(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212342 2809.8 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 深圳中宝集团有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区新 安街 道兴东社区71区新政厂房A栋601 （二 楼与六楼） (72)发明人 李妍琼　李盛伟　 (74)专利代理 机构 深圳市深弘广联知识产权代 理事务所(普通 合伙) 44449 代理人 易涵冰 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 11/00(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 55/06(2006.01) (54)实用新型名称 一种具有废屑收集功能的半导体芯片表面 处理设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种具有废屑收集功能 的半导体芯片表面处理设备， 包括工作台和支 腿， 工作台上表面开设有收集槽， 工作台底部位 于收集槽 下端设置有接收箱， 接收箱内部设置有 废屑抽屉， 工作台上表面位于收集槽两侧设置有 固定板， 固定板内部设置有角度调节装置， 角度 调节装置内部设置有夹持装置。 本实用新型结构 简单， 设计新 颖， 通过夹持装置， 可将半导体芯片 固定在空中， 降低半导体芯片表面处理后， 工作 台对半导体芯片的二次污染现象， 同时角度调节 装置可方便半导体 芯片的双面处理， 节省换面时 间， 提高清理效率， 而表面处理装置在提高半导 体芯片表 面处理速度的同时， 增强了半导体表面 废屑的清理效果， 因此装置适 合广泛推广。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 216389287 U 2022.04.26 CN 216389287 U 1.一种具有废屑收集功能的半导体芯片表面处理设备， 包括工作台(1)和支腿(2)， 其 特征在于， 所述工作台(1)上表面开设有收集槽(3)， 所述工作台(1)底部位于收集槽(3)下 端设置有接收箱(4)， 所述接收箱(4)内部设置有废屑抽屉(5)， 所述工作台(1)上表面位于 收集槽(3)两侧设置有固定板(6)， 所述固定板(6)内部设置有角度调节装置(7)， 所述角度 调节装置(7)内部设置有夹持装置(8)， 所述固定板(6)远离收集槽(3)的一侧设置有支撑柱 (9)， 所述支撑柱(9)上设有表面处 理装置(15)。 2.根据权利要求1所述的一种具有废屑收集功能的半导体芯片表面处理设备， 其特征 在于， 所述支撑柱(9)顶部 设置有第一滑轨(10)， 两个所述第一滑轨(10)之间设置有第二滑 轨(11)， 所述第二滑轨(11)外壁套设有滑 块(12)， 所述滑 块(12)底部设置有液压机(13)， 所 述液压机(13)底部设置有用于安装所述表面处理装置(15)的液压杆(14)， 所述第一滑轨 (10)、 第二滑轨(11)和液压机(13)均与外界电性连接， 所述第二滑轨(11)与第一滑轨(10) 滑动连接， 所述滑块(12)与第二滑轨(1 1)滑动连接 。 3.根据权利要求2所述的一种具有废屑收集功能的半导体芯片表面处理设备， 其特征 在于， 所述表面处理装置(15)包括连接板(1501)、 驱动电机(1502)、 叶片(1503)和电动刷 (1504)， 所述驱动电机(1502)和电动刷(1504)均与外界电性连接， 所述叶片(1503)与驱动 电机(1502)固定连接， 所述连接 板(1501)与液压杆(14)固定连接 。 4.根据权利要求1所述的一种具有废屑收集功能的半导体芯片表面处理设备， 其特征 在于， 所述 收集槽(3)的数量为两组， 所述收集槽(3)呈梯形设计， 所述废屑抽屉(5)与收集 槽(3)为上 下垂直分布， 所述废屑抽屉(5)与接收箱(4)滑动连接 。 5.根据权利要求1所述的一种具有废屑收集功能的半导体芯片表面处理设备， 其特征 在于， 所述角度调节装置(7)包括限位管(701)、 轴承(702)和限位槽(703)， 所述轴承(702) 的内外环分别与限位管(701)和固定板(6)固定连接， 所述限位管(701)通过轴承(702)与固 定板(6)转动连接 。 6.根据权利要求1或5所述的一种具有废屑收集功能的半导体芯片表面处理设备， 其特 征在于， 所述夹持装置(8)包括夹持块(801)、 限位杆(802)、 螺纹杆(803)和转盘(804)， 所述 夹持块(801)内部开设有夹持口， 且夹持口为梯形设计， 夹持口采用橡胶材质， 所述夹持块 (801)通过限位杆(802)和限位槽(703)滑动 连接， 所述夹持块(801)与固定板(6)间设置有 复位弹簧， 且复位弹簧套设在限位杆(802)外壁， 所述 转盘(804)与螺纹杆(80 3)转动连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216389287 U 2一种具有废屑收集功能的半导体芯片表面处理设 备 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体芯片器件生产设备技术领域， 尤其涉及 一种具有废屑收集 功能的半导体芯片表面处 理设备。 背景技术 [0002]半导体的出现引领了信息时代开创的路程， 近年来， 半导体芯片制造业的迅速发 展， 半导体芯片制 造过程一些关键技术也引起了人们的高度重视， 表面抛光处理作为半导 体芯片制 造过程中的重要步骤， 其工序的自动化生产也将渐渐走进人们的视野。 目前半导 体芯片在生产过程中需要对芯片表面进行除尘等操作， 但现有的半导体芯片表面处理设备 在使用时， 一般将半导体芯片放置在工作台表面进行单面处理， 当处理完成后再换至另一 面， 操作繁琐的同时， 工作台易对半导体造成二次污染， 清理效果差 。 实用新型内容 [0003](一)实用新型目的 [0004]为解决背景技术中存在的技术问题， 本实用新型提出一种具有废屑收集功能的半 导体芯片表面处理设备， 该装置结构简单， 设计新颖， 通过夹持装置， 可将半导体芯片固定 在空中， 降低半导体芯片表面处理后， 工作台对半导体芯片的二次污染现象， 同时角度调节 装置可方便 半导体芯片的双面处理， 节省换面时间， 提高清理效率， 而表面处理装置在提高 半导体芯片表面处理速度的同时， 增强了半导体表面废屑的清理效果， 因此装置适合广泛 推广。 [0005](二)技术方案 [0006]本实用新型提供了一种具有废屑收集功能的半导体芯片表面处理设备， 包括工作 台和支腿， 所述工作台上表面开设有收集槽， 所述工作台底部位于 收集槽下端设置有接 收 箱， 所述接收箱内部 设置有废屑抽 屉， 所述工作台上表面位于收集槽两侧设置有固定板， 所 述固定板内部设置有角度调节装置， 所述角度调节装置内部设置有夹持装置， 所述固定板 远离收集槽的一侧设置有支撑柱， 所述支撑柱上设有表面处 理装置。 [0007]优选的， 所述支撑柱顶部设置有第一滑轨， 两个所述第一滑轨之间设置有第二滑 轨， 所述第二滑轨外壁套设有滑块， 所述滑块底部 设置有液压机， 所述液压机底部 设置有用 于安装所述表面处理装置的液压杆， 所述第一滑轨、 第二滑轨和液压机均与外界电性连接， 所述第二滑轨与第一滑轨滑动连接， 所述滑块与第二滑轨滑动连接， 第一滑轨、 第二滑轨、 滑块和液压机的配合使用可起到带动电动刷进行前后左右的往复移动， 提高对半导体芯片 表面的处 理效果。 [0008]优选的， 所述表面处理装置包括连接板、 驱动电机、 叶片和电动刷， 所述驱动电机 和电动刷均与外界电性连接， 所述叶片与驱动电机固定连接， 所述连接板与液压杆固定连 接， 电动刷和叶片的相互配合， 可增强对半导体芯片的表面除尘效果。 [0009]优选的， 所述收集槽的数量为两组， 所述收集槽呈梯形设计， 所述废屑抽屉与收集说　明　书 1/4 页 3 CN 216389287 U 3