(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123441390.0 (22)申请日 2021.12.3 0 (73)专利权人 苏州诺富 微电子有限公司 地址 215021 江苏省苏州市中国 （江苏） 自 由贸易试验区苏州片区苏州工业园区 苏虹西路9 9号第3幢A区6 01室 (72)发明人 袁永　 (51)Int.Cl. B24B 5/04(2006.01) B24B 5/36(2006.01) B24B 5/50(2006.01) B24B 27/00(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 47/12(2006.01) B24B 55/06(2006.01)(ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种砷化 镓晶圆水平法切割装置 (57)摘要 本实用新型公开了砷化镓生产加工技术领 域的一种砷化镓晶圆水平法切割装置， 包括工作 台与驱动电机， 所述工作台表 面开设有放置砷化 镓晶柱的凹槽， 所述凹槽的底部为弧形， 所述凹 槽的底部滑动连接有驱动推杆； 本实用新型在工 作前， 通过砷化镓晶柱厚度的不同来间接调节打 磨辊右端的位置， 从而来调节打磨辊所能打磨的 最大圆直径， 有利于根据砷化镓晶柱厚度的不同 来确定打磨的最大圆柱的晶柱， 从而减少多余的 打磨， 避免浪费； 连接球与其上的十字环形槽可 以满足打磨辊与转动齿轮转动轴之间的角度调 节， 有利于在打磨辊的右端进行抬起时， 转动齿 轮依然能对打磨辊提供稳定的驱动力， 避免卡死 或驱动力不稳定 。 权利要求书2页 说明书8页 附图13页 CN 217860315 U 2022.11.22 CN 217860315 U 1.一种砷化镓晶圆水平法切割装置， 包括工作台(1)与驱动电机(2)， 其特征在于： 所述 工作台(1)表面开设有放置砷化镓晶柱的凹槽(3)， 所述凹槽(3)的底部为弧形， 所述凹槽 (3)的底部滑动连接有驱动推杆(4)， 所述驱动推杆(4)左端有部分凸起并且其左端位于砷 化镓晶柱的左侧， 所述凹槽(3)的上方设有压盖(5)， 所述压盖(5)可 以将砷化镓的上端盖 住， 所述压盖(5)的上端右侧固定连接有顶动块(6)， 所述顶动块(6)的右侧为斜面， 所述工 作台(1)表 面对应压盖(5)的两侧位置均固定连接有限位板(7)， 所述工作台(1)的右侧底部 固定连接有辅助台(8)， 所述辅助台(8)上端上下滑动连接有支撑架(9)， 所述支撑架(9)的 上端固定连接有打磨筒(10)， 所述打磨筒(10)的左端固定连接有内齿环(11)， 所述内齿环 (11)右侧转动连接有外齿环(12)， 所述驱动电机(2)固定连接在内齿环(11)的左侧， 所述 驱 动电机(2)转动轴贯穿内齿环(11)后固定连接有驱动齿轮(13)， 所述驱动齿轮(13)与外齿 环(12)啮合， 所述外齿环(12)表面转动连接有三个等距排列的转动齿轮(14)， 三个所述转 动齿轮(14)均与内齿环(11)啮合并且三个所述转动齿轮(14)转动轴贯穿外齿环(12)， 三个 所述转动齿轮(14)转动轴右端均设有球铰链机构， 三个所述转动齿轮(14)转动轴 均通过球 铰链机构连接有打磨辊(15)， 所述打磨辊(15)斜 向布置并且其底部为圆弧形， 所述打磨辊 (15)的尾端 固定连接有轴承(16)， 所述轴承(16)表面固定连接有可伸缩的弧形拉板(17)， 所述弧形拉板(17)的顶部贯穿打磨筒(10)， 所述打磨筒(10)对应弧形拉板(17)位置开设有 通槽(18)， 所述通槽(18)将打磨筒(10)分为两部分， 所述打磨筒(10)的表面对应通槽(18) 位置套接有推动环(19)， 所述弧形拉板(17)的顶部滑动在推动环(19)的内壁上， 所述弧形 拉板(17)的中间位置固定连接有拉动绳(20)， 所述拉动绳(20)  的另一端与推动环(19)的 内壁固定连接， 所述打磨筒(10)上端对应顶动块(6)位置滑动连接有推动杆(21)， 所述推动 杆(21)左端为斜面并且其右端与推动环(19)接触， 所述打磨筒(10)的内壁右侧设有限定机 构， 所述限定 机构用来限定打磨后的砷化 镓晶柱符合晶柱的最大圆。 2.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶圆水平法切割 装置， 其特征在于： 所述球铰链机 构包括连接球(22)， 所述连接球(22)表面开设有十字环形槽(23)， 所述转动齿轮(14)转动 轴右端与所述打磨辊(15)左端均滑动在十 字环形槽(23)内。 3.根据权利要求2所述的一种砷化镓晶圆水平法切割 装置， 其特征在于： 所述限定机构 包括阻挡环(24)， 所述阻挡环(24)的中间位置有通口(25)， 所述通口(25)左侧铰接有三个 等角度排列的 限定板(26)， 所述限定板(26)的左端为弧形并且 所述限定板(26)的底部中间 位置固定连接有擦拭棉(27)， 所述限定板(26)的中间位置铰接有调节杆(28)， 所述调节杆 (28)贯穿所述打磨筒(10)后端部向左侧弯折并延伸所述推动环(19)位置， 所述调节杆(28) 上端左侧为 斜面。 4.根据权利要求3所述的一种砷化镓晶圆水平法切割装置， 其特征在于： 所述工作台 (1)对应所述凹槽(3)底部前后两侧位置均开设有弧形引导槽(29)， 两个所述弧形引导槽 (29)内均滑动连接有可伸缩的弧形引导轨(30)， 所述弧形引导轨(30)端部通过弧形弹簧弹 性连接， 两个所述弧形引导轨(30)的顶部均滑动在压盖(5)的左端， 所述压盖(5)左端对应 两个弧形引导轨(30)的顶端位置均开设有让位槽(31)， 所述让位槽(31)贯穿压盖(5)， 所述 工作台(1)的右端 结构与左端相同， 四个所述弧形引导轨(30)内均滑动连接有滑动块(32)， 左右两端所述滑动块(32)之间共同设有切割丝(33)， 所述切割丝(33)贯穿滑动块(32)后与 外部非金属线切割装置相连接 。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217860315 U 25.根据权利要求4所述的一种砷化镓晶圆水平法切割装置， 其特征在于： 所述工作台 (1)右端表 面对应所述压盖(5)的前后两侧位置均固定连接有差速器(34)， 两个所述差速器 (34)右侧均设有伸缩板(35)， 两个所述伸缩板(35)与差速器(34)内部连接并且 所述齿环右 侧为斜面， 所述内齿环(11)对应伸缩板(35)位置开设有抬升槽(36)， 所述抬升槽(36)的内 壁上端为斜面， 所述差速器(34)的左端滑动连接有U形的限位杆(37)， 所述限位杆(37)与差 速器(34)之间弹性连接有弹簧， 所述限位杆(37)一端延伸至伸缩板(35)的表面， 所述伸缩 板(35)对应限位杆(37)位置开设有限位口(38)， 所述限位杆(37)的另一端延伸至弧形引导 槽(29)的表面。 6.根据权利要求5所述的一种砷化镓晶圆水平法切割 装置， 其特征在于： 所述弧形拉板 由三个部分组成， 并且其上 下两端通过弧形弹簧弹性连接 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217860315 U 3