(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210317154.8 (22)申请日 2022.03.29 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114405892 A (43)申请公布日 2022.04.29 (73)专利权人 智程半导体设备 科技 （昆山） 有限 公司 地址 215000 江苏省苏州市昆山市玉山 镇 玉杨路299号3号房 (72)发明人 杨仕品　孙先淼　华斌　 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 1/04(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B25J 19/00(2006.01)(56)对比文件 CN 211660588 U,2020.10.13 CN 103567194 A,2014.02.12 CN 215696392 U,2022.02.01 CN 106078767 A,2016.1 1.09 CN 1072624 49 A,2017.10.20 审查员 任红玲 (54)发明名称 一种适用 于半导体晶圆槽式清洗机械手的 清洗槽 (57)摘要 本发明属于半导体晶圆技术领域， 尤其是一 种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽， 包括清水槽和机械手， 机械手设置在清水槽的一 侧， 还包括安装在清水槽上的盖体、 调节装置、 环 形清洗装置以及直线清洗装置。 该适用于半导体 晶圆槽式清洗机械手的清洗槽， 通过设置直线清 洗装置， 能够对机械手水平方向的夹爪进行清 洗， 通过双轴电机带动驱动齿轮在齿条上转动的 同时进行水平移动， 双轴电机的另一端能够带动 两个滚刷进行自转， 使 得两个滚刷位于机械手的 水平方向夹爪的上表面与下表 面， 对其进行洗刷 的同时能够水平移动， 从而进行全方位的洗刷， 解决了现有的晶圆拿取使用的机械手清洗不彻 底， 影响晶圆的清洗的技 术问题。 权利要求书2页 说明书8页 附图11页 CN 114405892 B 2022.06.07 CN 114405892 B 1.一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽， 包括清水槽 （1） 和机械手 （11） ， 所 述机械手 （11） 设置在所述清水槽 （1） 的一侧； 其特征在于： 还包括安装在所述清水槽 （1） 上的盖体 （12） 、 调节装置、 环形清洗装置以 及直线清洗装置； 所述盖体 （12） 固定安装在所述清水槽 （1） 的上表面， 所述盖体 （12） 的上表面开设有定 位口 （13） ； 调节装置， 所述调节装置设置在所述清水槽 （1） 的两侧内壁， 并对环形清洗装置的水平 方向以及竖直方向上实现移动调节动作； 环形清洗装置， 所述环形清洗装置位于所述调节装置的外表面， 所述环形清洗装置包 括驱动机构和清洗 机构， 所述驱动机构驱动所述清洗 机构进行环形转动； 所述清洗机构包括环形毛刷 （42） 以及缺口环形齿轮 （41） ， 所述驱动 机构驱动所述缺口 环形齿轮 （41） 圆周转动后， 带动所述环形毛刷 （42） 围绕所述机械手 （11） 的一端外表 面实现 竖直方向上的转动洗刷动作； 直线清洗装置， 所述直线清洗装置包括用于清洗的滚刷 （57） 以及双轴电机 （52） ， 所述 直线清洗装置位于所述清水槽 （1） 的内部， 所述双轴电机 （52） 带动所述滚刷 （57） 转动的同 时， 实现对所述机 械手 （11） 的外表面进行 水平方向上的洗刷动作。 2.根据权利要求1所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽， 其特征在 于： 所述调节装置包括竖向导轨 （2） ， 两个所述竖向导轨 （2） 的外表 面分别与所述清水槽 （1） 的两侧内壁固定安装， 所述竖向导轨 （2） 的内壁通过轴承固定安装有升降丝杆 （21） ， 所述竖 向导轨 （2） 的下表面固定安装有升降电机 （22） ， 所述升降电机 （22） 的输出轴 一端与所述升 降丝杆 （21） 固定安装 控制所述升降丝杆 （21） 转动。 3.根据权利要求2所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽， 其特征在 于： 所述升降丝杆 （21） 的外表面螺纹连接有矩形环 （23） ， 所述矩形环 （23） 的外表面与所述 竖向导轨 （2） 的内壁滑动插接， 所述矩形环 （23） 的内壁固定安装有移动电机 （24） ， 所述移动 电机 （24） 的输出轴一端固定安装有移动丝杆 （25） ， 所述移动丝杆 （25） 的另一端与所述矩形 环 （23） 的一端通过轴承固定安装。 4.根据权利要求3所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽， 其特征在 于： 所述驱动机构包括水平横管 （3） ， 所述水平横管 （3） 的中心内部与所述移动丝杆 （25） 的 外表面螺纹连接， 所述水平横管 （3） 的两端与所述矩形环 （23） 的两侧滑动插接， 所述水平横 管 （3） 的两端内壁均固定安装有驱动电机 （31） ， 所述驱动电机 （31） 的输出轴 一端固定安装 有蜗杆 （32） ， 所述蜗杆 （32） 的一端与所述水平横管 （3） 的内壁 通过轴承固定安装。 5.根据权利要求4所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽， 其特征在 于： 所述水平横管 （3） 的外侧面固定连通有延伸壳体 （33） ， 所述延伸壳体 （33） 的内底 壁通过 轴承固定安装有蜗轮 （34） ， 所述蜗轮 （34） 的外表面与所述蜗杆 （32） 的外表面啮合。 6.根据权利要求4所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽， 其特征在 于： 所述清洗机构包括环形限位凹块 （4） ， 所述环形限位凹块 （4） 的外表面与所述水平横管 （3） 的外表 面固定安装， 所述环形限位凹块 （4） 的内壁与所述缺口环形齿轮 （4 1） 的外表 面转 动连接， 所述 缺口环形齿轮 （41） 的内壁与所述环形毛刷 （42） 的外表面固定安装。 7.根据权利要求5所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽， 其特征在权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114405892 B 2于： 所述蜗轮 （34） 的上表面通过连接轴固定安装有传递齿轮 （43） ， 所述传递齿轮 （43） 的外 表面与所述 缺口环形齿轮 （41） 的外表面啮合。 8.根据权利要求1所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽， 其特征在 于： 所述直线清洗装置还包括支撑块 （5） ， 所述支撑块 （5） 的两侧均开设有装置槽 （51） ， 所述 装置槽 （51） 的内底 壁与所述双轴电机 （52） 的下表 面通过滑轨滑动插接， 所述双轴电机 （52） 的一端输出轴固定安装有驱动齿轮 （53） ， 所述装置槽 （51） 的内壁固定安装有齿条 （54） ， 所 述驱动齿轮 （5 3） 的外表面与所述齿条 （54） 的外表面啮合。 9.根据权利要求1所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽， 其特征在 于： 所述双轴电机 （52） 的另一端输送轴通过轴承固定安装有转盘 （55） ， 所述转盘 （55） 的外 表面通过连接板与所述双轴电机 （52） 的外表 面固定安装， 所述转盘 （55） 的内壁通过轴承固 定安装有齿轮组 （56） ， 所述齿轮组 （56） 的中间齿轮内壁与所述双轴电机 （52） 的输出轴一端 固定安装， 所述齿轮组 （5 6） 的三个齿轮内壁分别与多个所述滚刷 （57） 的一端固定安装。 10.根据权利要求8所述的一种适用于半导体晶圆槽 式清洗机械手的清洗槽， 其特征在 于： 所述支撑块 （5） 的两端均通过凹槽固定安装有喷淋管道 （14） ， 所述喷淋管道 （14） 的一端 与所述清水槽 （1） 的外表面固定安装。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114405892 B 3