(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123006958.6 (22)申请日 2021.12.01 (73)专利权人 昆山超瀚电子科技有限公司 地址 215313 江苏省苏州市昆山市周市镇 陆杨杜家路316号 (72)发明人 方玉龙　 (74)专利代理 机构 东莞市卓易专利代理事务所 (普通合伙) 44777 专利代理师 张晓华 (51)Int.Cl. B07C 5/34(2006.01) B07C 5/02(2006.01) B07C 5/36(2006.01) B08B 11/00(2006.01) B08B 11/02(2006.01)B08B 1/00(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆表面硬胶清洁自动化设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆表面硬胶清洁 自动化设备， 包括安装架、 进料储物盒、 表 面硬胶 去除机构、 侧面硬胶去除机构、 用于清洗晶圆片 的清洗机构、 用于检测晶圆片 的视觉检测机构、 成品储物盒、 机械手； 所述机械手安装于安装架 的安装平台上； 所述进料储物盒、 表面硬胶去除 机构、 侧面硬胶去除机构、 清洗机构、 视觉检测机 构、 成品储物盒依次环绕所述机械手布局； 所述 机械手可携带晶圆片依次经过表面硬胶去除机 构、 侧面硬胶去除机构、 清洗机构、 视觉检测机 构， 并将处理后的晶圆片输送至储物盒内。 本实 用新型可分别实现表面硬胶去除、 侧面硬胶去 除、 清洗液清洗、 视觉检测等功能， 满足自动化生 产的需求， 生产效率较高。 权利要求书2页 说明书5页 附图6页 CN 216728328 U 2022.06.14 CN 216728328 U 1.一种晶圆表面硬胶清洁自动化设备， 其特征在于： 包括安装架、 进料储物盒、 表面硬 胶去除机构(1)、 侧面硬胶去除机构(2)、 用于清洗晶圆片的清洗机构(3)、 用于检测晶圆片 的视觉检测机构(4)、 成品储物盒、 机 械手； 所述机械手安装于安装架的安装平台上； 所述进料储物盒、 表面硬胶去除机构(1)、 侧 面硬胶去除机构(2)、 清洗机构(3)、 视觉检测机构(4)、 成品储物盒依次环绕所述机械手布 局； 所述表面硬胶去除机构(1)包括刮刀组件A(1 ‑2)、 滑轨A(1 ‑3)、 晶圆安装架A(1 ‑1)、 驱 动电机A； 所述滑轨A(1 ‑3)垂直安装于安装平台上， 所述刮刀组件A(1 ‑2)安装于所述滑轨A (1‑3)上并可沿其轨道做上下滑移式运动； 所述晶圆安装架A(1 ‑1)安装于安装平台上， 晶圆 安装架A(1 ‑1)的上表 面安装有用于固定晶圆片的盘面A， 且 所述刮刀组件A(1 ‑2)与盘面A成 上下相对式布设； 所述驱动电机A安装于晶圆安装架A(1 ‑1)的内部， 且所述驱动电机A的驱 动轴与盘面A的中心连接并可 带动所述盘面A 做水平转动式运动； 所述侧面硬胶去除机构(2)包括刮刀组件B(2 ‑2)、 滑轨B(2 ‑1)、 晶圆安装盘B(2 ‑3)、 驱 动电机B； 所述滑轨B(2 ‑1)水平安装于安装平台上， 所述刮刀组件B(2 ‑2)安装于所述滑轨B (2‑1)上并可沿其轨道做水平滑移式运动； 所述晶圆安装盘B(2 ‑3)安装于安装平台上， 晶圆 安装盘B(2 ‑3)的上表面安装有用于固定晶圆片的盘面B， 且所述刮刀组件B(2 ‑2)布设于所 述盘面B侧周； 所述 驱动电机B安装于晶圆安装盘B(2 ‑3)的内部， 且 所述驱动电机B的驱动轴 与盘面B的中心连接并可 带动所述盘面B做水平转动式运动； 所述机械手可携带晶圆片依次经过表面硬胶去除机构(1)、 侧面硬胶去除机构(2)、 清 洗机构(3)、 视 觉检测机构(4)， 并将处 理后的晶圆片输送至储物盒内。 2.根据权利要求1所述的晶圆表面硬胶清洁自动 化设备， 其特征在于： 所述晶圆片通过 吸附的方式 固定于所述盘面A和/或盘面B上。 3.根据权利要求1所述的晶圆表面硬胶清洁自动化设备， 其特征在于： 所述刮刀组件A (1‑2)的底盘下表面安装有若干刮刀A(1 ‑4)， 且若干刮刀A(1 ‑4)沿刮刀组件A(1 ‑2)底盘下 表面的中心均匀布设。 4.根据权利要求1所述的晶圆表面硬胶清洁自动化设备， 其特征在于： 所述刮刀组件B (2‑2)包括安装壳B和 若干刮刀B(2 ‑4)； 所述安装壳B靠近所述晶圆安装盘B(2 ‑3)的一侧为 内凹的弧形， 刮刀B(2 ‑4)均匀布设于该弧面上， 且所述刮刀B(2 ‑4)的刀口正对于晶圆片的 侧周面。 5.根据权利要求1所述的晶圆表面硬胶清洁自动化设备， 其特征在于： 所述清洗机构 (3)包括晶圆安装盘C(3 ‑1)、 导轨C(3 ‑2)、 导轨D(3 ‑3)、 安装壳C、 清洗液储存槽、 清洗液喷嘴 (3‑5)、 海绵擦拭组件(3 ‑4)、 无尘布擦拭组件(3 ‑7)； 所述晶圆安装盘C(3 ‑1)安装于安装平台上， 所述导轨C(3 ‑2)安装于安装平台上； 所述 导轨D(3‑3)的一端通过连杆安装于所述导轨C(3 ‑2)上， 且所述导轨C(3 ‑2)和导轨D(3 ‑3)呈 垂直布设； 所述 安装壳C安装于所述 导轨D(3‑3)上， 且所述 安装壳C可沿Y向滑动式移动； 所述清洗液储存槽安装于所述安装壳C内； 所述清洗液喷嘴(3 ‑5)的一端通过管路连接 入所述清洗液储存槽内， 所述清洗液喷嘴(3 ‑5)的另一端向下并位于所述晶圆安装盘C(3 ‑ 1)的上方； 所述安装壳C内安装有两个气缸； 所述海绵擦拭组件(3 ‑4)、 无尘布擦拭组件(3 ‑7)分别权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216728328 U 2安装于气缸的活塞 端头上。 6.根据权利要求5所述的晶圆表面硬胶清洁自动 化设备， 其特征在于： 还包括可向下喷 气的喷气嘴(3 ‑6)； 所述喷气嘴(3 ‑6)安装于安装壳C内， 且与所述清洗液喷 嘴(3‑5)相邻。 7.根据权利要求1所述的晶圆表面硬胶清洁自动 化设备， 其特征在于： 所述视觉检测机 构包括晶圆安装盘D(4 ‑1)、 导轨E(4‑3)、 导轨F(4 ‑2)、 视觉检测器(4 ‑4)、 次品储 存盒； 所述晶圆安装盘D(4 ‑1)安装于安装平台上， 所述导轨E(4 ‑3)安装于安装架的顶面， 所 述导轨F(4 ‑2)可滑动式安装于所述导轨E(4 ‑3)上， 所述导轨E(4 ‑3)和导轨F(4 ‑2)呈垂直布 设； 所述视觉检测器(4 ‑4)通过连杆可滑动式安装于所述导轨F(4 ‑2)上， 且所述视觉检测 器(4‑4)正对于所述晶圆安装盘D(4 ‑1)的正上方； 所述次品储存盒安装于所述晶圆安装盘D (4‑1)内， 且邻近所述机 械手的一侧为 开口状。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216728328 U 3