(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212342 9703.0 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 深圳市海天鑫工贸有限公司 地址 518000 广东省深圳市福田区中心区 26-3中国凤凰大厦1栋19 A-05 (72)发明人 肖运锋　曾国良　钟小青　高勤兰　 (74)专利代理 机构 深圳众邦专利代理有限公司 44545 专利代理师 郭晓宇 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 1/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种全息光刻机加工表面除杂装置 (57)摘要 本实用新型涉及全息光刻机加工表面除杂 技术领域， 且公开了包括除杂装置主体， 所述除 杂装置主体 反面固定连接有光刻机， 所述光刻机 顶部固定安装有加工板， 所述除杂装置主体顶部 开设有收纳槽， 所述收纳槽内壁正反两侧均固定 连接有三个限位板， 且所述收纳槽内部设置有清 洁组件， 所述除杂装置主体底部设置有收纳组 件， 该一种全息光刻机加工表面除杂装置， 通过 拉动握把带动连接板， 从而带动清洁球清洁加工 板， 方便工作人员便捷清洁加工板上的杂物， 也 便于工作人员用清洁刷条将杂物收纳到除杂装 置主体， 还通过拉动摇杆带动清洁块， 从而将杂 物清洁到收集盒内， 方便工作人员便捷清洁除杂 装置主体内的杂物， 采用收集盒归纳收集杂物。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216911150 U 2022.07.08 CN 216911150 U 1.一种全息光刻机加工表面除杂装置， 包括除杂装置主体(1)， 其特征在于： 所述除杂 装置主体(1)反面固定连接有光刻机(2)， 所述光刻机(2)顶部固定安装有加工板(3)， 所述 除杂装置主体(1)顶部开设有收纳槽(4)， 所述收纳槽(4)内壁正反两侧均固定连接有三个 限位板(5)， 且所述收纳槽(4)内部设置有清洁组件(6)， 所述除杂装置主体(1)底部设置有 收纳组件(7)； 所述清洁组件(6)包括握把(601)， 所述握把(601)反面固定连接有弹力绳(602)， 所述 弹力绳(602)一端与所述除杂装置主体(1)内壁反面固定连接， 所述握把(601)左侧固定连 接有连接板(603)， 所述连接板(603)正面固定连接有清 洁刷条(604)， 且所述连接板(603) 反面与所述收纳槽(4)内部滑动连接； 所述连接板(603)左侧固定连接有固定板(605)， 所述固定板(605)顶部固定连接有驱 动电机(6 06)， 所述驱动电机(6 06)输出端固定连接有清洁球(6 07)。 2.根据权利要求1所述的一种 全息光刻机加工表面除杂装置， 其特征在于： 所述除杂装 置主体(1)底部开设有第一滑槽(701)， 所述第一滑槽(701)内部滑动连接有收集盒(702)， 且所述除杂装置主体(1)内壁底部固定连接有斜 块(703)。 3.根据权利要求1所述的一种 全息光刻机加工表面除杂装置， 其特征在于： 所述除杂装 置主体(1)正面开设有第二滑槽(704)， 所述第二滑槽(704)内部滑动连接有摇杆(705)， 所 述摇杆(70 5)一端固定连接有清洁块(70 6)， 所述清洁块(70 6)端部设置有圆角。 4.根据权利要求2所述的一种 全息光刻机加工表面除杂装置， 其特征在于： 所述收集盒 (702)正面固定连接有把手(707)， 且所述收集盒(702)高度与所述斜块(703)左侧高度相 同。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216911150 U 2一种全息光刻机加工表面除杂装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及全息光刻机加工表面除杂技术领域， 具体为一种全息光刻机加工 表面除杂装置 。 背景技术 [0002]光刻机又名掩模对准曝光机， 曝光系统， 光刻系统等， 是制造芯片的核心装备， 全 息光刻机的加工表面需要时常清洁， 保证后续的加工生产。 [0003]但现有的全息光刻机加工表面没有专用清洁装置， 不方便工作人员清洁加工表 面， 清洁效率低， 清洁完的杂物也 不便于收集， 影响后续的加工生产。 [0004]本实用新型通过清洁组件将加工板表面清洁处理， 还通过收纳组件将除杂装置主 体内的杂物集中处 理到收集盒内， 方便集中处 理。 实用新型内容 [0005](一)解决的技 术问题 [0006]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种全息光刻机加工表面除杂装置， 具 备便捷清洁加工表 面， 集中收纳杂物 等优点， 解决了加工表 面不便于清洁， 杂物没有集中 收 纳的问题。 [0007](二)技术方案 [0008]为实现上述便捷清洁加工表面， 集中收纳杂物目的， 本实用新型提供如下技术方 案： 包括除杂装置主体， 所述除杂装置主体反面固定连接有光刻机， 所述光刻机顶部固定安 装有加工板， 所述除杂装置主体顶部开设有收纳槽， 所述收纳槽内壁正反两侧均固定连接 有三个限位板， 且所述收纳槽内部设置有清洁组件， 所述除杂装置主体底部设置有收纳组 件。 [0009]优选的， 所述清洁组件包括握把， 所述握把反面固定连接有弹力绳， 所述弹力绳一 端与所述除杂装置主体内壁反面固定连接， 所述握把左侧固定连接有连接板， 所述连接板 正面固定连接有清洁刷条， 且所述连接 板反面与所述收纳槽内部滑动连接 。 [0010]优选的， 所述连接板左侧固定连接有固定板， 所述固定板顶部固定连接有驱动电 机， 所述驱动电机 输出端固定连接有清洁球。 [0011]优选的， 所述除杂装置主体底部开设有第一滑槽， 所述第一滑槽内部滑动连接有 收集盒， 且所述除杂装置主体内壁底部固定连接有斜 块。 [0012]优选的， 所述除杂装置主体正面开设有第二滑槽， 所述第二滑槽内部滑动连接有 摇杆， 所述摇杆一端固定连接有清洁块， 所述清洁块端部设置有圆角。 [0013]优选的， 所述收集盒正面固定连接有把手， 且所述收集盒高度与所述斜块左侧高 度相同。 [0014](三)有益效果 [0015]与现有技术相比， 本实用新型提供了一种全息光刻机加工表面 除杂装置， 具备以说　明　书 1/3 页 3 CN 216911150 U 3