(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210453230.8 (22)申请日 2022.04.27 (71)申请人 北京半导体专用设备研究所 （中国 电子科技 集团公司第四十五研究 所） 地址 100176 北京市北京经济技 术开发区 泰河三街1号 (72)发明人 边晓东　蒋成刚　安稳鹏　付佳维　 王峥　 (74)专利代理 机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通 合伙) 11463 专利代理师 邵琛 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 1/04(2006.01)B08B 3/02(2006.01) B08B 3/04(2006.01) B08B 3/08(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种多规格 基片刷洗装置 (57)摘要 本发明提供一种多规格基片刷洗装置， 所述 多规格基片刷洗装置包括： 载板； 移动机构， 所述 移动机构设置于所述载板； 洗刷机构， 所述洗刷 机构通过所述移动机构可滑动设置于所述载板； 以及基片 承载盘， 所述基片 承载盘与所述洗刷机 构配合以刷洗所述半导体基片。 该多规格基片刷 洗装置通过移动机构和洗刷机构与基片承载盘 的配合， 可以实现自动地对多规格、 多种类的半 导体基片进行清理的作业， 提高了生产的效率， 提升了清理半导体基片的通用性， 降低了生产成 本。 权利要求书2页 说明书8页 附图4页 CN 114682541 A 2022.07.01 CN 114682541 A 1.一种多规格基片刷洗装置， 用于刷洗半导体基片， 其特征在于， 所述多规格基片刷洗 装置包括： 载板； 移动机构， 所述移动机构设置 于所述载板； 洗刷机构， 所述洗刷机构通过 所述移动机构可滑动设置 于所述载板； 以及 基片承载盘， 所述基片承载盘与所述洗刷机构配合以刷洗所述半导体 基片。 2.根据权利要求1所述的多规格 基片刷洗装置， 其特 征在于， 所述移动机构包括： 轨道， 设置 于所述载板； 滑块； 以及 滑动板， 通过 所述滑块可滑动地设置 于所述轨道。 3.根据权利要求2所述的多规格 基片刷洗装置， 其特 征在于， 所述洗刷机构包括： 旋转电机， 设置 于所述滑动板； 悬臂， 所述悬臂的第一端连接所述滑动板的一端； 支撑板， 所述支撑 板的一端连接所述悬臂的第二端； 滚刷， 所述滚刷的第一端与所述旋转电机连接， 所述滚刷的第二端与所述支撑板连接； 以及 气液管， 所述气液管的第一端与所述滑动板连接， 所述气液管的第二端与所述支撑板 连接， 所述气液 管设置在所述滚刷的侧部 。 4.根据权利要求3所述的多规格基片刷洗装置， 其特征在于， 所述多规格基片刷洗装置 还包括防水机构， 所述防水机构设置于所述洗刷机构， 所述防水机构包括多个与所述旋转 电机、 所述滚刷和所述气液 管配合的防水板 。 5.根据权利要求1所述的多规格 基片刷洗装置， 其特 征在于， 所述移动机构包括： 移动电机， 设置 于所述载板的一侧； 带轮， 与所述移动电机的输出端连接； 同步带， 所述同步带的一端与所述带轮连接， 所述同步带的另一端设置于所述载板远 离所述移动电机的一端； 以及 同步带连接板， 所述洗刷机构通过 所述同步带 连接板与所述同步带 连接。 6.根据权利要求1所述的多规格 基片刷洗装置， 其特 征在于， 所述移动机构包括： 检测机构， 设置于所述载板； 所述检测机构包括位置检测器 固定件以及位置检测器， 所 述位置检测器固定件设置 于所述载板， 所述 位置检测器设置 于所述位置检测器固定件。 7.根据权利要求3所述的多规格 基片刷洗装置， 其特 征在于， 所述洗刷机构还 包括： 第一滚刷调节板， 与所述滑动板连接， 所述旋转电机通过所述第一滚刷调节板连接所 述滚刷的第一端； 以及 第二滚刷调节板， 所述滚刷的第二端通过 所述第二滚刷调节板与所述支撑 板连接。 8.根据权利要求7 所述的多规格 基片刷洗装置， 其特 征在于， 所述洗刷机构还 包括： 第一气液 管支撑板， 连接所述第一滚刷调节板； 第二气液 管支撑板， 连接所述第二滚刷调节板； 所述气液管的数量为两个， 两个所述气液管分别设置于所述滚刷的两侧， 两个所述气 液管的第一端连接所述第一气液管支撑板， 两个所述气液管的第二端连接所述第二气液管权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114682541 A 2支撑板。 9.根据权利要求5所述的多规格基片刷洗装置， 其特征在于， 所述移动机构还包括拖链 以及拖链支撑板， 所述拖链支撑板设置于所述同步带 的一方侧， 所述移动电机的电源连接 线布置于所述拖链的内部， 所述 拖链设置 于所述拖链支撑板。 10.根据权利要求3所述的多规格基片刷洗装置， 其特征在于， 所述基片承载盘的长度 与所述载板一 致， 所述基片承载盘的宽度与所述滚刷和所述气液 管一致。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114682541 A 3