(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210338411.6 (22)申请日 2022.04.01 (71)申请人 中环领先半导体材 料有限公司 地址 214200 江苏省无锡市宜兴经济技 术 开发区东氿大道 (72)发明人 杨路肖　张宏杰　刘建伟　武卫　 刘姣龙　祝斌　袁祥龙　雍琪浩　 (74)专利代理 机构 苏州高专知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 32474 专利代理师 冷泠 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种便捷式大直径硅片 片盒清洗设备 (57)摘要 本发明公开了一种便捷式大直径硅片片盒 清洗设备， 包括底座， 所述底座的顶部设置有清 洗箱， 所述底座的内部固定安装有电机， 所述电 机的输出端贯穿清洗箱安装有中心轴， 所述中心 轴的外侧表 面固定安装有片盒架， 所述片盒架上 方的清洗箱内部环绕设置有喷淋口， 所述喷淋口 上方的清洗箱内壁环绕设置有烘干管， 所述清洗 箱的一侧表 面设置有加热管， 所述加热管的下方 设置有温控器， 所述清洗箱的一侧表 面贯穿设置 有溢流管。 该一种便捷式大直径硅片片盒清洗设 备， 首先通过设置的密闭空间， 使得硅片清洗过 程中不与外界进行接触， 同时经过3次纯水喷淋， 以及通过加12次旋转高温配合低温交替烘干， 大 大提高了片盒的整体清洁度。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 114749406 A 2022.07.15 CN 114749406 A 1.一种便捷式大直径硅片片盒清洗设备， 包括底座(5)， 其特征在于： 所述底座(5)的顶 部设置有清洗箱(9)， 所述底座(5)的内部固定安装有电机(15)， 所述电机(15)的输出端贯 穿清洗箱(9)安装有中心轴(11)， 所述中心轴(11)的外侧表面固定安装有片盒架(12)， 所述 片盒架(12)上方的清洗箱(9)内部环绕设置有喷淋口(13)， 所述喷淋口(13)上方的清洗箱 (9)内壁环绕设置有烘干管(10)， 所述清洗箱(9)的一侧表面设置有加热管(1)， 所述加热管 (1)的下方设置有温控器(2)。 2.根据权利要求1所述的一种便捷式大直径硅片片 盒清洗设备， 其特征在于： 所述清洗 箱(9)的一侧表面贯穿设置有溢流管(3)， 所述清洗箱(9)另一侧 靠近顶部的表面设置有进 水管(14)， 且进水 管(14)的下 方设置有排水 管(7)。 3.根据权利要求1所述的一种便捷式大直径硅片片 盒清洗设备， 其特征在于： 所述清洗 箱(9)的一侧表面设置有封闭门(8)， 且底座(5)的一侧表面通过合页活动安装有密封板 (6)。 4.根据权利要求1所述的一种便捷式大直径硅片片 盒清洗设备， 其特征在于： 所述底座 (5)的底部靠近四个边角处皆设置有支撑腿(18)， 且支撑腿(18)的底端皆设置有定位盘 (4)。 5.根据权利要求1所述的一种便捷式大直径硅片片 盒清洗设备， 其特征在于： 所述片 盒 架(12)的数量 为四个， 且片盒架(12)环绕着中心轴(1 1)等距排布。 6.根据权利要求1所述的一种便捷式大直径硅片片 盒清洗设备， 其特征在于： 所述底座 (5)的内部固定安装有蓄电池(16)， 且蓄电池(16)的输出端通过导线与温控器(2)和电机 (15)的输入端电性连接 。 7.根据权利要求1所述的一种便捷式大直径硅片片 盒清洗设备， 其特征在于： 所述底座 (5)的内部固定安装有控制按钮(17)， 且控制按钮(17)的输出端通过导线与温控器(2)和电 机(15)的输入端电性连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114749406 A 2一种便捷式大直径硅片 片盒清洗设 备 技术领域 [0001]本发明涉及硅片生产设备技术领域， 具体为一种便捷式大直径硅片片盒清洗设 备。 背景技术 [0002]在米粒大的硅片上， 已能集成16万个晶体管， 这是科学技术进步的又一个里程碑， 地壳中含量达25.8 ％的硅元素， 为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。 由于硅元素是地 壳中储量最丰富的元素之一， 对太阳能电池这样注定要进入大规模市场(mass  market)的 产品而言， 储量的优势也是硅成为光伏主要材料 的原因之一， 硅片在投入市场之前需要进 行清洗消毒。 [0003]现有的清洗设备只采用单一纯水喷淋， 去除片盒表面的颗粒杂质和金属离子， 然 后只进行单一热烘干， 以此保证片盒表面洁净度， 且硅片清洗为固定放置， 同时空间的密闭 性也较差， 导 致硅片清洗的不够全面， 使得硅片清洗的整体效果 不佳。 发明内容 [0004]本发明的目的在于提供一种便捷式大直径硅片片盒清洗设备， 以解决上述背景技 术中提出 的现有清洗设备只采用单一纯水喷淋， 去除片盒表面的颗粒杂质和金属离子， 然 后只进行单一热烘干， 以此保证片盒表面洁净度， 且硅片清洗为固定放置， 同时空间的密闭 性也较差， 导 致硅片清洗的不够全面， 使得硅片清洗的整体效果 不佳的问题。 [0005]为实现上述目的， 本发明提供如下技术方案： 一种便捷式大直径硅片片盒清洗设 备， 包括底座， 所述底座的顶部设置有清洗箱， 所述底座的内部固定安装有电机， 所述电机 的输出端贯穿清洗箱安装有中心轴， 所述中心轴的外侧表面固定安装有片盒架， 所述片盒 架上方的清洗箱内部环绕设置有喷淋口， 所述喷淋口上方的清洗箱内壁环绕设置有烘干 管， 所述清洗箱的一侧表面设置有加热 管， 所述加热 管的下方设置有温控器。 [0006]优选的， 所述清洗箱的一侧表面贯穿设置有溢流管， 所述清洗箱另一侧靠近顶部 的表面设置有 进水管， 且进水 管的下方设置有排水 管。 [0007]优选的， 所述清洗箱的一侧表面设置有封闭门， 且底座的一侧表面通过合页活动 安装有密封 板。 [0008]优选的， 所述底座的底部靠近四个边角处皆设置有支撑腿， 且支撑腿的底端皆设 置有定位盘。 [0009]优选的， 所述片盒架的数量 为四个， 且片盒架 环绕着中心轴等距排布。 [0010]优选的， 所述底座的内部固定安装有蓄电池， 且蓄电池的输出端通过导线与温控 器和电机的输入端电性连接 。 [0011]优选的， 所述底座的内部固定安装有控制按钮， 且控制按钮的输出端通过导线与 温控器和电机的输入端电性连接 。 [0012]与现有技 术相比， 本发明的有益效果是：说　明　书 1/3 页 3 CN 114749406 A 3