(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210263868.5 (22)申请日 2022.03.17 (71)申请人 安徽光智科技有限公司 地址 239064 安徽省滁州市琅琊经济开发 区南京路10 0号 (72)发明人 苏湛　狄聚青　李康　 (74)专利代理 机构 北京天盾知识产权代理有限 公司 11421 专利代理师 肖小龙 (51)Int.Cl. B08B 3/08(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 3/12(2006.01) F26B 21/00(2006.01) B24B 9/16(2006.01) (54)发明名称 砷化铟多晶 的清洗方法 (57)摘要 本发明属于晶体生长领域， 公开了一种砷化 铟多晶的清洗方法， 将砷化铟多晶料依次置于王 水、 混合酸中浸泡， 然后用纯水冲洗至多晶料表 面无明显氧化痕迹， 再依次经超声振洗、 无水乙 醇浸泡、 氮气吹扫后真空烘干； 所述混合酸由浓 硝酸与浓盐酸按体积比5~10:1混合得到。 本发明 的清洗方法能提高砷化铟多晶料的洁净度， 同时 降低其在清洗过程中的被氧化程度， 使清洗后的 砷化铟多晶料满足晶体生长的需求。 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 CN 114653666 A 2022.06.24 CN 114653666 A 1.一种砷化铟多晶的清洗方法， 其特征在于， 将砷化铟多晶料依次置于王水、 混合酸中 浸泡， 然后用纯水冲洗至多晶料表面无明显氧化痕迹， 再依次经超声振洗、 无水乙醇浸泡、 氮气吹扫后真空烘干； 所述混合 酸由浓硝酸与浓盐酸按体积比5~10:1混合得到 。 2.如权利要求1所述的清洗方法， 其特征在于， 所述砷化铟多晶料置于王水中的浸泡 时 长4~5min。 3.如权利要求1所述的清洗方法， 其特征在于， 所述砷化铟多晶料置于混合酸中的浸泡 时长5~10min。 4.如权利要求1所述的清洗方法， 其特征在于， 制备混合酸的浓硝 酸与浓盐酸的纯度均 为up级。 5.如权利要求1~4任一项所述的清洗方法， 其特征在于， 纯水冲洗后， 若多晶料表面有 明显氧化痕迹， 则重新依次置于王水、 混合酸中浸泡后再使用纯水冲洗， 直至多晶料表面无 明显氧化痕迹为止 。 6.如权利要求1所述的清洗方法， 其特征在于， 所述砷化铟多晶料在置于王水中浸泡 前， 先经打磨处 理， 打磨后的砷化铟多晶料表面无尖锐棱角， 呈现为均匀平 滑的磨砂面。 7.如权利要求1所述的清洗方法， 其特征在于， 所述超声振洗具体为： 以纯水为介质， 超 声时长为20~40min， 超声频率 为30~40kHz， 超声强度为5 0~80％。 8.如权利要求1所述的清洗方法， 其特征在于， 所述无水乙醇浸泡具体为： 将经超声振 洗后的砷化铟多晶料放进无 水乙醇中浸泡10~15min。 9.如权利要求1所述的清洗方法， 其特征在于， 所述氮气吹扫具体为： 使用5N以上高纯 高压氮气快速吹干砷化铟多晶料 的表面、 及表面的缝隙和 孔洞， 至肉眼无法观察到表面湿 润、 及水汽从孔洞或缝隙中喷溅。 10.如权利要求1所述的清洗方法， 其特征在于， 所述真空烘干具体为： 烘干温度为150~ 200℃， 烘干时长10 0~150min， 真空度保持低于 0 .01pa。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114653666 A 2砷化铟多晶的清洗方 法 技术领域 [0001]本发明属于晶体生长领域， 更 具体的， 涉及一种砷化铟多晶 的清洗方法。 背景技术 [0002]砷化铟是由铟和砷构成的 Ⅲ‑Ⅴ族化合物半导体材料。 常温呈银灰色固体， 具有闪 锌矿型的晶体结构， 晶格常数为0.6058nm， 密度为5.66g/cm3(固态)、 5.90g/cm3(熔点时液 态)。 [0003]砷化铟在熔点(942℃)时砷的离解压只有0.033MPa， 可在常压下由熔体生长单晶。 目前， 砷化铟单晶的生长多采用VGF/VB技术， 具体为： 将清洗后的砷化铟物料进行脱水， 然 后依次将砷化铟料、 氧化硼、 砷粒装入PBN坩埚内， 再将PBN坩埚放入石英管内， 管口加石英 帽抽真空封焊， 冷却后放入VGF/VB单晶生长炉中启动升温和降温程序， 长晶结束后降温出 炉泡甲醇脱 出晶棒， 生长结束。 但在晶体的生长过程中， 多晶和单质的氧化物作为多晶的主 要杂质， 会导致晶体局部成核 形成多晶， 对单晶生长有严重的负面影响， 是制约单晶率提高 的一大因素。 [0004]因此， 在进行砷化铟单晶生长工序前， 对砷化铟多晶料的纯度控制、 多晶料表面氧 化物的清洗 工作尤为重要。 发明内容 [0005]针对现有技术中存在的问题， 本发明的目的在于提供一种砷化铟多晶的清洗方 法， 该方法提高了砷化铟多晶料的洁净度， 降低砷化铟多晶在清洗过程中的被氧化 程度。 [0006]为实现本发明目的， 具体技 术方案如下： 一种砷化铟多晶的清洗方法， 将砷化铟多晶料依次置于王水、 混合酸中浸泡， 然后 使用纯水冲洗， 至多晶料表面无明显氧化痕迹， 再依 次经超声振洗、 无水乙醇浸泡、 氮气吹 扫后真空烘干； 所述混合 酸由浓硝酸与浓盐酸按体积比5~10:1混合得到 。 [0007]本实施例中， 观察砷化铟多晶料表面是否存在明显氧化痕迹主要是肉眼判断： 有 氧化痕迹则物料表 面会呈现暗银色、 泛黄、 甚至有彩色斑纹； 无明显氧化 痕迹则物料表面为 亮银色。 [0008]进一步的， 所述砷化铟多晶料置 于王水中的浸泡时长4~5min。 [0009]进一步的， 所述砷化铟多晶料置 于混合酸中的浸泡时长 5~10min。 [0010]进一步的， 制备混合 酸的硝酸与盐酸的纯度均为up级。 [0011]进一步的， 纯水冲洗后， 若多晶料表面有明显氧化痕迹， 则重新依次置于王水、 混 合酸中浸泡后再使用纯 水冲洗， 至多晶料表面无明显氧化痕迹为止 。 [0012]进一步的， 所述砷化铟多晶料在置于王水中浸泡前， 先经打磨处理， 打磨后的砷化 铟多晶料表面无尖锐棱角， 呈现为均匀平 滑的磨砂面。 [0013]进一步的， 所述超声振洗具体为： 以纯水为介质， 超声时长为20~40min， 超声频率 为30~40kHz， 超声强度为5 0~80％。说　明　书 1/4 页 3 CN 114653666 A 3