(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210578257.X (22)申请日 2022.05.25 (71)申请人 宁波芯丰精密科技有限公司 地址 315400 浙江省宁波市余 姚市经济开 发区城东 新区冶山路 (72)发明人 万先进　边逸军　韦俊丞　李文超　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 梁佳强 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 1/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种清洁装置 (57)摘要 本发明涉及芯片制造技术领域， 公开了一种 清洁装置。 清洁装置包括转盘、 清洁组件、 驱动件 和支撑组件。 转盘的转动轴线沿第一方向延伸， 待清洁基板能够固定在转盘上； 清洁组件位于转 盘沿第一方向的一侧， 清洁组件包括清洁头和连 接臂， 清洁头设置在连接臂的一端并位于连接臂 朝向转盘的一侧； 驱动件 连接于连接臂的另一端 并能够驱动清洁组件沿第二方向移动； 支撑组件 包括滑轨和滑块， 滑轨沿第二方向延伸， 滑块与 滑轨滑动配合， 滑块连接于连接臂相背转盘的一 侧， 滑块与清洁头设置在连接臂的同一端。 本发 明减少连接臂的形变量， 保证清洁装置的清洁效 果和生产效率， 也避免驱动件受到的压力过大而 损坏， 保证驱动件的耐用性， 降低维护成本 。 权利要求书2页 说明书8页 附图5页 CN 114887976 A 2022.08.12 CN 114887976 A 1.一种清洁装置， 其特 征在于， 包括： 转盘(2)， 所述转盘(2)的转动轴线沿水平设置的第一方向延伸， 待清洁基板(10)能够 固定在所述 转盘(2)上； 清洁组件(3)， 位于所述转盘(2)沿所述第一方向的一侧， 所述清洁组件(3)包括清洁头 (31)和连接臂(32)， 所述清洁头(31)设置在所述连接臂(32)的一端并位于所述连接臂(32) 朝向所述 转盘(2)的一侧； 驱动件(4)， 连接于所述连接臂(32)的另一端并能够驱动所述清洁组件(3)沿水平设置 的第二方向移动， 所述第一方向与所述第二方向垂直； 支撑组件(5)， 包括滑轨(51)和滑块(52)， 所述滑轨(51)沿所述第二方向延伸， 所述滑 块(52)与所述滑轨(51)滑动连接， 所述滑块(52)连接于所述连接臂(32)相背所述转盘(2) 的一侧， 所述滑块(52)与所述清洁头(31)设置在所述连接臂(32)的同一端。 2.根据权利要求1所述的清洁装置， 其特征在于， 所述清洁装置还包括抵压组件(9)， 所 述抵压组件(9)包括抵压件(91)和连接架(92)， 所述滑轨(51)固定在所述连接架(92)上， 所 述抵压件(91)连接于所述连接臂(32)与所述驱动件(4)之间， 所述抵压件(91)能够驱动所 述连接臂(32)沿所述第一方向移动。 3.根据权利 要求2所述的清洁装置， 其特征在于， 所述抵压组件(9)还包括导轨(93)， 所 述导轨(93)固定设置且沿所述第一方向延伸， 所述连接架(9 2)与所述 导轨(93)滑动配合。 4.根据权利 要求1所述的清洁装置， 其特征在于， 所述清洁组件(3)还包括喷嘴(33)， 所 述喷嘴(33)设置在所述连接臂(32)朝向所述转盘(2)的一侧， 所述喷嘴(33)能够向所述待 清洁基板(10)喷出清洁液。 5.根据权利 要求4所述的清洁装置， 其特征在于， 所述喷嘴(33)与所述清洁头(31)沿所 述第二方向排布。 6.根据权利要求1所述的清洁装置， 其特征在于， 所述清洁组件(3)还包括转动电机 (34)， 所述转动电机(34)连接于所述连接臂(32)并能够驱动所述清洁头(31)绕所述第一方 向转动。 7.根据权利要求1所述的清洁装置， 其特征在于， 所述转盘(2)的第一端端面上开设有 多个吸附孔(21)， 所述吸附孔(21)的孔壁上开设有吸附凹槽， 所述吸附凹槽贯通所述转盘 (2)的第一端端面， 所述转盘(2)的第一端端面上设置有塑料孔板(22)， 所述塑料孔板(22) 上开设有多个通孔(221)， 多个所述通孔(221)与多个所述吸附孔(21)一一正对设置， 且所 述塑料孔板(2 2)能够遮挡所述吸附凹槽 。 8.根据权利要求1所述的清洁装置， 其特征在于， 所述清洁装置还包括移动组件(6)， 所 述移动组件(6)包括支架(61)和驱动组件(62)， 所述支架(61)上开设有用于容纳所述待清 洁基板(10)底部的凹槽(611)， 所述驱动组件(62)能够驱动所述支架(61)沿水平和/或竖直 方向移动。 9.根据权利要求1所述的清洁装置， 其特征在于， 所述清洁装置还包括修整件(7)， 所述 驱动件(4)能够驱动所述清洁头(31)移动至与所述修整件(7)抵触， 以使所述修整件(7)与 所述清洁头(31)摩擦。 10.根据权利要求1所述的清洁装置， 其特征在于， 所述清洁装置还包括沿所述第二方 向延伸的喷淋管(8)， 所述喷淋管(8)设置在所述转盘(2)上方， 所述喷淋管(8)上沿轴向间权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114887976 A 2隔设置有多个喷淋头(81)， 所述喷淋头(81)的一端与所述喷淋管(8)连通， 另一端向下倾斜 设置并能够向所述待清洁基板(10)喷淋清洁液。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114887976 A 3