(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123005083.8 (22)申请日 2021.12.02 (73)专利权人 浙江东尼电子股份有限公司 地址 313000 浙江省湖州市吴兴区织里镇 利济东路5 55号 专利权人 湖州东尼半导体科技有限公司 (72)发明人 沈晓宇　金丹丽　王思成　连旗锋　 李嘉炜　 (74)专利代理 机构 浙江千克知识产权代理有限 公司 33246 专利代理师 任婷婷 (51)Int.Cl. B28D 5/00(2006.01) B08B 1/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装 置 (57)摘要 本实用新型碳化硅技术领域， 尤其涉及一种 用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置。 本实用 新型通过用于刷洗衬底片的刷毛单元， 用于安装 刷毛单元的刷头单元， 以及设置在所述刷头单元 上并用于调整刷毛单元位置的按动柱单元起到 了调整刷毛面积的技术效果。 本实用新型具有结 构简单， 使用方便， 可通过一步按压操作的方式 实现了初步清理模式向深度清理模式切换， 并且 通过一步简单的拉动作用即可实现深度清理模 式向初步清理模式复位， 同时设有弹簧结构使 得 复位过程自动化， 以及设置限位结构保证内部零 件不会脱离的优点。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216968289 U 2022.07.15 CN 216968289 U 1.一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置， 其特征在于， 包括用于刷洗衬底片 （A） 的刷毛单元 （1） ， 用于安装所述刷毛单元 （1） 的刷头单元 （2） ， 以及设置在所述刷头单元 （2） 上并用于调整所述刷毛单 元 （1） 位置的按动柱单 元 （3） 。 2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置， 其特征在于， 所 述刷毛单元 （1） 包括设置在所述刷头单元 （2） 上的固定刷毛 （101） ； 所述刷头单元 （2） 包括用 于固定所述固定刷毛 （101） 的刷头块 （201） 。 3.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置， 其特征在于， 所 述刷毛单元 （1） 还包括设置在所述刷头块 （201） 上的升降板 （102） ， 以及设置在所述升降板 （102） 上的活动刷毛 （10 3） 。 4.根据权利要求3所述的一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置， 其特征在于， 所 述刷头单元 （2） 还包括设置在所述刷头块 （201） 上的刷头块空腔 （202） ， 以及设置在所述刷 头块空腔 （202） 上并用于安装所述升降板 （102） 的升降板孔 （20 3） 。 5.根据权利要求4所述的一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置， 其特征在于， 所 述刷头单元 （2） 还包括设置在所述刷头块 （201） 上且与所述刷头块空腔 （202） 连通并用于安 装所述按动柱单元 （3） 的按动柱孔 （204） ； 按动柱单元 （3） 包括设置在所述按动柱 孔 （204） 上 并用于连接所述升降板 （102） 的按动柱 （3 01） 。 6.根据权利要求5所述的一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置， 其特征在于， 所 述按动柱单元 （3） 还包括设置在所述按动柱 （301） 上的按动块 （302） ， 以及设置在所述按动 柱 （301） 上并用于向上顶起所述按动块 （3 02） 的按动柱弹簧 （3 03） 。 7.根据权利要求4所述的一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置， 其特征在于， 所 述刷毛单元 （1） 还包括设置在所述升降板 （102） 侧面上的卡合块 （104） ； 所述刷头单元 （2） 还 包括设置在所述刷头块 （201） 上且与所述刷头块空腔 （202） 连通的卡合柱孔 （205） ， 以及设 置在所述 卡合柱孔 （20 5） 上并用于卡 合所述卡合块 （104） 的卡 合柱 （206） 。 8.根据权利要求7所述的一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置， 其特征在于， 所 述刷头单元 （2） 还包括设置在所述卡合柱 （206） 上的弹簧板 （207） ， 以及设置在所述弹簧板 （207） 上并用于顶起所述刷头块空腔 （202） 内侧面的卡 合柱弹簧 （208） 。 9.根据权利要求6所述的一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置， 其特征在于， 所 述刷头单元 （2） 还包括设置在所述刷头块 （201） 上的安装筒 （209） ， 以及设置在所述安装筒 （209） 上并用于安装所述按动块 （3 02） 的按动块 孔 （210） 。 10.根据权利要求9所述的一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置， 其特征在于， 所述刷头单元 （2） 还包括设置在所述按动块 （302） 上并用于顶 起所述安装筒 （209） 内侧面的 卡合板 （211） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216968289 U 2一种用于碳 化硅衬底片刷洗过 程的刷头装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于碳化硅技术领域， 尤其涉及一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷 头装置。 背景技术 [0002]碳化硅是一种无机物， 是用石英砂、 石油焦、 木屑等原料通过电阻炉高温冶炼而 成。 碳化硅是现今最受关注的第三代半导体材料之一， 其在高温、 高压、 高频等条件下性能 优异， 在半导体照明光电器件、 电力电子、 射频微波器件、 激光器和探测器件、 太阳能电池和 生物传感器等其他器件等方面展现出了巨大的潜力， 碳化硅衬底片通常采用电镀金刚线切 割碳化硅晶棒的方法来制备， 然而在制备过程中可能会在碳化硅衬底片表面残留一些碎片 残渣需要清理， 然而传统的清理装置无法调整刷 毛面积， 无法对不同大小的碳化硅衬底片 进行适配， 所以市场上急需一种可以调整刷毛面积的碳 化硅衬底片清理装置 。 [0003]公开号为CN10958 5268A， 公开日为2019 ‑04‑05的中国发明专利公开了一种碳化硅 晶片的清洗方法， 包括等离子清洗和湿法清洗步骤， 包括SPM洗、 水洗、 HPM洗、 DHF洗和 N2环 境干燥等步骤。 [0004]虽然该发明具有等离子清洗和湿法清洗清洁程度高的优点； 但是该发明还存在清 理方式复杂的缺 点。 实用新型内容 [0005]本实用新型目的是提供一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置， 本实用新型 通过用于刷洗衬底片的刷 毛单元， 用于安装刷 毛单元的刷头单元， 以及设置在所述刷头单 元上并用于调整刷毛 单元位置的按动柱单元起到了调整刷毛面积的技术效果。 本实用新型 具有结构简单， 使用方便， 可通过一步按压操作的方式实现了初步清理模式向深度清理模 式切换， 并且通过一步简单 的拉动作用即可实现深度清理模式向初步清理模式复位， 同时 设有弹簧结构使得复位过程自动化， 以及设置限位结构保证内部零件不会脱离的优点。 [0006]本实用新型解决上述问题采用的技术方案是： 一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的 刷头装置， 包括用于刷洗衬底片的刷毛 单元， 用于安装所述刷毛 单元的刷头单元， 以及设置 在所述刷头单 元上并用于调整所述刷毛单 元位置的按动柱单 元。 [0007]进一步优选的技术方案在于： 所述刷毛单元包括设置在所述刷头单元上的固定刷 毛； 所述刷头单 元包括用于固定所述固定刷毛的刷头块。 [0008]进一步优选的技术方案在于： 所述刷毛单元还包括设置在所述刷头块上的升降 板， 以及设置在所述升降板上的活动刷毛。 [0009]进一步优选的技术方案在于： 所述刷头单元还包括设置在所述刷头块上的刷头块 空腔， 以及设置在所述刷头块空腔上并用于安装所述升降板的升降板孔。 [0010]进一步优选的技术方案在于： 所述刷头单元还包括设置在所述刷头块上且与所述 刷头块空腔连通并用于安装所述按动柱单元的按动柱孔； 按动柱单元包括设置在所述按动说　明　书 1/4 页 3 CN 216968289 U 3