(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210449804.4 (22)申请日 2022.04.27 (71)申请人 浙江津芯微电子科技有限公司 地址 310000 浙江省杭州市余杭区仓前街 道龙潭路16号3幢204- 5室 (72)发明人 刘涛　张昌清　于福来　 (74)专利代理 机构 杭州汇和信专利代理有限公 司 33475 专利代理师 薛文玲 (51)Int.Cl. G03F 7/20(2006.01) B08B 1/00(2006.01) B08B 3/02(2006.01) (54)发明名称 LDI自动聚焦控制方法及曝光设备 (57)摘要 本发明公开了一种LDI自动聚焦控制方法及 曝光设备， 涉及LDI曝光机技术领域。 本发明包括 操作板， 操作板的上侧装设有两个连接柱， 连接 柱的两端均弹性且滑动配合有第一滑动板、 第二 滑动板， 操作板的上侧滑动配合有两个第一水 管， 两个第一水管之间连接并连通有两个第一水 箱， 两个第一水箱的相对侧均连接并连通有喷 管。 本发明通过设置的第一滑动板、 第二滑动板， 方便了通过使用者滑动第一滑动板、 第二滑动板 对电路板进行定位及解除定位， 使得电路板表面 在清理过程中晃动的情况， 设置的毛刷， 方便了 毛刷在第一水箱的带动下在电路板的表面进行 驱动， 进而通过毛刷对电路板表 面的杂质进行清 理， 使得电路板表面杂质清理的过程更加的便 捷。 权利要求书2页 说明书4页 附图3页 CN 114791692 A 2022.07.26 CN 114791692 A 1.一种LDI自动聚焦曝光设备， 其特 征在于， 包括： 操作板(1)， 操作板(1)的上侧装设有两个连接柱(107)， 连接柱(107)的两端均弹性且 滑动配合有第一滑动板(111)、 第二滑动板(117)， 操作板(1)的上侧滑动配合有两个第一水 管(119)， 两个第一水管(119)之间连接并连通有两个第一水箱(121)， 两个第一水箱(121) 的相对侧均连接并连通有喷管(122)， 两个第一水箱(121)的相对侧均装设有多组毛刷 (127)； 电路板(2)， 且电路板(2)位于操作板(1)的上侧， 且第一滑动板(111)、 第二滑动板 (117)均与电路板(2)配合。 2.如权利 要求1所述的一种LDI自动聚焦曝光设备， 其特征在于， 操作板(1)的上侧开设 有一个槽道(101)、 两个滑道(104)、 多个通孔(102)， 且通孔(102)与槽道(101)相连通， 滑道 (104)与槽道(101)相连通， 槽道(101)的四个拐角处均装设有支 撑柱(106)， 且 连接柱(107) 的一侧装设在支撑柱(10 6)的一端。 3.如权利 要求1所述的一种LDI自动聚焦曝光设备， 其特征在于， 连接柱(107)的一侧装 设有两个第一固定筒(108)， 第一固定筒(108)的一端滑动配合有第一滑动杆(109)， 且第一 滑动杆(109)的一端装设在第一滑动板(111)的一侧， 第一滑动板(111)的另一侧 装设有第 一锥形柱(112)， 且第一锥形柱(112)的一端与电路板(2)的拐角处配合， 第一滑动板(111) 与连接柱(107)之间装设有两个第一弹簧(1 10)。 4.如权利 要求1所述的一种LDI自动聚焦曝光设备， 其特征在于， 第一滑动 板(111)的一 侧装设有两个第二固定筒(113)， 第二固定筒(113)的一端滑动配合有第二滑动杆(114)， 且 第二滑动杆(114)的一端装设在第二滑动板(117)的一侧， 第二滑动板(117)的一侧与第一 滑动板(111)之间装设有第二弹簧(115)， 第二滑动板(117)的一侧装设有多个第二锥形柱 (116)， 且第二锥形柱(1 16)的一端与电路板(2)配合。 5.如权利 要求2所述的一种LDI自动聚焦曝光设备， 其特征在于， 滑道(104)的内部装设 有电机、 导向杆， 电机的输出端装设有螺纹杆(105)， 螺纹杆(105)的上侧螺纹配合有滑动柱 (118)， 且滑动柱(118)滑动配合在导向杆上， 第一水管(119)的一端装设在滑动柱(118)的 上端。 6.如权利 要求2所述的一种LDI自动聚焦曝光设备， 其特征在于， 两个第一水管(119)之 间连接并连通有第二水管(120)， 第二水管(120)上连接并连通有软管(123)， 软管(123)的 一端连接并连通有第三连接管(125)。 7.如权利 要求6所述的一种LDI自动聚焦曝光设备， 其特征在于， 操作板(1)的底部装设 有第二水箱(126)， 且第二水箱(126)与通孔(102)相连通， 第三连接管(125)的一端位于第 二水箱(126)的内部， 第二水箱(126)的内部装设有水泵， 且位于第二水箱(126)内的一端与 水泵的输出端相连接 。 8.如权利 要求6所述的一种LDI自动聚焦曝光设备， 其特征在于， 操作板(1)的一侧装设 有定位块(124)， 且第三连接管(125)位于定位块(124)内， 操作板(1)的底部装设有四个支 撑座(103)。 9.如权利 要求1所述的一种LDI自动聚焦曝光设备， 其特征在于， 喷管(122)的一端与电 路板(2)的一侧配合， 毛刷(127)的一侧与电路板(2)的一侧配合。 10.一种LDI自动聚焦控制方法， 其特 征在于， 包括如下步骤：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114791692 A 2步骤1， 拍摄： 通过拍摄获取被测体热像数据； 步骤2， 测距： 用于获取被测体与拍摄装置距离的信息， 测距与镜 头位于大致同轴； 步骤3， 聚焦， 通过使用者调节拍摄装置对被测体进行聚焦操作； 步骤4， 记录， 通过使用者记录的指示， 将聚焦操作对应的聚焦驱动参数、 与对应的距离 信息， 生成聚焦配置信息， 响应聚焦指示， 根据测距步骤获得的被测 体距离信息， 并基于聚 焦配置信息 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114791692 A 3