(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123441794.X (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 北京华林嘉 业科技有限公司 地址 101118 北京市通州区宋庄镇后夏公 庄村村委会东南1000米 (72)发明人 耿彪　 (74)专利代理 机构 北京东方芊悦知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11591 专利代理师 刘太雷 (51)Int.Cl. B08B 3/08(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 21/14(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶片清洗 干燥槽 (57)摘要 本实用新型涉及一种晶片清洗干燥槽， 属于 晶片加工技术领域， 包括槽体、 槽盖， 所述槽体内 设有用于放置晶片的晶片载具， 所述槽盖内设有 用于晶片干燥的干燥机构， 所述槽盖与槽体之间 设有转动连接组件， 所述干燥机构与转动连接组 件连接。 本实用新型结构合理、 各组件之间采用 可拆卸连接， 便于安装维护， 自动化程度高， 同时 晶片干燥的效果 好， 晶片的质量高。 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 CN 216937370 U 2022.07.12 CN 216937370 U 1.一种晶片清洗干燥槽， 包括槽体(1)、 槽盖(2)， 所述槽体(1)内设有用于放置晶片的 晶片载具(3)， 其特征在于， 所述槽盖(2)内设有用于晶片干燥的干燥机构(4)， 所述槽盖(2) 与槽体(1)之间设有转动连接组件(5)， 所述干燥机构(4)与转动连接组件(5)连接 。 2.根据权利要求1所述的一种晶片清洗干燥槽， 其特征在于， 所述转动连接组件(5)包 括第一转轴(51)、 用于安装第一转轴(51)的第一安装座(52)、 第三气缸(53)、 用来与槽盖 (2)连接的第一连接件(54)， 所述第一连接件(54)安装在槽盖(2)的首端， 所述第一安装座 (52)与槽体(1)的槽壁固定连接， 所述第三气缸(53)与第一连接件(54)固定连接， 所述第一 转轴(51)与槽 盖(2)、 第一连接件(54)均螺 栓连接； 所述干燥机构(4)包括用于向晶片 吹氮气的吹气组件(41)、 用于驱动吹气组件(41)运 动的驱动组件(42)， 所述吹气组件(41)与槽盖(2)连接， 所述 驱动组件(42)与转动连接组件 (5)连接。 3.根据权利要求2所述的一种晶片清洗干燥槽， 其特征在于， 所述吹气组件(41)包括第 一进气管(411)、 用于安装第一进气管(411)的第一安装板(412)， 所述第一安装板(412)位 于槽盖(2)内， 所述第一安装板(412)与槽盖(2)的底部螺栓连接， 所述第一安装板(412)与 槽盖(2)之间设有第一安装块(4 13)， 所述第一安装块(413)的中部 设有第一通孔， 所述第一 进气管(411)的末端穿过第一通孔， 所述第一安装块(413)的顶部与槽盖(2)螺栓连接， 所述 第一安装块(413)的底部与第一 安装板(412)固定连接； 所述驱动组件(42)包括第二气缸(422)、 推板(423)、 滑块(424)、 导轨(425)， 所述推板 (423)安装在第二气缸(422)的输出端， 所述推板(423)与滑块(424)  的顶部螺栓连接， 所述 滑块(424)与导轨(425)滑动 连接， 所述推板(423)与第一进气管(411)连接， 所述第二气缸 (422)、 导轨(425)均 与第一连接件(54)螺 栓连接。 4.根据权利要求3所述的一种晶片清洗 干燥槽， 其特 征在于， 所述第一进气管(411)设有多个喷嘴， 所述第一安装板(412)、 槽盖(2)的底部均设有用 于吹气的长条孔； 所述第一连接件(54)包括第二安装板(541)、 安装在第二安装板(541)上的第一L型板 (542)， 所述第一L型板(542)为两个， 两个第一L型板之间设有第一销轴(543)， 所述第一销 轴(543)与第三气缸(53)的活塞杆连接， 所述第二安装板(541)、 槽盖(2)均与第一转轴(51) 螺栓连接； 所述第二安装板(541)的末端设有第二安装块(5411)， 所述第二安装块(5411)的顶部 设有用于安装第一进气管(411)的第四凹槽， 所述推板(423)的底面连接有第一卡箍， 所述 推板(423)、 第一进气管(41 1)通过第一 卡箍连接 。 5.根据权利要求1所述的一种晶片清洗干燥槽， 其特征在于， 所述槽体(1)还包括用于 安装晶片载具(3)的支撑组件(6)、 用于驱动晶片载具(3)摆动的摆动机构(7)， 所述晶片载 具(3)位于支撑组件(6)上方， 所述支撑组件(6)与槽体(1)的底部连接， 所述摆动机构(7)与 晶片载具(3)、 槽体(1)均连接 。 6.根据权利要求5所述的一种晶片清洗 干燥槽， 其特 征在于， 所述摆动 机构(7)包括用来与晶片载具(3)连接的摆动组件(70)、 用来驱动摆动组件运 动的动力组件， 所述动力组件与槽体(1)的侧壁连接， 所述动力组件包括第一气缸(71)、 齿 条(72)、 齿轮(73)、 小轴(74)， 所述小轴(74)穿过槽体(1)的槽壁， 所述第一气缸(71)、 齿条权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216937370 U 2(72)、 齿轮(73)均位于槽体(1)的外部， 所述摆动组件(70)位于槽体(1)的内部， 所述齿轮 (73)、 摆动组件(70)均安装在小轴(74)上， 所述第一气缸(71)的输出端安装齿条(72)， 所述 齿轮(73)、 齿条(72)啮合； 所述支撑组件(6)包括第一支撑杆(61)、 第二卡箍(62)、 用于安装支撑杆的支撑座 (63)， 所述第二卡箍(62)套第一支撑杆(61)外， 所述第二卡箍(62)与晶片载具(3)螺栓连 接， 所述支撑座(6 3)与槽体(1)的槽底螺 栓连接。 7.根据权利要求6所述的一种晶片清洗干燥槽， 其特征在于， 所述摆动组件(70)包括用 来与槽体连接的圆杆(701)、 摆杆(702)、 转盘(703)， 所述转盘(703)的外周设有连接杆 (704)， 所述连接杆(704)与摆杆(702)的下部连接， 所述圆杆(701)与摆杆(702)的上部连 接。 8.根据权利要求6所述的一种晶片清洗干燥槽， 其特征在于， 所述槽体(1)的槽底中部 设有向上凸起的第三凹槽， 所述支撑座(63)与第三凹槽的槽底连接， 所述支撑座(63)的顶 部设有用于放置支撑杆的第二凹槽 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216937370 U 3