(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210403210.X (22)申请日 2022.04.18 (71)申请人 广东先导 微电子科技有限公司 地址 511500 广东省清远市高新区创兴三 路16号A车间 (72)发明人 陈伟杰　白平平　周铁军　齐正阳　 (74)专利代理 机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 专利代理师 付丽 (51)Int.Cl. B08B 3/08(2006.01) B08B 3/12(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 3/02(2006.01) (54)发明名称 一种磷化铟多晶料的清洗方法 (57)摘要 本发明提供一种磷化铟多晶料的清洗方法， 包括以下步骤： 将磷化铟多晶料依次浸入溴甲 醇、 氢氟酸溶液和盐酸溶液中， 进行清洗， 然后 在 水中进行超声清洗， 最后脱水、 干燥， 完成清洗。 本发明先使用溴甲醇把一些砂纸打磨不到的缝 隙、 孔洞腐蚀清洗干净， 方便后续的清洗步骤； 第 二步用HF酸清洗， 把晶棒外表的SiO2清洗干净。 第三步用HCl清洗， 在表面SiO2清洗干净后， HCl 可以迅速与其他杂质元素反应， 使其他杂质在短 时间内清洗干 净， 相对于原清洗工艺过程需要15 小时， 清洗时间大 大缩短， 提高了 工作效率。 权利要求书1页 说明书6页 CN 114669546 A 2022.06.28 CN 114669546 A 1.一种磷化铟多晶料的清洗方法， 包括以下步骤： 将磷化铟多晶料依次浸入溴甲醇、 氢氟酸溶液和盐酸溶液中， 进行清洗， 然后在水中进 行超声清洗， 最后脱水、 干燥， 完成清洗； 所述溴甲醇的体积浓度为2～5％， 清洗时间为30～60s； 氢氟酸溶液的浓度为0.5～ 2mol/L， 清洗时间为3 0～60min； 盐酸溶 液的浓度为2 ～4mol/L， 清洗时间为10～3 0min。 2.根据权利要求1所述的清洗方法， 其特征在于， 在使用溴甲醇清洗后、 使用氢氟酸溶 液清洗后和使用盐酸溶 液清洗后， 分别使用去离 子水冲洗磷化铟多晶料2 ～5次。 3.根据权利要求1所述的清洗方法， 其特 征在于， 所述超声的频率 为30～50Hz。 4.根据权利要求3所述的清洗方法， 其特征在于， 进行3～5次超声清洗， 每次超声的时 间为30～60min。 5.根据权利要求 4所述的清洗方法， 其特 征在于， 所述超声清洗的温度为 40～70℃。 6.根据权利要求1所述的清洗方法， 其特征在于， 所述脱水为使用无水乙醇浸泡磷化铟 多晶料2～5min进行脱水。 7.根据权利要求1所述的清洗方法， 其特征在于， 在搅拌条件下进行溴甲醇、 氢氟酸溶 液和盐酸溶 液清洗。 8.根据权利要求1所述的清洗方法， 其特征在于， 所述干燥为先使用高纯氮气吹干， 再 进行烘干 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114669546 A 2一种磷化铟多晶 料的清洗方 法 技术领域 [0001]本发明属于半导体材 料技术领域， 尤其涉及一种磷化铟多晶料的清洗方法。 背景技术 [0002]磷化铟是由IIIA族元素铟In及VA族元素P化合而成的一种III ‑V族化合物半导体。 随着光电子、 微电子器件等应用需求的逐渐发展， 磷化铟材料的优越性能也逐渐凸显， 特别 是在光纤通讯领域， 只有磷化铟半导体技术能将光探测器和激光器与其它模拟和混合信号 功能集成在同一基底上， 具有高集 成度和低价位的优点， 从而使光器件实现重大突破； 在无 线领域， 磷化铟放大器在许多方面 都有很大改进， 包括提高性能， 降低能耗； 在砷化铟、 硅等 其他半导体材料无法达到的毫米波应用方面， 也可以很容易通过磷化铟器件实现无源成像 及其他一些最新的应用。 [0003]磷化铟单晶生产过程中需要投入大量的磷化铟多晶料， 磷化铟多晶料在生长及加 工过程中， 难免会发生磕碰， 造成表 面坑坑洼洼及裂纹， 表 面被氧化 或者引入一些油脂及金 属杂质， 这对磷化铟单晶的生长造成严重的影响， 成品率低导致成本高企。 因此磷化铟多晶 料的清洗方法对于磷化铟单晶产品率的提升及成本的下降， 显得 尤为重要。 [0004]现行的磷化铟多晶料清洗工艺， 一般都是用氨水、 过氧化氢和水的混合液进行清 洗， 不仅清洗时间长， 效率低， 而且只能清洗一些表面平整光滑的晶棒， 对于一些有孔洞、 有 裂纹的晶棒无法处理或者清洗不干净， 清洗后缝隙里还残留较多的杂质元素， 严重影响磷 化铟单晶 的成品率。 [0005]因此， 亟需一种新的磷化铟多晶料清洗方法， 解决目前的难题， 提高磷化铟单晶产 品率， 降低成本 。 发明内容 [0006]本发明的目的在于提供一种磷化铟多晶料的清洗方法， 本发明中的清洗方法解决 现行工艺清洗不干净， 清洗效率低的难题， 提升磷化铟单 晶的成品率， 降低生产成本， 提高 市场竞争力。 [0007]本发明提供一种磷化铟多晶料的清洗方法， 包括以下步骤： [0008]将磷化铟多晶料依次浸入溴甲醇、 氢氟酸溶液和盐酸溶液中， 进行清洗， 然后在水 中进行超声清洗， 最后脱水、 干燥， 完成清洗； [0009]所述溴甲醇的体积浓度为2～5％， 清洗时间为30～60s； 氢氟酸溶液的浓度为0.5 ～2mol/L， 清洗时间为3 0～60min； 盐酸溶 液的浓度为2 ～4mol/L， 清洗时间为10～3 0min。 [0010]优选的， 在使用溴甲醇清洗后、 使用氢氟酸溶液清洗后和使用盐酸溶液清洗后， 分 别使用去离 子水冲洗磷化铟多晶料2 ～5次。 [0011]优选的， 所述超声的频率 为30～50Hz。 [0012]优选的， 进行3～5次超声清洗， 每次超声的时间为3 0～60min。 [0013]优选的， 所述超声清洗的温度为 40～70℃。说　明　书 1/6 页 3 CN 114669546 A 3