(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123097043.0 (22)申请日 2021.12.10 (73)专利权人 无锡矽晶半导体科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市惠山区堰桥 街 道堰桥配套区(南区)西昌路20号 (72)发明人 刘磊　王小波　郑强　 (74)专利代理 机构 无锡派尔特知识产权代理事 务所(普通 合伙) 32340 专利代理师 杨强　杨立秋 (51)Int.Cl. B08B 1/04(2006.01) B08B 1/00(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种硅片表面清洁装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种硅片表 面清洁装置， 包括： 装置本体， 装置本体的内侧中部水平安装 有固定机构， 固定机构的两侧分别安装有清洁机 构， 清洁机构 包括清洁箱、 限位杆和螺杆， 螺杆和 限位杆水平设置在装置本体的内部且端部与装 置本体转动连接， 清洁箱的表 面开设有通孔且通 过通孔分别与螺杆和限位杆连接， 且与螺杆连接 的通孔内部设置有内螺纹。 本实用新型将硅片夹 持在固定机构中， 并通过驱动电机带动螺杆转 动， 从而同时驱动两个清洁机构进行水平移动， 并且配合喷头喷出清洁液来将 硅片表面打湿， 清 洁电机带动清洁盘转动， 从而通过刷毛来对硅片 表面进行清洁， 从硅片两面同时清洁， 清洁效率 高， 且清洁的效果佳。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216460370 U 2022.05.10 CN 216460370 U 1.一种硅片表面清洁装置， 包括： 装置本体 （1） ， 其特征在于： 所述装置本体 （1） 的内侧 中部水平安装有固定机构 （7） ， 所述固定机构 （7） 的两侧分别安装有清洁机构， 所述清洁机 构包括清洁箱 （4） 、 限位杆 （6） 和螺杆 （8） ， 所述螺杆 （8） 和限位杆 （6） 水平设置在装置本体 （1） 的内部且端部与装置本体 （1） 转动连接， 所述清洁箱 （4） 的表面开设有通孔 （22） 且通过 通孔 （22） 分别与螺杆 （8） 和限位杆 （6） 连接， 且与螺杆 （8） 连接的通孔 （22） 内部设置有 内螺 纹； 所述清洁箱 （4） 的表面中部向内凹陷并连接有清洁电机 （13） ， 所述清洁电机 （13） 的动 力输出端上安装有清洁盘 （12） ， 所述清洁盘 （12） 的表 面设置有刷毛且刷毛的端部与固定机 构 （7） 表面连接 。 2.根据权利要求1所述的一种硅片表面清洁装置， 其特征在于： 所述装置本体 （1） 的外 壁上端安装有驱动电机 （2） ， 所述 驱动电机 （2） 的动力输出端与固定机构 （7） 上方的螺杆 （8） 连接， 且两个螺杆 （8） 的末端均延伸至装置本体 （1） 外侧壁连接有传动轮 （10） ， 两个所述传 动轮 （10） 采用传动带 （9） 连接 。 3.根据权利要求1所述的一种硅片表面清洁装置， 其特征在于： 所述固定机构 （7） 包括 两个固定板 （18） 和安装在两个固定板 （18） 之间的底盒 （17） 和盒盖 （19） ， 所述底盒 （17） 和盒 盖 （19） 采用铰链转动连接， 且底盒 （17） 和盒盖 （19） 的表面均开设有安装槽 （20） ， 所述安装 槽 （20） 的内壁 一侧固定有挡板 （21） ， 所述固定 板 （18） 与装置 本体 （1） 的内壁连接 。 4.根据权利要求1所述的一种硅片表面清洁装置， 其特征在于： 所述装置本体 （1） 的内 部形成有储 液箱 （5） ， 所述储 液箱 （5） 的顶部安装有 过滤网 （14） ， 储 液箱 （5） 的内部固定有水 泵 （15） 。 5.根据权利要求4所述的一种硅片表面清洁装置， 其特征在于： 所述水泵 （15） 的动力输 出端上安装有 连接管 （16） ， 所述连接管 （16） 呈T型结构且一端 竖直向上延伸、 另一端向左侧 水平延伸并固定有导液管 （3） ， 所述导液管 （3） 呈冂字形结构且由装置本体 （1） 外侧向上延 伸， 所述导液管 （3） 和连接管 （16） 的上端均安装伸缩 软管 （11） ， 所述伸缩 软管 （11） 的末端分 别与两个清洁箱 （4） 连接 。 6.根据权利要求5所述的一种硅片表面清洁装置， 其特征在于： 所述清洁箱 （4） 的内部 开设有与伸缩软 管 （11） 连通的导液腔 （24） ， 清洁箱 （4） 的端部固定有喷头 （23） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216460370 U 2一种硅片表面清洁装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及硅片清洁装置技 术领域， 更 具体为一种硅片表面清洁装置 。 背景技术 [0002]目前在太阳能电池片的生产过程中， 采用对硅片表面进行吹气的操作来去除硅片 表面的杂质， 但是， 有些杂质并不能被有效的吹走， 这些杂质残留在硅片表面， 就会影响后 续的使用。 也可对硅片进行刷洗或擦洗 。 [0003]目前， 现有的硅片清洁装置， 对硅片单面清洁， 且在单面清洁完成后将硅片翻转， 再对另一 面进行清洁， 清洁的效率低。 为此， 需要设计一个新的方案给予改进。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种硅片表面清洁装置， 解决了现有的硅片清洁装 置， 对硅片单面清洁， 且在单面清洁完成后将硅片翻转， 再对另一面进行清洁， 清洁的效率 低的问题， 满足 实际使用需求。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种硅片表面清洁装置， 包括： 装置本体， 所述装置本体的内侧中部水平安装有固定机构， 所述固定机构的两侧分别安装 有清洁机构， 所述清洁机构包括清洁箱、 限位杆和螺杆， 所述螺杆和限位杆水平设置在 装置 本体的内部且端部与装置本体转动连接， 所述清洁箱的表面开设有通孔且通过通孔分别与 螺杆和限位杆 连接， 且与螺杆 连接的通 孔内部设置有内螺纹； [0006]所述清洁箱的表面中部向内凹陷并连接有清洁电机， 所述清洁电机的动力输出端 上安装有清洁盘， 所述清洁盘的表面设置有刷毛且刷毛的端部与固定 机构表面连接 。 [0007]作为本实用新型的一种优选方式， 所述装置本体 的外壁上端安装有驱动电机， 所 述驱动电机的动力输出端与固定机构上方的螺杆连接， 且两个螺杆的末端均延伸至装置本 体外侧壁连接有传动轮， 两个所述传动轮采用传动带 连接。 [0008]作为本实用新型的一种优选方式， 所述固定机构包括两个固定板和安装在两个固 定板之间的底盒和盒盖， 所述底盒和盒盖采用铰链转动连接， 且底盒和盒盖的表面均开设 有安装槽， 所述 安装槽的内壁 一侧固定有挡板， 所述固定 板与装置 本体的内壁连接 。 [0009]作为本实用新型的一种优选方式， 所述装置本体 的内部形成有储液箱， 所述储液 箱的顶部安装有过 滤网， 储液箱的内部固定有水泵。 [0010]作为本实用新型的一种优选方式， 所述水泵的动力输出端上安装有连接管， 所述 连接管呈T 型结构且一端 竖直向上延伸、 另一端向左侧水平延伸并固定有导液管， 所述导液 管呈冂字形结构且由装置本体外侧向上延伸， 所述导液管和连接管的上端均安装伸缩软 管， 所述伸缩软 管的末端分别与两个清洁箱连接 。 [0011]作为本实用新型的一种优选方式， 所述清洁箱的内部开设有与伸缩软管连通的导 液腔， 清洁箱的端部固定有喷头 。 [0012]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果如下：说　明　书 1/3 页 3 CN 216460370 U 3