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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123081787.3 (22)申请日 2021.12.09 (73)专利权人 无锡市尚领石英科技有限公司 地址 214406 江苏省无锡市江阴市徐霞客 镇璜塘工业园区富 业路8号 (72)发明人 张国忠 高文送 汪涵 朱海江  李国洪 朱燕亚  (74)专利代理 机构 江阴市轻舟专利代理事务所 (普通合伙) 32380 专利代理师 仲红敏 (51)Int.Cl. B03C 1/30(2006.01) B07B 1/34(2006.01) B07B 1/42(2006.01) B07B 1/46(2006.01) (54)实用新型名称 单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置 (57)摘要 本实用新型公开了单晶石英坩埚生产用可 过滤气泡杂质装置, 包括支撑台, 支撑台内壁设 有凹槽, 凹槽顶端设有壳体, 壳体底端一侧通过 转轴一与凹槽转动连接, 壳体底端另一侧通过偏 心块与凹槽活动连接, 偏心块内壁套设有转轴 二, 壳体内壁设有过滤组件, 壳体外壁于凹槽一 侧设有动力组件, 壳体内壁于过滤组件上方设有 辅助机构, 支撑台外壁设有缩口管, 缩口管通过 风琴管与壳体连接。 本实用新型通过设置凹槽、 壳体、 挂板、 挂钩、 挡板和缩口管, 可以使偏心块 的三个角轮流与壳体底端接触, 使得壳体围绕着 转轴一上下反复转动, 带动过滤箱上下反复移 动, 从而加强物料与过滤箱底端过滤网的接触面 积, 增强过滤箱的过滤效果。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 216779085 U 2022.06.21 CN 216779085 U 1.单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置, 包括支撑台(1), 其特征在于: 所述支撑 台(1)内壁设有凹槽(2), 所述凹槽(2)顶端设有壳体(3), 所述壳体(3)底端一侧通过转轴一 (4)与所述凹槽(2)转动连接, 所述壳体(3)底端另一侧通过偏心块(5)与所述凹槽(2)活动 连接, 所述偏心块(5)内壁套设有转轴二(6), 所述壳体(3)内壁设有 过滤组件(7), 所述壳体 (3)外壁于所述凹槽(2)一侧设有动力组件(16), 所述壳体(3)内壁于所述过滤 组件(7)上方 设有辅助机构(8), 所述支撑台(1)外壁设有缩口管(9), 所述缩口管(9)通过风琴管(10)与 所述壳体(3)连接 。 2.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置, 其特征在于: 所述 过滤组件(7)包括滑轨(11), 所述滑轨(11)对称设于所述壳体(3)内壁, 所述滑轨(11)顶端 活动设有过滤箱(12), 所述过滤箱(12)内壁设有过滤网(13), 所述过滤箱(12)外壁贯穿于 所述壳体(3)一侧活动设有挡板(14)。 3.根据权利要求2所述的单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置, 其特征在于: 所述 过滤箱(12)与所述滑轨(11)相匹配, 所述挡板(14)顶端延伸至所述壳体(3)外壁, 所述挡板 (14)通过转轴三与所述壳体(3)转动连接, 所述过滤箱(12)外壁于所述挡板(14)下方设有 拉手(15)。 4.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置, 其特征在于: 所述 转轴二(6)与所述凹槽(2)转动连接, 所述动力组件(16)包括电机一(17), 所述电机一(17) 设于所述转轴二(6)外壁延伸至所述壳体(3)外侧一端, 所述电机一(17)底端通过安装块与 所述壳体(3)连接 。 5.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置, 其特征在于: 所述 辅助机构(8)包括挂板(18), 所述挂板(18)对称设于所述壳体(3)内壁, 所述挂板(18)通过 挂钩(20)与所述壳体(3)活动连接, 所述 挂板(18)外壁对称设有磁块(21)。 6.根据权利要求5所述的单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置, 其特征在于: 所述 壳体(3)内壁于所述挂板(18)之间设有转轴四(19), 所述转轴四(19)与所述壳体(3)转动连 接, 所述转轴四(19)外壁设有挡板(14), 所述转轴四(19)外壁延伸至所述壳体(3)外侧一端 设有电机二(2 2)。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 216779085 U 2单晶石英 坩埚生产用可 过滤气泡杂质装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及石英坩埚技术领域, 具体为单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质 装置。 背景技术 [0002]石英砂是石英石经破碎加工而成的石英颗粒。 石英石是一种非金属矿物质, 一种 坚硬、 耐磨、 化学性能稳定的硅酸盐矿物, 从矿山开采出的石英石经加工后, 经粉碎、 筛选、 水洗等工艺加工而成。 外观呈多棱形、 球状, 纯白色, 具有机械强度高、 截污能力强、 耐酸性 能好等特点。 [0003]石英坩埚, 具有高纯度、 耐温性强、 尺寸大精度高、 保温性好、 节约能源、 质量稳定 等优点, 应用越来越广泛, 石英坩埚可在1450度以下使用, 分透明和不透明两种。 用电弧法 制的半透明石英坩埚是拉制大直径单 晶硅, 发展大规模集成电路必不可少的基础材料, 在 制作石英坩埚时, 如果所使用的石英砂内混有杂质, 会使得石英坩埚表面产生气泡, 从而影 响石英坩埚的质量, 所以在使用前需要对石英砂进行 过滤。 [0004]现有的过滤设备, 在使用过程中过滤筛震动的幅度和频率过小, 导致过滤效果不 佳。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的在于提供单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置, 以解决上 述背景技 术中提出的问题。 [0006]为了解决上述技术问题, 本实用新型提供如下技术方案: 单晶石英坩埚生产用可 过滤气泡杂质装置, 包括支撑台, 所述支撑台内壁设有凹槽, 所述凹槽顶端设有壳体, 所述 壳体底端一侧通过转轴一与所述凹槽转动连接, 所述壳体底端另一侧通过偏心 块与所述凹 槽活动连接, 所述偏心 块内壁套设有转轴二, 所述壳体内壁设有 过滤组件, 所述壳体外壁于 所述凹槽一侧设有动力组件, 所述壳体内壁于所述过滤组件上方设有辅助机构, 所述支撑 台外壁设有缩口管, 所述缩口管通过风琴管与所述壳体连接 。 [0007]进一步的, 所述过滤组件包括滑轨, 所述滑轨对称设于所述壳体内壁, 所述滑轨顶 端活动设有过滤箱, 所述过滤箱内壁设有过滤网, 所述过滤箱外壁贯穿于所述壳体一侧活 动设有挡板 。 [0008]进一步的, 所述过滤箱与所述滑轨相匹配, 所述挡板顶端延伸至所述壳体外壁, 所 述挡板通过转轴三与所述壳体转动连接, 所述过滤箱外壁于所述挡板下方设有拉手, 便于 抽拉过滤箱。 [0009]进一步的, 所述转轴二与所述凹槽转动连接, 所述动力组件包括电机一, 所述电机 一设于所述转轴二外壁延伸至所述壳体外侧一端, 所述电机一底端通过安装块与所述壳体 连接, 对电机一进行支撑 。 [0010]进一步的, 所述辅助机构包括挂板, 所述挂板对称设于所述壳体内壁, 所述挂板通说 明 书 1/4 页 3 CN 216779085 U 3

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