(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123420417.8 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 上海志羲金属制品有限公司 地址 200000 上海市松江区新浜镇许村公 路1515号 (72)发明人 赵风华　 (74)专利代理 机构 上海汇齐专利代理事务所 (普通合伙) 31364 专利代理师 童强 (51)Int.Cl. B24B 9/00(2006.01) B24B 27/02(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 55/06(2006.01) B24B 47/06(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体设备用滑轨去 毛刺装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种半导体设备用滑轨 去毛刺装置， 包括工作箱、 工作台与设置在工作 台上的两个夹具， 所述工作箱内顶部安装有电动 滑轨， 所述电动滑轨下设有第二液压缸， 所述工 作箱内设有用于驱动工作台转动的驱动机构。 本 实用新型设置了驱动机构与传动机构， 可以使工 作台发生倾斜， 工作台上的碎屑滚落， 使得工作 台上的碎屑自动滚落完成清理， 不需要人为清 理， 从而提高了装置的实用性， 其次设置了安装 机构， 导料板上与倾斜工作台上的碎屑能够在安 装框运动过程中掉落， 从而提高了碎屑的清理效 果， 另外设置了固定机构， 使得转轴在不需要转 动时被固定， 进一步提高工作台工作过程中的稳 定性。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217255096 U 2022.08.23 CN 217255096 U 1.一种半导体设备用滑轨去毛刺装置， 包括工作箱(1)、 工作台(2)与设置在工作台(2) 上的两个夹具(11)， 其特征在于， 所述工作箱(1)内顶部安装有电动滑轨(6)， 所述电动滑轨 (6)下设有第二液压缸(7)， 所述工作箱(1)内设有用于驱动工作台(2)转动的驱动机构， 所 述驱动机构包括固定连接在工作箱(1)内壁的驱动电机(12)， 所述驱动电机(12)的输出轴 固定连接有转动轴(19)， 所述工作台(2)两端均固定连接有转轴(5)， 所述转动轴(19)侧壁 套接有转动筒(20)， 所述转动筒(20)通过传动机构与相邻转轴(5)连接， 所述传动机构包括 固定连接在转轴(5)侧壁的第一锥形齿轮(16)， 所述转动筒(20)侧壁固定连接有与第一锥 形齿轮(16)配合的第二锥形齿轮(18)， 所述工作 箱 （1） 内设有用于安装工作台 （2） 的安装机 构。 2.根据权利要求1所述的一种半导体设备用滑轨去毛刺装置， 其特征在于， 所述安装机 构包括通过安装座固定连接在工作 箱(1)上端的两个第一液压缸(4)， 两个所述第一液压缸 (4)输出端共同固定连接有安装框(3)， 两个所述转轴(5)远离工作台(2)的一端均贯穿相邻 安装框(3)侧壁， 所述工作箱(1)两侧壁均设有用于固定转轴(5)的固定 机构。 3.根据权利要求2所述的一种半导体设备用滑轨去毛刺装置， 其特征在于， 所述固定机 构包括贯穿设置在工作 箱(1)侧壁的横杆(15)， 所述横杆(15)与转轴(5)相对的一端分别固 定连接有固定盘(21)与转动盘(23)， 所述固定盘(21)侧壁固定连接有多个贯穿转动盘(23) 的限位杆(2 2)。 4.根据权利要求3所述的一种半导体设备用滑轨去毛刺装置， 其特征在于， 所述工作箱 (1)两侧壁均固定连接有壳体， 所述壳体内壁固定连接有电动推杆(14)， 所述电动推杆(14) 输出端与相邻横杆(15)侧壁固定连接， 所述横杆(15)截面 为矩形。 5.根据权利要求1所述的一种半导体设备用滑轨去毛刺装置， 其特征在于， 所述第 二液 压缸(7)输出端固定连接有安装板(8)， 所述安装板(8)下端安装有打磨电机， 所述安装板 (8)上端两侧均贯穿设有吸气管(9)， 所述吸气管(9)下端 连通设有吸尘罩(10)， 所述工作 箱 (1)上端固定连接有吸尘器(13)。 6.根据权利要求2所述的一种半导体设备用滑轨去毛刺装置， 其特征在于， 所述工作箱 (1)侧壁开设有清理口， 所述工作 箱(1)内底部 设有朝向清理口的斜面， 所述安装框(3)下端 开设有两个开口， 所述 安装框(3)内底部设有导料板 。 7.根据权利要求2所述的一种半导体设备用滑轨去毛刺装置， 其特征在于， 所述安装框 (3)侧壁固定连接有安装块(17)， 所述安装块(17)与转动筒(20)转动连接， 所述转动筒(20) 内圈截面 为矩形。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217255096 U 2一种半导体 设备用滑轨去毛刺装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及滑轨加工设备技术领域， 尤其涉及一种半导体设备用滑轨去毛刺 装置。 背景技术 [0002]随着半导体技术的发展， 半导体在各领域上应用广泛， 而半导体设备在加工过程 中会通过滑轨进行设备的移动， 滑轨在生产后需要对其进行打磨去 毛刺处理。 [0003]现有的半导体设备用滑轨去毛刺装置通过设置吸尘罩来吸走去毛刺时产生的细 屑， 防止其 飞溅到工人的眼睛中引起危害， 影响工人的健康， 但是质量较大的碎屑不易被吸 走， 会留在工作台上， 若通过加大吸尘器功率则会产生极大地噪声， 会影响操作人员的注 意 力， 所以， 需要设计一种半导体设备用滑轨去 毛刺装置来 解决上述问题。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点， 而提出的一种半导体设备 用滑轨去 毛刺装置 。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]一种半导体设备用滑轨去毛刺装置， 包括工作箱、 工作 台与设置在工作 台上的两 个夹具， 所述工作箱内顶部安装有电动滑轨， 所述电动滑轨下设有第二液压缸， 所述工作箱 内设有用于驱动工作台转动的驱动机构， 所述驱动机构包括固定连接在工作箱内壁的驱动 电机， 所述驱动电机的输出轴固定连接有转动轴， 所述工作台两端均固定连接有转轴， 所述 转动轴侧 壁套接有转动筒， 所述转动筒通过传动机构与相邻转轴连接， 所述传动机构包括 固定连接在转轴侧壁的第一锥形齿轮， 所述转动筒侧壁固定连接有与第一锥形齿轮配合的 第二锥形齿轮， 所述工作箱内设有用于安装工作台的安装机构。 [0007]优选地， 所述安装机构包括通过安装座固定连接在工作箱上端的两个第一液压 缸， 两个所述第一液压缸输出端共同固定连接有安装框， 两个所述转轴远离工作台的一端 均贯穿相邻安装框侧壁， 所述工作箱两侧壁均设有用于固定转轴的固定 机构。 [0008]优选地， 所述固定机构包括贯穿设置在工作箱侧壁的横杆， 所述横杆与转轴相对 的一端分别固定连接有固定盘与转动盘， 所述固定盘侧壁固定连接有多个贯穿转动盘的 限 位杆。 [0009]优选地， 所述工作箱两侧壁均固定连接有壳体， 所述壳体内壁固定连接有电动推 杆， 所述电动推杆输出端与相邻横杆侧壁固定连接， 所述横杆截面 为矩形。 [0010]优选地， 所述第二液压缸输出端固定连接有安装板， 所述安装板下端安装有打磨 电机， 所述安装板上端两侧均贯穿设有吸气管， 所述吸气管下端 连通设有吸尘罩， 所述工作 箱上端固定连接有吸尘器。 [0011]优选地， 所述工作箱侧壁开设有清理口， 所述工作箱内底部设有朝向清理口的斜 面， 所述安装框下端开设有两个开口， 所述 安装框内底部设有导料板 。说　明　书 1/3 页 3 CN 217255096 U 3