(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210638647.1 (22)申请日 2022.06.07 (66)本国优先权数据 202111392108.6 2021.1 1.19 CN (71)申请人 江西蓝微电子科技有限公司 地址 343621 江西省吉安市井冈山经济技 术开发区 (72)发明人 彭庶瑶　彭晓飞　 (74)专利代理 机构 南昌洪达专利事务所 3 6111 专利代理师 刘凌峰 (51)Int.Cl. C22C 5/06(2006.01) C22C 1/02(2006.01) C22F 1/14(2006.01) C22F 1/02(2006.01)G01N 3/02(2006.01) G01N 3/04(2006.01) G01N 3/10(2006.01) H01L 21/60(2006.01) (54)发明名称 一种银合金键合丝及其制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种银合金键合丝及其制备 方法， 银合金键合丝包括以下重量百分比的材料 制备而成， 钯1 .4％ ‑2 .9％， 微量元素300 ‑ 800ppm， 其余为银。 本发明的银合金键合丝具有 良好抗氧化性和成球性， 其制备方法工艺简单， 通过拉力测试装置进行拉力测试， 能够出厂的银 合金键合丝的整体品质。 权利要求书2页 说明书4页 附图1页 CN 115058620 A 2022.09.16 CN 115058620 A 1.一种银合金键合丝的制备方法， 其特征在于： 包括以下重量百分比的材料制备而成， 钯1.4％‑2.9％， 微 量元素300‑800ppm， 其余为银； 所述方法包括以下步骤， S1、 按比例将银和钯置 于备料斗中； S2、 将所述备 料斗中的银和钯置入熔化炉中 融化成合金 溶液； S3、 在熔化炉外将待添加的微 量元素在惰性气体保护下 熔化， 再添加入所述 合金熔液； S4、 将合金 熔液冷却并通过定向连续拉工艺， 获得直径为5－7m m的线材； S5、 将线材进行均匀化退火， 冷却至室温过程 一直通入保护气； S6、 将步骤S5得到的线材进行拉丝， 获得直径为70 ‑200um的银合金键合丝； S7、 将拉丝后的银合金键合丝再次进行 退火； S8、 表面清洗， 烘干； S9、 对银合金键合丝进行 取样， 然后放入拉力测试装置中进行拉力测试； S10、 测试合格后将成品银合金键合丝进行复绕、 分卷、 包 装。 2.根据权利要求1所述的一种银合金键合丝的制备方法， 其特征在于： 所述微量元素为 硅、 铌、 镍、 铱、 钛、 铬中的一种或者是多种组合。 3.根据权利要求1所述的一种银合金键合丝的制备方法， 其特征在于： 所述步骤S5 中控 制退火温度为6 50‑850℃， 退火时间为3 ‑6小时， 保护气氛为氮气。 4.根据权利要求1所述的一种银合金键合丝的制备方法， 其特征在于： 所述步骤S7中退 火温度为 450‑650℃， 退火时间为2 ‑6秒， 保护气氛为98％的氮气加2％的氢气。 5.根据权利要求1所述的一种银合金键合丝的制备方法， 其特征在于： 所述步骤S9中拉 力测试装置包括底座(1)、 固定装夹组件和拉拔组件； 所述底座(1)的上端面的两端分别设 有安装板(2)和安装座(9)， 所述固定装置组件设置在所述安装板(2)上， 所述固定装夹组件 用于固定待测试的银合金键合丝(7)的一端； 所述拉拔组件包括装夹头(4)、 连接杆一(20)、 连接杆二(22)、 连接头(16)和液压缸(8)； 所述连接杆一(20)的一端和所述装夹头(4)连接， 另一端和所述连接杆二(22)转动连接； 所述连接头(16)内设有活动腔(14)， 所述连接杆二 (22)与所述活动腔(14)活动配合， 所述连接杆二(22)位于所述活动腔(14)内的一端设有电 磁铁一(17)， 所述活动腔(14)的腔底设有电磁铁二(15)， 所述活动腔(14)内设有缓冲装置， 所述缓冲装置包括环形板(19)和若干缓冲弹簧(13)， 所述缓冲弹簧(13)的一端和活动腔 (14)的腔顶连接， 另一端和所述环形板(19)连接， 所述连接杆一(20)穿过所述环形板(19)； 所述液压缸(8)的一端和所述连接 头(16)连接， 另一端和所述 安装座(9)连接 。 6.根据权利要求5所述的一种银合金键合丝的制备方法， 其特征在于： 所述固定装夹组 件包括连接杆三(3)和所述装夹头(4)， 所述连接杆三(3)的一端和所述安装板(2)的侧端面 连接， 另一端和所述装夹 头(4)连接 。 7.根据权利要求5所述的一种银合金键合丝的制备方法， 其特征在于： 所述拉力测试装 置还包括导向头(5)， 所述导向头(5)设置在所述底座(1)的上端面， 所述导向头(5)上设有 用于供待测试的银合金键合丝(7)穿过的导向孔(6)。 8.根据权利要求5所述的一种银合金键合丝的制备方法， 其特征在于： 所述电磁铁一 (17)的外圆周面上设置有若干导向块(11)， 所述活动腔(14)的内壁上设有若干与所述导向 块(11)配合的弧形槽(18)。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115058620 A 29.根据权利要求5所述的一种银合金键合丝的制备方法， 其特征在于： 所述拉力测试装 置还包括限位杆(10)， 所述限位杆(10)用于防止所述连接杆一(20)转动。 10.一种银合金键合丝， 其特征在于： 由权利要求1 ‑9任意一项所述的银合金键合丝的 制备方法制得。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115058620 A 3