(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210546450.5 (22)申请日 2022.05.20 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114653660 A (43)申请公布日 2022.06.24 (73)专利权人 智程半导体设备 科技 （昆山） 有限 公司 地址 215000 江苏省苏州市昆山市玉山 镇 玉杨路299号3号房 (72)发明人 蔡超　赵天翔　刘国强　 (74)专利代理 机构 苏州友佳知识产权代理事务 所(普通合伙) 32351 专利代理师 储振 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 11/02(2006.01) B08B 15/04(2006.01)H01L 21/67(2006.01) H01L 21/673(2006.01) (56)对比文件 CN 111063652 A,2020.04.24 CN 105609461 A,2016.0 5.25 US 2006222315 A1,20 06.10.05 CN 205817664 U,2016.12.21 CN 105834819 A,2016.08.10 CN 113478159 A,2021.10.08 CN 110434832 A,2019.1 1.12 CN 205254987 U,2016.0 5.25 CN 205997004 U,2017.0 3.08 CN 113771073 A,2021.12.10 CN 203640461 U,2014.0 6.11 CN 104465359 A,2015.0 3.25 CN 102200167 A,201 1.09.28 审查员 李林 (54)发明名称 一种磁性夹块及半导体 基材清洗装置 (57)摘要 本发明提供了一种磁性夹块及半导体基材 清洗装置， 包括： 安装座， 形成于安装座一侧的枢 转筒， 及形成于安装座另一侧的并与枢转筒同轴 布置的限位组件； 限位组件包括： 安装部， 内嵌于 安装部的第一磁块， 形成于安装部外侧并限制第 一磁块轴向滑动的安装罩， 纵向连续贯穿安装罩 与安装部的限位杆， 限位杆的末端延伸至安装座 形成的弧形枢转槽内， 以通过弧形枢转槽提供枢 转筒相对于安装座的轴向转动角度。 通过本申 请， 实现了准确控制磁性夹块的轴向转动角度， 使磁性夹块能够精准 地对晶圆边 缘实现夹持。 权利要求书2页 说明书8页 附图10页 CN 114653660 B 2022.09.16 CN 114653660 B 1.一种磁性夹块， 用于 夹持晶圆边 缘， 其特征在于， 包括： 安装座， 形成于所述安装座一侧的枢转筒， 及形成于所述安装座另一侧的并与所述枢 转筒同轴布置的限位组件； 所述限位组件包括： 安装部， 内嵌于所述安装部的第 一磁块， 形成于所述安装部外侧并 限制第一磁块轴向滑动的安装罩， 纵向连续贯穿所述安装罩与安装部的限位杆， 所述限位 杆的末端延伸至所述安装座形成的弧形枢转槽内， 以通过所述弧形枢转槽提供枢转筒相对 于所述安装座的轴向转动角度， 所述弧形枢转槽的弧长所对应的圆心角 角度为九十度； 所述第一磁块受外部磁场作用力 影响时将带动所述安装部轴向转动， 以使所述安装部 带动所述限位杆同步轴向转动， 所述限位杆的末端将在所述弧形枢转槽内轴向转动九十 度。 2.根据权利要求1所述的磁性夹块， 其特 征在于， 限位组件 还包括： 固定栓， 所述固定栓纵向连续贯穿所述安装罩与所述安装部， 所述安装罩与所述第一 磁块之间贴合设置磁块封条， 磁块封条的两端端部 分别形成供限位杆与固定栓贯穿的第一 安装孔与第二安装孔， 限位杆依次轴向贯穿安装罩与第一安装孔及安装部并延伸至安装座 内以固定安装罩， 固定栓依次轴向贯穿安装罩与第二安装孔并延伸至安装部内以固定安装 罩， 以通过限位杆与固定栓带动安装罩驱使磁块封条贴紧第一磁块， 防止所述第一磁块在 所述安装部内发生轴向转动。 3.根据权利要求1所述的磁性夹块， 其特征在于， 所述枢转筒顶部偏心设置用于夹持晶 圆边缘的凸块， 所述枢转筒被构造出 供所述安装部纵向插 入的槽口； 所述安装部同轴内嵌纵向延伸至所述枢转筒内的固定件， 以通过固定件纵向连接所述 枢转筒与所述 安装部。 4.一种半导体 基材清洗装置， 其特 征在于， 包括： 旋转机构； 所述旋转机构包括： 旋转电机， 同轴套设于所述旋转电机的固定座， 与所述固定座垂直 配置的衔接筒， 内嵌于所述衔接筒并连接旋转电机的衔接座， 同轴依 次贯穿所述旋转电机 与所述衔接座的喷液管， 所述衔接座顶部垂直装配旋转盘， 以及所述旋转盘沿环形嵌设若 干无磁夹块与如权利要求1至 3中任一项所述的磁性夹块。 5.根据权利要求 4所述的半导体 基材清洗装置， 其特 征在于， 还 包括： 安装板， 所述安装板沿所述旋转电机周向外侧配置若干支撑件， 所述支撑件顶部连接 嵌套于所述衔接筒的收集盘， 所述收集盘面向旋转盘的一侧同轴布置磁性盘， 所述收集盘 沿环形配置若干连接所述磁性盘的支撑杆。 6.根据权利要求5所述的半导体 基材清洗装置， 其特 征在于， 还 包括： 上罩体， 所述上罩体面向所述安装板的一侧纵向装配下罩体， 所述下罩体围设于所述 收集盘外侧并与所述收集盘相连接， 所述上罩体径向向内倾斜延伸形成防溅罩， 所述防溅 罩内设内罩体， 以通过所述内罩体遮挡旋转盘所溅出的废液并引导废液向所述下罩体底部 汇聚。 7.根据权利要求6所述的半导体 基材清洗装置， 其特 征在于， 所述磁性盘包括： 底盘， 所述底盘沿环形均匀嵌设若干第三磁块， 所述底盘配置用于固定所述第三磁块 的上盖。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114653660 B 28.根据权利要求7所述的半导体基材清洗装置， 其特征在于， 所述防溅罩嵌设若干与磁 性夹块数量对应的磁铁组件； 所述磁铁组件 包括： 磁盖， 内嵌于所述磁盖的两组第二磁块。 9.根据权利要求8所述的半导体基材清洗装置， 其特征在于， 所述第 二磁块位于第 一磁 块的外侧， 所述第三磁块 位于第一磁块相反于所述第二磁块的一侧； 所述第三磁块径向 向外的一侧磁极为S极或N极； 所述第二磁块 面向所述第一磁块的一侧磁极为S极或N极； 所述第一磁块靠近第二磁块的一侧磁极为S极或N极， 所述第一磁块靠近第 三磁块的一 侧磁极为S极或N极。 10.根据权利要求9所述的半导体基材清洗装置， 其特征在于， 以通过所述第二磁块与 所述第一磁块磁极之间的磁场作用力驱动所述第一磁块轴向转动使所述磁性夹块对晶圆 边缘实现夹持 或放开； 以通过所述第三磁块与所述第一磁块磁极之间的磁场作用力驱动所述第一磁块轴向 转动使所述磁性夹块对晶圆边 缘实现夹持 或放开。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114653660 B 3