(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 2021234140 09.1 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 绍兴市赛拉摩尔电子有限公司 地址 312000 浙江省绍兴 市越城区皋北村 （绍兴市化纤纱线 厂内） 1幢一车间 (72)发明人 沈佳　 (74)专利代理 机构 北京盛凡佳华专利代理事务 所(普通合伙) 11947 专利代理师 张丽娜 (51)Int.Cl. B24B 7/16(2006.01) B24B 41/04(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 47/00(2006.01) F16F 15/067(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于精密石墨件加工的端面磨平装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种用于精密石墨件加工 的端面磨平装置， 包括工作台， 所述工作台的外 部设置有调节机构， 所述调节机构的外部设置有 安装机构， 所述工作台的内部设置有固定机构， 所述调节机构包括固定安装于工作台外部的液 压推杆， 所述液压推杆的输出端固定连接有安装 板， 所述安装板的内部固定连接有驱动电机， 所 述驱动电机的输出轴上固定连接有安装座， 所述 安装机构 包括活动连接有安装座内部的活动杆， 所述安装座的内部固定连接有限位弹簧， 所述限 位弹簧的外部固定连接有限位块。 该用于精密石 墨件加工的端面磨平装置， 按压活动杆使限位块 卡接至卡接槽的内部， 让限位块回缩进安装座的 内部， 使连接座脱离安装座的内部， 具备适应性 强的优点。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217619530 U 2022.10.21 CN 217619530 U 1.一种用于精密石墨件加工的端面磨平装置， 包括工作台(1)， 其特征在于： 所述工作 台(1)的外部设置有调节机构， 所述调节机构的外部设置有安装机构， 所述工作台(1)的内 部设置有固定 机构； 所述调节机构包括固定安装于工作 台(1)外部的液压推杆(2)， 所述液压推杆(2)的输 出端固定连接有安装板(3)， 所述安装板(3)的内部固定连接有驱动电机(4)， 所述 驱动电机 (4)的输出轴上固定连接有安装座(5)； 所述安装机构包括活动连接有安装座(5)内部的活动杆(6)， 所述活动杆(6)的底部固 定连接有支撑弹簧(7)， 所述安装座(5)的内部固定连接有限位弹簧(8)， 所述限位弹簧(8) 的外部固定连接有限位 块(9)， 所述 安装座(5)的内部活动连接有连接座(10)。 2.根据权利要求1所述的一种用于精密石墨件加工的端面磨平装置， 其特征在于： 所述 固定机构包括固定安装于工作台(1)外部的气缸(11)， 所述气缸(11)的输出轴上固定连接 有左固定块(12)， 所述左固定块(12)的底部固定连接有滑块(13)。 3.根据权利要求2所述的一种用于精密石墨件加工的端面磨平装置， 其特征在于： 所述 固定机构还包括固定连接于工作台(1)顶部的支撑柱(14)， 所述支撑柱(14)的内部活动连 接有固定杆(15)， 所述固定杆(15)靠 近左固定块(12)的一端固定连接有右固定块(17)。 4.根据权利要求3所述的一种用于精密石墨件加工的端面磨平装置， 其特征在于： 所述 固定杆(15)的外部活动安装有固定弹簧(16)， 所述工作台(1)的内部开设有滑槽， 所述滑 块 (13)活动连接 于滑槽的内部 。 5.根据权利要求1所述的一种用于精密石墨件加工的端面磨平装置， 其特征在于： 所述 活动杆(6)的内部开设有卡接槽， 所述卡接槽与限位块(9)相适配， 所述活动杆(6)贯穿至安 装座(5)的外 部。 6.根据权利要求1所述的一种用于精密石墨件加工的端面磨平装置， 其特征在于： 所述 连接座(10)的底部固定连接有磨平刀片(18)， 所述限位块(9)远离活动杆(6)的一端延伸至 连接座(10)的内部 。 7.根据权利要求4所述的一种用于精密石墨件加工的端面磨平装置， 其特征在于： 所述 滑块(13)的数量为两个， 其中所述滑块(13)固定安装于右固定块(17)的底部， 所述固定弹 簧(16)位于右固定块(17)与支撑柱(14)之间。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217619530 U 2一种用于精密石墨件加工的端面磨平装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及石墨件加工技术领域， 具体为一种用于精密石墨件加工的端面磨 平装置。 背景技术 [0002]半导体晶体被广泛应用于集成电路、 光电子器件和电力电子等领域， 因此必须保 证半导体晶体的纯度， 此外， 还要提高半导体晶体的制备效率， 目前， 半导体晶体的合成需 要大量石墨件， 如 石墨坩埚与石墨保温桶等， 随着半导体生产规模的逐步扩大， 对石墨件的 需求量也逐步增大， 此外， 目前主流的半导体晶体生长技术是物理气相输运(PVT)法， 即在 高温下使半导体原料升华产生的气相源输运至籽晶处重新结 晶而成， 因此， 必须保证石墨 件的端面处于水平状态， 从而使不同位置气相半导体的传输路径长度一样， 温度梯度相同， 使气相原料在籽晶处结晶温度相同， 保证制备的半导体晶体的质量。 [0003]现有技术中， 主要采用人工方式加工生长半导体晶体用的石墨件， 效率低下， 自动 化程度低， 且在加工过程中多次接触金属， 容易降低半导体晶体的纯度， 此外， 在加工过程 中磨平装置的磨平刀片的损耗十分迅速， 但磨平刀片的更换不便， 导致对石墨件端面磨平 的效率降低。 实用新型内容 [0004]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种用于精密石墨件加工的端面磨平装 置， 具备方便更换刀片和自动 磨平等优点， 解决了磨平刀片的更换不便， 导致对石墨件端面 磨平的效率降低的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种用于精密石墨件加工 的端 面磨平装置， 包括工作台， 所述工作台的外部 设置有调节机构， 所述调节机构的外部 设置有 安装机构， 所述工作台的内部设置有固定机构， 所述调节机构包括固定安装于工作台外部 的液压推杆， 所述液压推杆的输出端固定连接有安装板， 所述安装板的内部固定连接有驱 动电机， 所述驱动电机的输出轴 上固定连接有安装座， 所述安装机构包括活动连接有安装 座内部的活动杆， 所述活动杆的底部固定连接有支撑弹簧， 所述安装座的内部固定连接有 限位弹簧， 所述限位弹簧的外 部固定连接有限位 块， 所述安装座的内部活动连接有连接座。 [0006]进一步， 所述固定机构包括固定安装于工作台外部 的气缸， 所述气缸的输出轴上 固定连接有左固定块， 所述左固定块的底部固定连接有滑块。 [0007]进一步， 所述固定机构还包括固定连接于工作台顶部 的支撑柱， 所述支撑柱的内 部活动连接有固定杆， 所述固定杆靠 近左固定块的一端固定连接有右固定块。 [0008]进一步， 所述固定杆的外部活动安装有固定弹簧， 所述工作台的内部开设有滑槽， 所述滑块活动连接 于滑槽的内部 。 [0009]进一步， 所述活动杆的内部开设有卡接槽， 所述卡接槽与限位块相适配， 所述活动 杆贯穿至安装座的外 部。说　明　书 1/3 页 3 CN 217619530 U 3