(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122628019.9 (22)申请日 2021.10.2 9 (73)专利权人 北京博宇半导体 工艺器皿 技术有 限公司 地址 101100 北京市通州区工业 开发区 专利权人 博宇 （朝阳） 半导体科技有限公司 　 博宇 （天津） 半导体材 料有限公司 (72)发明人 何军舫　王军勇　 (74)专利代理 机构 北京华专卓 海知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11664 代理人 王文峰 (51)Int.Cl. B23K 26/21(2014.01) B23K 26/70(2014.01) (54)实用新型名称 一种适用不同直径的束流环的焊 接工装 (57)摘要 本实用新型公开了一种适用不同直径的束 流环的焊接工装， 包括支撑底台、 底板固定机构 及顶板固定机构； 支撑底台包括圆柱形的支撑 台， 支撑台的顶面的中心设置有圆形凹槽， 圆形 凹槽的槽底中心设置有第一螺纹孔， 圆形凹槽的 内部设置有可拆卸的圆形支 撑板， 圆形支撑板的 底面中心对应第一螺纹孔设置有螺柱， 螺柱可旋 入第一螺纹孔的内部设置； 底板固定机构可拆卸 的设置于支撑底台的顶面， 用于对束流环底板进 行按压定位； 顶板固定机构可拆卸的设置于支撑 底台的顶面， 用于对束流环顶板进行按压定位。 本实用新型的焊接工装， 通过设置的可拆卸的圆 形支撑板及配置的不同长度的定位螺栓， 可以实 现焊接不同直径的束流环， 通用性高。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 216096985 U 2022.03.22 CN 216096985 U 1.一种适用不同直径的束流环的焊接工装， 其特征在于， 包括支撑底台、 底板 固定机构 及顶板固定 机构； 其中， 所述支撑底台， 包括 圆柱形的支撑台， 所述支撑台的顶面的中心设置有圆形凹槽， 所述 圆形凹槽的槽底中心设置有第一螺纹孔， 所述圆形凹槽的内部设置有可拆卸的圆形支撑 板， 所述圆形支撑板的底面中心对应所述第一螺纹孔设置有螺柱， 所述螺柱可旋入所述第 一螺纹孔的内部设置； 所述底板固定机构， 可拆卸的设置于所述支撑底台的顶面， 用于对束流环底板进行按 压定位； 所述顶板固定机构， 可拆卸的设置于所述支撑底台的顶面， 用于对束流环顶板进行按 压定位。 2.根据权利要求1所述的适用不同直径的束流环的焊接工装， 其特征在于， 所述支撑 台 的顶面上设置有六个第二螺纹孔， 其中四个所述第二螺纹孔呈十字形设置； 其中三个所述 第二螺纹孔呈等边三角形设置； 所述支撑台的外侧的侧壁上沿其周向均匀的设置有贯穿所 述圆形凹槽内外 部的螺纹通 孔， 对应所述螺纹通 孔设置有定位螺 栓。 3.根据权利要求2所述的适用不同直径的束流环的焊接工装， 其特征在于， 所述底板 固 定机构包括对应所述圆形支撑板设置的圆台型定位座， 所述圆台型定位座的顶面上设置有 十字形固定架， 所述十 字形固定架的末端对应十 字形的所述第二螺纹孔设置有第一 通孔。 4.根据权利要求3所述的适用不同直径的束流环的焊接工装， 其特征在于， 所述顶板 固 定机构包括对应所述圆形支撑板设置的圆形按压板， 所述圆形按压板的外侧壁面上对应等 边三角形的所述第二螺纹孔设置有固定凸台， 所述固定凸台的厚度大于所述圆形按压板的 厚度， 所述固定凸台的底面靠近所述圆形按压板的一侧对应所述圆形凹槽设置有弧形卡 台； 所述固定凸台的顶面上对应等 边三角形的所述第二螺纹孔设置有第二 通孔。 5.根据权利要求4所述的适用不同直径的束流环的焊接工装， 其特征在于， 对应所述第 二螺纹孔、 第一 通孔及第二 通孔设置有固定 螺栓。 6.根据权利要求5所述的适用不同直径的束流环的焊接工装， 其特征在于， 所述 圆台型 定位座的底面及圆形按压 板的底面均小于所述圆形凹槽的槽底设置 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216096985 U 2一种适用不同直径的 束流环的焊接工装 技术领域 [0001]本实用新型涉及焊接定位设备技术领域， 尤其涉及一种适用不同直径的束流环的 焊接工装。 背景技术 [0002]束流环， 设置于坩埚的出气口处， 用于均匀分配气 流； 包括底板、 顶板及环形件， 其 中底板、 顶板及环形件上均匀的分布有若干通孔； 用于使用时需要将底板及顶板焊接在环 形件上， 需要通过焊接工装对其进行定位再焊接， 而现有技术中的束流环的焊接工装仅能 针对一个尺寸的束流环进 行焊接， 通用性低； 并且原始技术手段为手持束流环的底板、 顶板 及环形件通过焊接机开展焊接工作， 底板及顶板较薄， 受热容易变形， 扭曲， 并且手持焊接 不但焊接效率低还 存在安全隐患。 实用新型内容 [0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足， 期望提供一种适用不同直径的束流环的焊接 工装。 [0004]本实用新型提供的一种适用不 同直径的束流环的焊接工装， 包括支撑底台、 底板 固定机构及顶板固定 机构； 其中， [0005]所述支撑底台， 包括圆柱形的支撑台， 所述支撑台的顶面的中心设置有圆形凹槽， 所述圆形 凹槽的槽底中心设置有第一螺纹孔， 所述圆形凹槽的内部 设置有可拆卸的圆形支 撑板， 所述圆形支撑板的底面中心对应所述第一螺纹孔设置有螺柱， 所述螺柱可旋入所述 第一螺纹孔的内部设置； [0006]所述底板固定机构， 可拆卸的设置于所述支撑底台的顶面， 用于对束流环底板进 行按压定位； [0007]所述顶板固定机构， 可拆卸的设置于所述支撑底台的顶面， 用于对束流环顶板进 行按压定位。 [0008]优选的， 所述支撑台的顶面上设置有六个第二螺纹孔， 其中四个所述第二螺纹孔 呈十字形设置； 其中三个所述第二螺纹孔呈等边三角形设置； 所述支撑台的外侧的侧 壁上 沿其周向均匀的设置有贯穿所述圆形 凹槽内外部的螺纹通孔， 对应所述螺纹通孔设置有定 位螺栓。 [0009]优选的， 所述底板固定机构包括对应所述圆形支撑板设置 的圆台型定位座， 所述 圆台型定位座的顶面上设置有十字形固定架， 所述十字形固定架的末端对应十字形的所述 第二螺纹孔设置有第一 通孔。 [0010]优选的， 所述顶板固定机构包括对应所述圆形支撑板设置 的圆形按压板， 所述圆 形按压板的外侧壁面上对应等边三角形的所述第二螺纹孔设置有固定凸台， 所述固定凸台 的厚度大于所述圆形按压板的厚度， 所述固定凸台的底面靠近所述圆形按压板的一侧对应 所述圆形 凹槽设置有弧形卡台； 所述固定凸台的顶面上对应等边三角形的所述第二螺纹孔说　明　书 1/4 页 3 CN 216096985 U 3