 页 2 CN 115499582 A 2确定格栅单元接收第 二激光束的目标接收位置, 所述第 二激光束为所述待检测物体表 面对所述第一激光束 进行反射后的激光束; 基于接收位置与距离的映射关系, 确定所述第一距离为所述目标接收位置对应的距 离。 8.根据权利要求1至3任一项所述的对焦方法, 其特征在于, 所述表面灰尘检测设备还 包括显示屏, 还 包括: 将所述图像传输 至所述显示屏, 以显示所述图像。 9.一种表面灰尘检测设备的对焦装置, 其特征在于, 应用于所述表面灰尘检测设备中 的摄像机, 所述表面灰尘检测设备还包括底 座、 支架、 显微镜和调焦电机, 其中, 所述支架设 置在所述底座上, 所述摄像机和所述显微镜设置在所述支架上, 所述调焦电机与所述显微 镜连接, 用于对所述显微镜进行对焦, 所述对焦装置包括: 第一确定模块, 用于确定待检测物体表面到所述显微镜的物镜表面的第一距离; 控制模块, 用于控制所述摄像机对多个按照预设规则排列的闪烁部件进行图像采集, 得到预设数量的图像, 所述预设数量的图像包 含任一所述闪烁部件单独闪烁时的图像; 第二确定模块, 用于根据所述预设数量的图像中每个图像的像素值, 在多个闪烁部件 中确定目标闪烁部件; 第三确定模块, 用于确定所述目标闪烁部件的水平面与所述物镜表面的第二距离; 对焦模块, 用于根据所述第一距离和所述第二距离, 控制所述调焦电机对所述物镜进 行对焦, 以通过对焦后的显微镜检测所述待检测物体表面的灰尘。 10.一种表面灰尘检测设备, 其特 征在于, 包括: 底座、 支架、 显微镜、 调焦电机、 摄像机、 激光源、 格栅单元、 闪烁部件和显示屏, 其中, 所 述支架、 所述格栅单元和所述闪烁部件均设置在所述底座上, 所述摄像机、 所述显微镜和所 述显示屏设置在所述支架上, 所述激光源设置在所述闪烁部件上, 所述调焦电机与所述显 微镜连接; 所述显微镜用于对待检测物体进行表面灰尘检测; 所述调焦电机用于对所述显微镜进行对焦; 所述激光源用于向所述待检测物体表面发射第一激光束; 所述格栅单元用于接收所述待检测物体表面对所述第一激光束进行反射后的第二激 光束; 所述显示屏用于 显示采集到的所述闪烁部件闪烁时的图像; 所述摄像机用于执 行如权利要求1至8任一项所述的表面灰尘检测设备的对焦方法。 11.一种计算机可读存储介质, 所述计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令, 其 特征在于, 所述计算机执行指 令被处理器执行时用于实现权利要求 1至8任一项 所述的表 面 灰尘检测设备的对焦方法。权 利 要 求 书 2/2 页 3 CN 115499582 A 3

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专利 表面灰尘检测设备的对焦方法、装置、设备及存储介质 第 1 页 专利 表面灰尘检测设备的对焦方法、装置、设备及存储介质 第 2 页 专利 表面灰尘检测设备的对焦方法、装置、设备及存储介质 第 3 页
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