(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122981855.5 (22)申请日 2021.11.30 (73)专利权人 常州曙光电子材 料有限公司 地址 213000 江苏省常州市新北区保纳商 业广场6幢407室 (72)发明人 李梅　刘峰　 (74)专利代理 机构 常州中润迅达专利代理事务 所(普通合伙) 32624 代理人 李静 (51)Int.Cl. C23C 16/455(2006.01) B08B 1/00(2006.01) (54)实用新型名称 用于复合材 料气相沉积炉的供气组件 (57)摘要 本实用新型涉及气相沉积炉供气技术领域， 尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的供气组件， 解决了现有气相沉积炉供气的气孔易出现堵塞 的情况， 影响生产效率的缺点， 包括供气壳体以 及设置在供气壳体端部的端盖， 供气壳体的内部 设置有供气内胆， 所述端盖的端部内侧通过螺栓 固定有刮除电机， 所述刮除电机的输出轴套接固 定有转板， 所述转板的表面设置有挡板， 转板的 表面还设置有刮板， 在供气壳体端部设置端盖， 并安装刮除电机， 通过刮除电机驱动转板转动， 从而推动转板底部连接的刮板作用在供气内胆 的外表面， 从而利用刮板表面的硬质毛刷对气孔 内堵塞物进行刮除， 有效防止了气孔堵塞的情 况。 权利要求书1页 说明书2页 附图3页 CN 216427405 U 2022.05.03 CN 216427405 U 1.用于复合材料气相沉积炉的供气组件， 包括供气壳体 （1） 以及设置在供气壳体 （1） 端 部的端盖 （2） ， 供气壳体 （1） 的内部设置有供气内胆 （4） ， 其特征在于， 所述端盖 （2） 的端部内 侧通过螺栓固定有刮除电机 （3） ， 所述刮除电机 （3） 的输出轴套接固定有转板 （7） ， 所述转板 （7） 的表面设置有挡板 （8） ， 转板 （7） 的表面还设置有刮板 （10） 。 2.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的供气组件， 其特征在于， 所述供气 壳体 （1） 的顶部胶黏有密封 垫 （9） ， 所述密封 垫 （9） 的顶部与转板 （7） 的底部 抵触。 3.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的供气组件， 其特征在于， 所述供气 壳体 （1） 的顶部开设有弧形通槽， 所述挡板 （8） 的下表面与弧形通槽顶部抵触， 且刮板 （10） 的端部贯 穿弧形通槽并延伸至供气内胆 （4） 与供气壳体 （1） 之间。 4.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的供气组件， 其特征在于， 所述供气 内胆 （4） 的表面均匀分布开设有气孔 （6） ， 所述刮板 （10） 的表面胶黏有硬质毛刷， 所述硬质 毛刷与供气内胆 （4） 的外表面抵触。 5.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的供气组件， 其特征在于， 所述供气 壳体 （1） 的底部设置有呈倒置的引气斗 （5） ， 所述引气斗 （5） 的端部与供气壳体 （1） 与供气内 胆 （4） 之间连通。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216427405 U 2用于复合材料气相沉积炉的供气组件 技术领域 [0001]本实用新型涉及气相沉积炉供气技术领域， 尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的 供气组件。 背景技术 [0002]气相沉积炉是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉 积物的一种设备， 在中温、 高温或者常压下都可以进 行反应， 化学气相沉积法不但可以对晶 体或者晶体薄膜性能的改善有所帮助， 现有的气相沉积炉供气设备存在气孔堵塞的情况， 需要频繁进行停机维护， 影响生产效率。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的是为了解决现有气相沉积炉供气的气孔易出现堵塞的情 况， 影 响生产效率的缺 点， 而提出的用于复合材 料气相沉积炉的供气组件。 [0004]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0005]用于复合材料气相沉积炉的供气组件， 包括供气壳体以及设置在供气壳体端部的 端盖， 供气壳体的内部 设置有供气内胆， 所述端盖的端部内侧通过螺栓固定有刮除电机， 所 述刮除电机的输出轴套接固定有转板， 所述转板的表面设置有挡板， 转板的表面还设置有 刮板。 [0006]优选的， 所述供气壳体的顶部胶黏有密封垫， 所述密封垫 的顶部与转板的底部抵 触。 [0007]优选的， 所述供气壳体的顶部开设有弧形通槽， 所述挡板 的下表面与 弧形通槽顶 部抵触， 且刮板的端部贯 穿弧形通槽并延伸至供气内胆与供气壳体之间。 [0008]优选的， 所述供气内胆的表面均匀 分布开设有气孔， 所述刮板 的表面胶黏有硬质 毛刷， 所述硬质毛刷与供气内胆的外表面抵触。 [0009]优选的， 所述供气壳体的底部设置有呈倒置 的引气斗， 所述引气斗 的端部与供气 壳体与供气内胆之间连通。 [0010]本实用新型的有益效果是： [0011]1、 在供气壳体端部设置端盖， 并安装刮除电机， 通过刮除电机驱动转板转动， 从而 推动转板底部连接的刮板作用在供气内胆的外表面， 从而利用刮板表面的硬质毛刷对气孔 内堵塞物进行刮除， 有效防止 了气孔堵塞的情况； [0012]2、 转板的底部还分别设置有密封垫和挡板， 通过密封垫防止气体跑出， 同时利用 挡板盖住除刮板以外的弧形通槽， 进一 步的提高密封性。 附图说明 [0013]图1为本实用新型提出的用于复合材 料气相沉积炉的供气组件的结构示 意图； [0014]图2为本实用新型提出的用于复合材料气相沉积炉的供气组件的剖视结构示意说　明　书 1/2 页 3 CN 216427405 U 3